The invention relates to the field of optimization of diode, in particular to a push well process is applied to the TVS diode, in a reaction tube, comprising: a first heating stage, introducing inert gas into the reaction tube, surrounded by semiconductor devices so that placed in the reaction tube is the inert gas; second heating stage, the oxygen is introduced into the reaction tube, which on the surface of the semiconductor device form a thin oxide layer; the constant temperature stage and cooling stage, continue to pass into the inert gas into the reaction tube, so that the semiconductor device to push the trap in the process inert gas atmosphere; among them, in the second heating stage, but also into the two vinyl chloride gas into the reaction tube, the adsorption of the reaction tube and the internal surface of the semiconductor device of the sodium ion impurities.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及二极管的优化领域,尤其涉及一种应用于TVS二极管的推阱工艺。
技术介绍
TVS管(Transient Voltage Suppressor,瞬变电压抑制二极管)作为一种二极管形态的保护器件被广泛运用于各种I/O(输入/输出)接口、手机、PC、平板上。随着半导体技术的发展,产品对TVS二极管的要求也越来越严苛,TVS二极管的漏电流必须一收再收,才能适应产品优化的需求。然而TVS二极管漏电可能性是多方面的,产品设计、工艺流程、产线沾污都会引起漏电流。经实验测试显示,初测的漏电分布图为随机分布,因工艺所用化学品和设备均为工厂认证的基准设备,二极管有源区失效分析也并未发现离子注入的晶格缺陷,所以漏电源不大可能是因外界沾污和工艺引入。通常TVS二极管是由BN(N型埋层)和P型衬底组成的,PN结的形成可以简单地分为离子注入和推阱两部分;其中离子注入阶段的注入浓度和能量确定很难再做更改,但注入后的推阱仍有优化的空间。
技术实现思路
鉴于上述技术问题,本专利技术提供一种优化的推阱工艺,应用于TVS二极管,通过合理选用推阱炉管设备型号,引入并正确配比DCE(二氯乙烯)气氛,优化升降温时间来改善TVS二极管的漏电,以提高产品性能。本专利技术解决上述技术问题的主要技术方案为:一种推阱工艺,其特征在于,于一反应炉管内进行,所述推阱工艺包括:第一升温阶段,通入惰性气体至所述反应炉管,以使放置于所述反应炉管内的半导体器件被所述惰性气体包围;第二升温阶段,通入氧气至所述反应炉管,以在所述半导体器件的表面生成薄氧化层;恒温阶段及降温阶段,继续通入所述惰性气体至所述反应炉管,以 ...
【技术保护点】
一种推阱工艺,其特征在于,于一反应炉管内进行,所述推阱工艺包括:第一升温阶段,通入惰性气体至所述反应炉管,以使放置于所述反应炉管内的半导体器件被所述惰性气体包围;第二升温阶段,通入氧气至所述反应炉管,以在所述半导体器件的表面生成薄氧化层;恒温阶段及降温阶段,继续通入所述惰性气体至所述反应炉管,以使所述半导体器件在所述惰性气体的氛围下继续所述推阱工艺;其中,在所述第二升温阶段,还通入二氯乙烯气体至所述反应炉管,以吸附所述反应炉管内部以及所述半导体器件表面的钠离子杂质。
【技术特征摘要】
1.一种推阱工艺,其特征在于,于一反应炉管内进行,所述推阱工艺包括:第一升温阶段,通入惰性气体至所述反应炉管,以使放置于所述反应炉管内的半导体器件被所述惰性气体包围;第二升温阶段,通入氧气至所述反应炉管,以在所述半导体器件的表面生成薄氧化层;恒温阶段及降温阶段,继续通入所述惰性气体至所述反应炉管,以使所述半导体器件在所述惰性气体的氛围下继续所述推阱工艺;其中,在所述第二升温阶段,还通入二氯乙烯气体至所述反应炉管,以吸附所述反应炉管内部以及所述半导体器件表面的钠离子杂质。2.如权利要求1所述的推阱工艺,其特征在于,所述惰性气体为氮气。3.如权利要求2所述的推阱工艺,其特征在于,在所述第一升温阶段、所述恒温阶段和所述降温阶段,所述氮气的通入流量为15 l/min。4.如权利要求1所述的推阱工艺,其特征在于,所述第一升温阶段为所述反应炉管的温度升温至900摄氏度的阶段。5.如权利要求4所述的推阱工艺,其特征在于,所述第一升温阶段的持续时间为75分钟。6.如权利要求1所述的推阱工艺,其特征在于,所述第二升温阶段包括前半升温阶段、...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈敏,徐远,欧新华,袁琼,符志岗,刘宗金,
申请(专利权)人:上海芯导电子科技有限公司,
类型:发明
国别省市:上海;31
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。