一种扩晶环夹掣装置，其包括：一载台，可供一载有晶圆片或晶片的扩晶环置放；至少二顶撑件，设置于载台上且固定不动；一夹掣件，设于载台上，且与至少二顶撑件围出一空间以供扩晶环置入，夹掣件包括一固定座、一滑移件及一控制件，固定座固定于载台且具有一对应扩晶环的径向方向开设的滑槽，滑移件设于滑槽中且可在扩晶环的径向进行滑移，控制件带动滑移件顶推扩晶环抵靠于至少二顶撑件后固定，以夹掣扩晶环于载台，藉此构成本实用新型专利技术。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种扩晶环夹掣装置，特别指一种能确实将扩晶环夹掣于平台上进行半导体制程的装置。
技术介绍
如图9至图10所示，为已知半导体制程中晶片的固定结构，是通过一扩晶环91夹固一薄膜92，并将晶片贴附于该薄膜92上，然后将该扩晶环91固定于一框架93所设的一内孔931内，该框架93在该内孔931的周围设有数凹部932，而一固定该框架93的设备平台94上设有数定位柱941，将该框架93以各该凹部932对准该设备平台94上的各定位柱941，并利用该框架93底部所设的数磁吸件933吸住该设备平台94，而将该扩晶环91在该设备平台94上进行固定，而可进行晶片的后续制程。然而，该扩晶环91之所以能固定于该框架93的内孔931中，主要是该扩晶环91的外径与该框架93的内孔931的内径为紧配合，但该扩晶环91的外径并非为正圆，故置入该框架93的内孔931时，可能会因尺寸的误差而无法将该扩晶环91确实固定在该内孔931内，则该扩晶环91此时因无法确实定位，故当设备在进行加工时会因此产生尺寸精度的误差，则将会导致制程的良率不佳的问题，且若该扩晶环91于该内孔931内无法确实固定，也可能在例如切割的加工过程中飞出该框架93外，除了可能砸中物品而损坏之外，也可能砸伤人员，故会产生有生命财产及安全上的危险。因此，如何解决上述已知半导体制程中扩晶环于平台上固定的问题，即为本技术的主要重点所在。
技术实现思路
本技术的目的在于解决上述的问题而提供一种扩晶环夹掣装置，以一夹掣件与数顶撑件将该扩晶环夹掣于该载台上，再将该载台在半导体制程的一设备平台上固定，而可达到令该扩晶环在该设备平台上确实固定的功效，以避免晶片在半导体制程中因固定不良而产生尺寸误差，且防止扩晶环因固定不良而脱落砸伤物品或人员的危险发生。为实现上述目的，本技术采取以下技术方案：一种扩晶环夹掣装置，它包括：一载台，可供一载有晶圆片或晶片的扩晶环置放；至少二顶撑件，设置于该载台上且固定不动；一夹掣件，设于该载台上，且与该至少二顶撑件围出一空间以供该扩晶环置入，该夹掣件包括一固定座、一滑移件及一控制件，该固定座固定于该载台且具有一对应该扩晶环的径向方向开设的滑槽；该滑移件设于该滑槽中且可在该扩晶环的径向进行滑移；该控制件带动该滑移件顶推该扩晶环抵靠于该至少二顶撑件后固定，以夹掣该扩晶环于该载台。所述滑移件在朝向所述扩晶环的一端具有一顶撑部，且该滑移件在所述顶撑部后方具有一椭圆孔，所述控制件具有一转盘设于所述椭圆孔，且所述转盘在偏心位置具一结合部，该结合部位于所述固定座的一穿孔，该控制件并具有一拨杆以一端在该固定座外与该结合部固接，拨动所述拨杆以带动该转盘在该椭圆孔中偏心转动，且以该转盘的外缘拨动该椭圆孔的内缘而带动该滑移件在所述滑槽中朝所述扩晶环的方向滑移。所述结合部中设一压缩弹簧与一圆珠，该圆珠受所述压缩弹簧顶推而常态露出该结合部外，且所述穿孔的内壁具有复数相连的凹部，该圆珠可随该结合部在该穿孔中转动而分别顶入不同的凹部中，且各凹部皆可供该圆珠顶入后暂时定位。本技术的有益效果是：本技术可达到令该扩晶环在该设备平台上确实固定的功效，以避免晶片在半导体制程中因固定不良而产生尺寸误差，且防止扩晶环因固定不良而脱落砸伤物品或人员的危险发生。本技术的上述及其他目的与优点，不难从下述所选用实施例的详细说明与附图中，获得深入了解。当然，本技术在某些另件上，或另件的安排上容许有所不同，但所选用的实施例，则在本说明书中，予以详细说明，并在附图中展示其构造。附图说明图1为本技术的扩晶环夹掣装置上放置扩晶环的立体外观图。图2为本技术的扩晶环夹掣装置上以顶撑件与夹掣件围出空间的立体
外观图。图3为本技术的夹掣件立体分解配置图。图4为本技术的夹掣件在滑移件的顶撑部缩入固定座的状态示意图。图5为本技术的夹掣件在滑移件的顶撑部伸出固定座的状态示意图。图6为本技术的圆珠受压缩弹簧顶推而顶入凹部的示意图。图7为本技术的扩晶环被夹掣件夹掣而薄膜产生皱折的状态示意图。图8为图7的的扩晶环在滑移件减轻对扩晶环4的顶撑时薄膜呈现平整的状态示意图。图9为已知扩晶环以框架在设备平台上固定的立体外观示意图。图10为已知扩晶环与框架在设备平台上的配置示意图。具体实施方式请参阅图1至图8，图中所示者为本技术所选用的实施例结构，此仅供说明之用，在专利申请上并不受此种结构的限制。本实施例提供一种扩晶环夹掣装置，其如图1所示，包括一载台1、三顶撑件2及一夹掣件3，其中：如图1所示，各该顶撑件2及该夹掣件3皆设于该载台1，该载台1可供一载有晶片41的扩晶环4置放，各该顶撑件2设于该载台上时固定不动，且该夹掣件3与各该顶撑件2如图2所示围设出一空间11，并以此空间11俾供该扩晶环4置入。如图3所示，该夹掣件3包括一固定座5、一滑移件6及一控制件7，其中该固定座5固定于该载台1且具有一滑槽51，该滑槽51对应于该扩晶环4的径向方向开设；该滑移件6设置于该滑槽51中且可于该扩晶环4的径向方向进行滑移，该控制件7带动该滑移件6顶推该扩晶环4抵靠于各该顶撑件2后固定，以夹掣该扩晶环4于该载台1。此外，本实施例的滑移件6在朝向该扩晶环4的一端具有一顶撑部61，且该滑移件6在该顶撑部61后方具有一椭圆孔62；该控制件7具有一转盘71设于该椭圆孔62，且该转盘71于偏心位置具一结合部72，该结合部72位于该固定座5的一穿孔52，该控制件7并具有一拨杆73以一端在该固定座5外与该结合部72固接，通过拨动该拨杆73以带动该转盘71在该椭圆孔62中偏
心转动，且以该转盘71的外缘711拨动该椭圆孔62的内缘621而带动该滑移件6在该滑槽51中朝该扩晶环4的方向滑移。如图4所示，当该拨杆73拨转至图中左侧时，该转盘71在该椭圆孔62中带动该滑移件6后移，而使该顶撑部61的一端缩入该固定座5中；又如图5所示，当该拨杆73拨转至图中右侧时，该转盘71在该椭圆孔62中带动该滑移件6前移，而使该顶撑部61的一端由该固定座5中伸出。如图6所示，本实施例的结合部72中设一压缩弹簧74与一圆珠75，该圆珠75受该压缩弹簧74顶推而常态露出该结合部72外，且该穿孔52的内壁521具有复数相连的凹部522，该圆珠75可随该结合部72在该穿孔52中转动而分别顶入不同的凹部522中，且各该凹部522皆可供该圆珠75顶入后暂时定位。本实施例的扩晶环夹掣装置用以固定扩晶环时，如图1所示将该扩晶环4置入前述的空间11内，而使各该顶撑件2与该夹掣件3分别位在该扩晶环4的周围，此时即可拨动该拨杆73，使该转盘71在该椭圆孔62偏心转动，此时该转盘71以其外缘711拨动该椭圆孔62的内缘621，该滑移件6因此被带动而在该滑槽51中朝该扩晶环4的方向滑移，并以该顶撑部61对该扩晶环4朝各顶撑件2的方向顶撑，此时该扩晶环4因该滑移件6的顶撑及被各顶撑件2阻挡，而将该扩晶环4如图7所示夹掣固定于该载台1上。然当该扩晶环4其真圆度不足而被夹掣固定于该载台1上时，则该扩晶环4因被该滑移件6过度顶撑，而会造成该扩晶环4上的薄膜42产生皱折，此时可将该拨杆73如图8所示往回拨动，以减轻滑移件6对扩晶环本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种扩晶环夹掣装置，其特征在于，它包括：一载台，可供一载有晶圆片或晶片的扩晶环置放；至少二顶撑件，设置于该载台上且固定不动；一夹掣件，设于该载台上，且与该至少二顶撑件围出一空间以供该扩晶环置入，该夹掣件包括一固定座、一滑移件及一控制件，该固定座固定于该载台且具有一对应该扩晶环的径向方向开设的滑槽；该滑移件设于该滑槽中且可在该扩晶环的径向进行滑移；该控制件带动该滑移件顶推该扩晶环抵靠于该至少二顶撑件后固定，以夹掣该扩晶环于该载台。
【技术特征摘要】
1.一种扩晶环夹掣装置，其特征在于，它包括：一载台，可供一载有晶圆片或晶片的扩晶环置放；至少二顶撑件，设置于该载台上且固定不动；一夹掣件，设于该载台上，且与该至少二顶撑件围出一空间以供该扩晶环置入，该夹掣件包括一固定座、一滑移件及一控制件，该固定座固定于该载台且具有一对应该扩晶环的径向方向开设的滑槽；该滑移件设于该滑槽中且可在该扩晶环的径向进行滑移；该控制件带动该滑移件顶推该扩晶环抵靠于该至少二顶撑件后固定，以夹掣该扩晶环于该载台。2.根据权利要求1所述的扩晶环夹掣装置，其特征在于，所述滑移件在朝向所述扩晶环的一端具有一顶撑部，且该滑移件在所述顶撑部后...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘盈坤，
申请(专利权)人：刘盈坤，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71
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