一种离子加速管制造技术

本实用新型专利技术提供了一种离子加速管，所述加速管用于静电高压型离子加速器。本实用新型专利技术的离子加速管采用模块化结构设计，每个离子加速管模块的加速电压为250kV左右，一定数量的离子加速管模块串联起来，可以得到所需要的超高加速电压。离子加速管模块分为强聚焦加速区和空间电荷中和区，用来消除离子束自身空间电荷效应，可加速传输超过1mA的离子束。同时，离子加速管模块还具有二次电子强抑制结构，在组成超过5MV端电压的超高电压加速系统时，能有效防止“全电压效应”的出现。本实用新型专利技术的离子加速管可以得到端电压超过5MV，束流强度超过1mA的直流离子束。本实用新型专利技术的离子加速管适合在离子注入、离子束治疗肿瘤、核孔膜生产、中子照相等领域应用。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于核技术及应用领域，具体涉及一种离子加速管。
技术介绍
高能强流离子束在材料改性、肿瘤治疗以及物理实验方面有着非常广泛的应用前景，目前，一种方式是采用射频离子加速器，能提供能量超过3MeV，束流强度超过1mA的强流离子束，但是，技术难度高，产生的离子束能散大；另外一种方式是采用高压静电型离子加速器，离子束能散较小，整机的能量转换效率高，运行费用低，适合商业化应用，但是，在束流强度超过1mA时，端电压比较低，在1MV以下。《400 kV强流中子发生器的物理设计》（核心期刊《原子能科学技术》，2012年12月，第46卷第12期）公开了一种高压静电型离子加速器，可以输出束流强度高达百毫安级别的离子束，其端电压在1MV以下。《我国高压加速器技术及应用进展》（2004年，粒子加速器学会第七届全国会员代表大会暨学术报告会）公开了端电压超过5MV的高压静电型离子加速器，但是束流强度不高，在300uA以内。目前，缺少结构简单，可以用于超过5MV端电压，束流强度超过1mA的高压静电型离子加速管。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种离子加速管。本技术的离子加速管，其特点是，所述的离子加速管包括入口聚焦加速电极Ⅰ，入口聚焦加速电极Ⅱ，中间加速电极Ⅰ，中间加速电极Ⅱ，出口散焦加速电极Ⅰ，出口散焦加速电极Ⅱ，入口阻止电极，漂移管，出口阻止电极；离子束在入口沿轴线注入，在聚焦加速电极Ⅰ和入口聚焦加速电极Ⅱ区间获得电场加速和聚焦，之后进入中间加速电极Ⅰ和中间加速电极Ⅱ获得电场加速，之后进入出口散焦加速电极Ⅰ和出口散焦加速电极Ⅱ获得电场加速和散焦，然后，离子束通过入口阻止电极，进入漂移管，最后，离子束从出口阻止电极输出；所述的入口聚焦加速电极Ⅰ的入口段是倾斜α角的圆锥形表面，入口的孔径为d1，α角的范围是20°～40°，中间段是等直段，等直段的孔径为d2，出口段是圆环形结构，出口段的内径为d3，d1<d3<d2；所述的入口聚焦加速电极Ⅱ为中心开直径d4的圆孔平板，d3<d4；所述的中间加速电极Ⅰ为中心开直径d5的圆孔平板，中间加速电极Ⅱ为中心开直径d6的圆孔平板，d4<d5，d5=d6；所述的出口散焦加速电极Ⅰ与入口聚焦加速电极Ⅱ的结构一致，与入口聚焦加速电极Ⅱ呈镜像对称布置，d7=d4；所述的出口散焦加速电极Ⅱ与入口聚焦加速电极Ⅰ的结构一致，与入口聚焦加速电极Ⅰ呈镜像对称布置，d8=d3，d9=d2，d10=d1。所述的入口阻止电极和出口阻止电极具有相同的电位，电位低于漂移管的电位。所述的漂移管与出口散焦加速电极的电位相同。所述的离子加速管的外部工作环境是5-8个大气压下的SF6气体。本技术的离子加速管总体结构分为两大区域：高梯度加速区、空间电荷中和区。加速管外侧均匀分布的、电压梯度比较低的电极片，从加速管两端沿中轴线向中部压缩，在中间段形成高梯度加速区，同时在加速管的两端留出了没有加速电场的空间电荷中和区。高梯度加速区具有强聚焦能力，可以抵消毫安级离子束的空间电荷效应，在完成加速离子束的同时，还能对离子束形成强聚焦，保证离子束的顺利传输。在空间电荷中和区，离子束碰撞电离残余气体分子，形成电子云，抵消离子束的空间电荷效应，使得离子束的散射角不会快速增长，保证离子束顺利传输。高梯度加速区包括入口聚焦加速电极Ⅰ、入口聚焦加速电极Ⅱ、中间加速电极Ⅰ、中间加速电极Ⅱ、出口散焦加速电极Ⅰ、出口散焦加速电极Ⅱ；入口聚焦加速电极Ⅰ的入口段是倾斜α角圆锥形表面，入口的孔径为d1，α角的范围是20°～40°，中间段是内凹的圆筒表面，中间段的孔径为d2，出口段是圆环形结构，出口段的孔径为d3，d1<d3<d2，入口聚焦加速电极Ⅱ的孔径为d4，d3<d4，入口聚焦加速电极Ⅰ和入口聚焦加速电极Ⅱ一起，在入口处形成强烈内凹的聚焦电场，离子束获得加速和强聚焦。出口散焦加速电极Ⅰ与入口聚焦加速电极Ⅱ的结构一致，呈镜像对称布置，d7=d4，出口散焦加速电极Ⅱ与入口聚焦加速电极Ⅰ的结构一致，呈镜像对称布置，d8=d3，d9=d2，d10=d1，出口散焦加速电极Ⅰ和出口散焦加速电极Ⅱ一起，在出口处形成强烈外凸的散焦电场，离子束获得加速和强散焦。入口强聚焦和出口强散焦的组合效果是形成强聚焦特性。由于进出口两端的电极片靠近离子束运行轨道，容易受到杂散离子的轰击，产生二次粒子，因此，进出口两端的电极片上倾斜的表面和圆弧形的表面，形成局部倾斜电场，对附近电极片上产生的二次粒子斜向加速，使其很快偏离中心轨道，轰击到其他电极片上，不能形成长距离的传输和加速，抑制了形成级联碰撞通道的途径，从而避免加速管发生 “全电压效应”。中间加速电极Ⅰ和中间加速电极Ⅱ仅对离子束加速，其开孔孔径比进出口处的电极片上的孔径大很多，可免受过多杂散离子轰击。空间电荷中和区由入口阻止电极、出口阻止电极和飘移管构成，飘移管电位与高梯度加速区的出口散焦加速电极Ⅱ相同，入口阻止电极和出口阻止电极的电位比飘移管的电位低。飘移管内部的残余气体分子，在离子束的碰撞下，产生大量的电子和正离子，正离子被离子束外推，散射到飘移管壁上。电子在离子束的吸引下，聚集在离子束通道附近，形成电子云，离子束在电子云中穿过，电子云抵消离子束产生的大部分空间电荷效应，离子束不会快速散开，能保持比较好的束流传输品质，便于后续加速管顺利加速传输离子束。在飘移管两端，入口阻止电极和出口阻止电极的负电位将阻止飘移管内部产生的二次电子溢出，有利于在飘移管内部保持高密度电子云。离子加速管之间用连接法兰连接，屏蔽电极用来保护绝缘支撑环不受杂散粒子的轰击，入口阻止电极和出口阻止电极的负电位由高压接线柱引入。本技术的离子加速管，多节离子加速管串联起来，可以获得端电压超过5MV，束流强度超过1mA的离子加速管。附图说明图1为本技术的离子加速管的示意图；图中，1.入口聚焦加速电极Ⅰ 2.入口聚焦加速电极Ⅱ 3.中间加速电极Ⅰ 4.中间加速电极Ⅱ 5.出口散焦加速电极Ⅰ 6.出口散焦加速电极Ⅱ 7.入口阻止电极 8.漂移管 9.出口阻止电极 10.连接法兰 11.屏蔽电极 12.绝缘支撑环 13.高压接线柱。具体实施方式下面结合附图和实施例详细说明本技术。本技术的离子加速管，所述的离子加速管包括入口聚焦加速电极Ⅰ1，入口聚焦加速电极Ⅱ2，中间加速电极Ⅰ3，中间加速电极Ⅱ4，出口散焦加速电极Ⅰ5，出口散焦加速电极Ⅱ6，入口阻止电极7，漂移管8，出口阻止电极9；离子束在入口沿轴线注入，在聚焦加速电极Ⅰ1和入口聚焦加速电极Ⅱ2区间获得电场加速和聚焦，之后进入中间加速电极Ⅰ3和中间加速电极Ⅱ4获得电场加速，之后进入出口散焦加速电极Ⅰ5和出口散焦加速电极Ⅱ6获得电场加速和散焦，然后，离子束通过入口阻止电极7，进入漂移管8，最后，离子束从出口阻止电极9输出；所述的入口聚焦加速电极Ⅰ1的入口段是倾斜α角的圆锥形表面，入口的孔径为d1，α角的范围是20°～40°，中间段是等直段，等直段的孔径为d2，出口段是圆环形结构，出口段的内径为d3，d1<d3<d2；所述的入口聚焦加速电极Ⅱ2为中心开直径d4的圆孔平板，d3<d4；所述的中本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种离子加速管，其特征在于，所述的离子加速管包括入口聚焦加速电极Ⅰ（1），入口聚焦加速电极Ⅱ（2），中间加速电极Ⅰ（3），中间加速电极Ⅱ（4），出口散焦加速电极Ⅰ（5），出口散焦加速电极Ⅱ（6），入口阻止电极（7），漂移管（8），出口阻止电极（9）；离子束在入口沿轴线注入，在聚焦加速电极Ⅰ（1）和入口聚焦加速电极Ⅱ（2）区间获得电场加速和聚焦，之后进入中间加速电极Ⅰ（3）和中间加速电极Ⅱ（4）获得电场加速，之后进入出口散焦加速电极Ⅰ（5）和出口散焦加速电极Ⅱ（6）获得电场加速和散焦，然后，离子束通过入口阻止电极（7），进入漂移管（8），最后，离子束从出口阻止电极（9）输出；所述的入口聚焦加速电极Ⅰ（1）的入口段是倾斜α角的圆锥形表面，入口的孔径为d1，α角的范围是20°～40°，中间段是等直段，等直段的孔径为d2，出口段是圆环形结构，出口段的内径为d3，d1<d3<d2；所述的入口聚焦加速电极Ⅱ（2）为中心开直径d4的圆孔平板，d3<d4；所述的中间加速电极Ⅰ（3）为中心开直径d5的圆孔平板，中间加速电极Ⅱ（4）为中心开直径d6的圆孔平板，d4<d5，d5=d6；所述的出口散焦加速电极Ⅰ（5）与入口聚焦加速电极Ⅱ（2）的结构一致，与入口聚焦加速电极Ⅱ（2）呈镜像对称布置，d7=d4；所述的出口散焦加速电极Ⅱ（6）与入口聚焦加速电极Ⅰ（1）的结构一致，与入口聚焦加速电极Ⅰ（1）呈镜像对称布置，d8=d3，d9=d2，d10=d1。...

【技术特征摘要】
1.一种离子加速管，其特征在于，所述的离子加速管包括入口聚焦加速电极Ⅰ（1），入口聚焦加速电极Ⅱ（2），中间加速电极Ⅰ（3），中间加速电极Ⅱ（4），出口散焦加速电极Ⅰ（5），出口散焦加速电极Ⅱ（6），入口阻止电极（7），漂移管（8），出口阻止电极（9）；离子束在入口沿轴线注入，在聚焦加速电极Ⅰ（1）和入口聚焦加速电极Ⅱ（2）区间获得电场加速和聚焦，之后进入中间加速电极Ⅰ（3）和中间加速电极Ⅱ（4）获得电场加速，之后进入出口散焦加速电极Ⅰ（5）和出口散焦加速电极Ⅱ（6）获得电场加速和散焦，然后，离子束通过入口阻止电极（7），进入漂移管（8），最后，离子束从出口阻止电极（9）输出；所述的入口聚焦加速电极Ⅰ（1）的入口段是倾斜α角的圆锥形表面，入口的孔径为d1，α角的范围是20°～40°，中间段是等直段，等直段的孔径为d2，出口段是圆环形结构，出口段的...

【专利技术属性】
技术研发人员：李彦，何小海，李小飞，娄本超，唐君，薛小明，牟云峰，胡永宏，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院核物理与化学研究所，
类型：新型
国别省市：四川;51