一种用于晶棒切割的支撑装置制造方法及图纸

技术编号:14102846 阅读:123 留言:0更新日期:2016-12-04 19:29
本实用新型专利技术公开了一种用于晶棒切割的支撑装置,包括底座以及与底座连接的若干石墨条;底座通过调节组件与石墨条连接,调节组件包括与底座连接的第一调节杆以及嵌入在第一调节杆的第二调节杆,第一调节杆上还设有若干调节孔;每个石墨条上开凿有用于安装晶棒的凹槽,凹槽内设有均匀分布的防滑纹。本实用新型专利技术通过将晶棒安装于石墨条的凹槽内,并将切断后的晶棒牢靠的连接在一起,在石墨条的支撑作用下避免了在切割过程中晶棒因自重产生的力矩而导致断裂和切断后晶棒自然坠落造成开裂的问题;同时石墨条成本低加工方便,更节约成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶棒加工装置,具体涉及到一种用于晶棒切割的支撑装置
技术介绍
目前晶棒在用内圆机切割时,经常会出现(3mm左右)因自重产生的力矩使晶段提前断裂的现象,不仅造成了材料的浪费,还损害了刀片;同时也造成了在晶段切断后因自然坠落导致切割后的晶段开裂的情况。而且,在切片机工作时,要对晶棒支撑装置上的晶棒进行拼接,以使晶棒的长度与晶棒支撑装置的长度匹配,因为晶棒长度不统一,需要将长度不统一的晶棒通过截断机截断到指定的长度才能够进行晶棒的粘接。截断机会对晶棒造成损失,每刀刀损为4mm,且截断过的晶棒的截断面边缘会出现不同长度的边缘破损,也会造成晶棒损失。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种用于晶棒切割的支撑装置,在石墨条的支撑作用下,避免了切割过程中晶棒因自重产生的力矩而导致断裂和切断的现象,同时防止了晶棒自然坠落造成开裂的问题。为达上述目的,本技术所采用的技术方案是:提供一种用于晶棒切割的支撑装置,包括底座以及与底座连接的若干石墨条;底座通过调节组件与石墨条连接,调节组件包括与底座连接的第一调节杆以及嵌入在第一调节杆内的第二调节杆,第一调节杆上还设有若干调节孔;每个石墨条上开凿有用于安装晶棒的凹槽,凹槽内设有均匀分布的防滑纹。优选的,第二调节杆上设有与调节孔配合的限位珠。优选的,底座的底部设有若干移动轮。优选的,底座的侧面设有用于控制移动轮升降的开关。优选的,石墨条的两端设有把手。优选的,凹槽为半球形。优选的,石墨条的底部设有用于安装第二调节杆的导孔。综上所述,本技术具有以下优点:本技术通过将晶棒安装于石墨条的凹槽内,并将切断后的晶棒牢靠的连接在一起,在石墨条的支撑作用下避免了切割过程中晶棒因自重产生的力矩而导致断裂和切断的现象,同时防止了晶棒自然坠落造成开裂的问题;并且石墨条成本低,加工方便。附图说明图1为本技术晶棒切割的支撑装置的示意图;图2为本技术晶棒切割的支撑装置的俯视图;其中,1、底座;2、石墨条;3、凹槽;4、把手;5、防滑纹;6、移动轮;7、第二调节杆;8、第一调节杆;9、调节孔;10、开关。具体实施方式下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。本技术的一个实施例中,如图1所示,提供了一种用于晶棒切割的支撑装置,包括底座1以及与底座1连接的若干石墨条2;底座1通过调节组件与石墨条2连接,调节组件包括与底座1连接的第一调节杆8以及嵌入在第一调节杆8内的第二调节杆7,第一调节杆8上还设有若干调节孔9;每个石墨条上开凿有用于安装晶棒的凹槽3,凹槽3内设有均匀分布的防滑纹5,有效防止被切断的晶棒滑落。本技术的优化实施例,第二调节杆7上设有与调节孔9配合的限位珠;底座1的底部设有若干移动轮6,底座1的侧面设有用于控制移动轮6升降的开关10;石墨条2的两端设有把手4,凹槽3为半球形,石墨条2的底部设有用于安装第二调节杆7的导孔。石墨条2设置有3个且均匀设置在底座1上,每个石墨条的两端设有把手4,石墨条2的底部通过嵌套连接的第一调节杆8和第二调节杆7与底座1活动连接,第一调节杆8上设有若干调节孔8,第二调节杆7上设有与调节孔8配合使用的限位珠;当需要调节凹槽3与晶棒的距离,使晶棒能刚好容纳在凹槽内时,只需调节限位珠与调节孔9,加长或减短第二调节杆7的长度。底座1的底部设有移动轮6,侧面设有控制移动轮6的开关;通过把手4和移动轮6的配合使用可以方便地移动晶棒支撑装置,使得本晶棒支撑装置能够比较容易地安装在切片机上。虽然结合附图对本技术的具体实施方式进行了详细地描述,但不应理解为对本专利的保护范围的限定。在权利要求书所描述的范围内,本领域技术人员不经创造性劳动即可作出的各种修改和变形仍属本专利的保护范围。本文档来自技高网...
一种用于晶棒切割的支撑装置

【技术保护点】
一种用于晶棒切割的支撑装置,其特征在于:包括底座(1)以及与底座(1)连接的若干石墨条(2);所述底座(1)通过调节组件与石墨条(2)连接,所述调节组件包括与底座(1)连接的第一调节杆(8)以及嵌入在第一调节杆(8)内的第二调节杆(7),所述第一调节杆(8)上还设有若干调节孔(9);每个石墨条上开凿有用于安装晶棒的凹槽(3),所述凹槽(3)内设有均匀分布的防滑纹(5)。

【技术特征摘要】
1.一种用于晶棒切割的支撑装置,其特征在于:包括底座(1)以及与底座(1)连接的若干石墨条(2);所述底座(1)通过调节组件与石墨条(2)连接,所述调节组件包括与底座(1)连接的第一调节杆(8)以及嵌入在第一调节杆(8)内的第二调节杆(7),所述第一调节杆(8)上还设有若干调节孔(9);每个石墨条上开凿有用于安装晶棒的凹槽(3),所述凹槽(3)内设有均匀分布的防滑纹(5)。2.如权利要求1所述的用于晶棒切割的支撑装置,其特征在于:所述第二调节杆(7)上设有与调节孔(9)配合的限位珠。3.如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员:余建琳王宇
申请(专利权)人:四川天乐信达光电有限公司
类型:新型
国别省市:四川;51

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