【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
基于原子力显微镜恒高模式的纳米微小结构加工方法,本方法的系统包括计算机(3)、主单片机(4)、显示器及键盘(5)、AFM加工驱动电路(8)、AFM微悬臂加工系统(9)和AFM微悬臂光杠杆检测电路(10),AFM微悬臂加工系统(9)包括扫描陶管(9-1)、悬臂(9-2)、探针(9-3)和光杠杆测角装置(9-4),计算机(3)的通信端口连接主单片机(4)的一个通信端口,主单片机(4)的另一个通信端口连接显示器及键盘(5)的通信端口,主单片机(4)的一个输出端连接AFM加工驱动电路(8)的输入端,AFM加工驱动电路(8)的输出端连接AFM微悬臂加工系统(9)的输入端,AFM微悬臂加工系统(9)的信号输出端连接AFM微悬臂光杠杆检测电路(10)的输入端,AFM微悬臂光杠杆检测电路(10)的输出端连接主单片机(4)的输入端,其特征在于它还包括三维微动工作台控制电路(6)和三维微动工作台(7),主单片机(4)的另一个输出端连接三维微动工作台控制电路(6)的输入端,三维微动工作台控制电路(6)的输出端连接三维微动工作台(7)的输入端;本方法包括如下步骤:一、通过计算机(3)输入被加工工件(11)的加 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:孙涛,胡振江,闫永达,赵学森,董申,
申请(专利权)人:哈尔滨工业大学,
类型:发明
国别省市:93[中国|哈尔滨]
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