【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及生化传感器
更具体地，涉及一种基于SU-8应力层的自组装石墨烯场效应管型生化传感器。
技术介绍
生物和化学传感器(生化传感器)在化工、制药、生物医学、环境监测和食品安全等诸多领域有着广泛而重要的应用，与人们的生产生活息息相关。高性能生化传感器不仅需要具有选择性好、灵敏度高、分析速度快、成本低等优点，还需要具有高度自动化、微型化、集成化以及可在复杂体系中进行连续在线监测的特点。高性能的传感器依赖于高性能的敏感材料，石墨烯就是新型高性能敏感材料中的一个典型代表。作为一种二维晶体材料，石墨烯具有优异的电学、力学、热学和光学性能。石墨烯生化传感器大致可以分为：电化学电极、电容型、光电耦合器(拉曼和表面等离子)型和场效应管型。其中，石墨烯场效应管(Graphene field-effect transistor,GFET)型生化传感器因其结构简单、灵敏度高和适用性强，研究最为广泛和深入。石墨烯场效应管型生化传感器的基本原理是检测石墨烯电导率随其表面电性的变化。作为导电沟道的石墨烯能够对检测环境(液体介质或气体介质)中的被测物形成表面吸附，如果被测物微...
【技术保护点】
一种基于SU‑8应力层的自组装石墨烯场效应管型生化传感器，其特征在于，包括，单晶硅衬底(1)；石墨烯层(2)；设置在所述石墨烯层(2)上的介电层(4)；一部分设置在所述单晶硅衬底(1)上，另一部分设置在所述石墨烯层(2)上的漏电极(3)和源电极(6)；一部分设置在所述单晶硅衬底(1)上，另一部分设置在所述介电层(4)上的栅电极(5)；以及，在所述石墨烯层(2)上的漏电极(3)和源电极(6)、在所述介电层(4)和所述介电层(4)上的栅电极(5)以及在所述石墨烯层(2)上设置的SU‑8应力层(7)；其中，所述石墨烯层(2)、所述石墨烯层(2)上的漏电极(3)和源电极(6)、所述...
【技术特征摘要】
1.一种基于SU-8应力层的自组装石墨烯场效应管型生化传感器，其特征在于，包括，单晶硅衬底(1)；石墨烯层(2)；设置在所述石墨烯层(2)上的介电层(4)；一部分设置在所述单晶硅衬底(1)上，另一部分设置在所述石墨烯层(2)上的漏电极(3)和源电极(6)；一部分设置在所述单晶硅衬底(1)上，另一部分设置在所述介电层(4)上的栅电极(5)；以及，在所述石墨烯层(2)上的漏电极(3)和源电极(6)、在所述介电层(4)和所述介电层(4)上的栅电极(5)以及在所述石墨烯层(2)上设置的SU-8应力层(7)；其中，所述石墨烯层(2)、所述石墨烯层(2)上的漏电极(3)和...
【专利技术属性】
技术研发人员：邓涛，张兆浩，刘泽文，
申请(专利权)人：北京交通大学，
类型：发明
国别省市：北京;11
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