一种测量精度高的影像测量仪制造技术

本实用新型专利技术公开了一种测量精度高的影像测量仪，包括CCD传感器、玻璃平台和导轨行程支撑台，还包括气浮轴承，所述玻璃平台的中间部位上方放置有待测工件，所述CCD传感器安装在待测工件的上方，所述玻璃平台通过四角的支撑脚放置在导轨行程支撑台的上方，所述气浮轴承安装在玻璃平台中间部位下方的导轨行程支撑台上，所述气浮轴承与玻璃平台之间的距离为3-8μm。本实用新型专利技术结构简单、使用方便，克服了尤其是大行程的影像测量仪的玻璃平台受到自身重力和待测工件重量的影响而变形的问题，使大行程影像测量仪的玻璃平台的平面度在测量时保持一致，从而提高了测量精度。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种玻璃平台，具体是一种测量精度高的影像测量仪。
技术介绍
如图1所示，应用影像仪测量工件尺寸时因为需要应用底光，所以影像仪的平台都以玻璃台面为主，也由于有底光在玻璃平台下面，所以玻璃平台的支撑点都只能设计在边上以防止对底光的干扰，如果玻璃台面太大，由于中间部分没有支撑，则玻璃平台的中间部分就会由于自身重量下陷变形，平台越大或工件越重则下陷越严重，使得平面度过大，玻璃平台的平面无法和导轨行程面平行，影响了测量的准确性。目前还没有解决方案，多数都采取软件补正来勉强维持精度。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种结构简单、防下垂变形的测量精度高的影像测量仪，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种测量精度高的影像测量仪，包括CCD传感器、玻璃平台和导轨行程支撑台，还包括气浮轴承，所述玻璃平台的中间部位上方放置有待测工件，所述CCD传感器安装在待测工件的上方，所述玻璃平台通过四角的支撑脚放置在导轨行程支撑台的上方，所述气浮轴承安装在玻璃平台中间部位下方的导轨行程支撑台上。作为本技术再进一步的方案：所述气浮轴承与玻璃平台之间的距离为3-8μm。与现有本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测量精度高的影像测量仪，其特征在于，包括CCD传感器(1)、玻璃平台(2)和导轨行程支撑台(3)，还包括气浮轴承(4)，所述玻璃平台(2)的中间部位上方放置有待测工件(5)，所述CCD传感器(1)安装在待测工件(5)的上方，所述玻璃平台(2)通过四角的支撑脚(6)放置在导轨行程支撑台(3)的上方，所述气浮轴承(4)安装在玻璃平台(2)中间部位下方的导轨行程支撑台(3)上。

【技术特征摘要】
1.一种测量精度高的影像测量仪，其特征在于，包括CCD传感器(1)、玻璃平台(2)和导轨行程支撑台(3)，还包括气浮轴承(4)，所述玻璃平台(2)的中间部位上方放置有待测工件(5)，所述CCD传感器(1)安装在待测工件(5)的上方，所述玻璃平台(2)...

【专利技术属性】
技术研发人员：王德新，
申请(专利权)人：威申精密仪器上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31