带有自动监测系统的超净洁净室技术方案

本实用新型专利技术公开了一种带有自动监测系统的超净洁净室，包括数据库、采集传感器、真空系统、粒子计数器、浮游菌采样盘、浮游菌控制器，所述采集传感器用于采集超净洁净室的数据、并将数据经过第一多路处理模块、集线器后传输至数据库中；所述真空系统与粒子计数器、浮游菌采样盘相连接，用于提供气源；所述粒子计数器连接有等动力采样头，且粒子计数器将采集到的数据经过集线器后传输至数据库；所述浮游菌控制器经过第二多路处理模块后与浮游菌采样盘相连接，且浮游菌采样盘将采集到的数据经过第二多路处理模块、集线器后传输至数据库。本实用新型专利技术可以方便、全面、实时的监测，不易造成洁净室中生产的产品被污染，保证产品质量。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种监测系统，尤其涉及了一种带有自动监测系统的超净洁净室。
技术介绍
洁净室是指无论室外空气条件如何变化，仍能使室内空气中微尘粒子、有害气体、细菌等污染物排除，且室内温度、湿度、洁净度等特性控制在特定范围内。而超净洁净室是指洁净室达到了ios1级，“ios1级”的标准为0.1um≤10颗/m³，0.2um≤2颗/m³，ios1级的洁净度实现难度非常大，对应用于超大规模集成电路和高世代平板显示制造等电子信息产业的发展极其重要。现有技术的监测系统监测数据实时反馈、存储、分析记录等无法满足洁净环境发展需求，特别是当粒子数超标时无法实时报警提醒操作人员，造成洁净室中生产的产品被污染，严重威胁产品质量。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术的目的就在于提供了一种带有自动监测系统的超净洁净室，能够满足超净洁净室发展需求，可以方便、全面、实时的监测，不易造成洁净室中生产的产品被污染，保证产品质量。为了实现上述目的，本技术采用的技术方案是这样的：一种带有自动监测系统的超净洁净室，包括数据库、采集传感器、真空系统、粒子计数器、浮游菌采样盘、浮游菌控制器，所述采集传感器用于采集超净洁净室的数据、并将数据经过第一多路处理模块、集线器后传输至数据库中；所述真空系统与粒子计数器、浮游菌采样盘相连接，用于提供气源；所述粒子计数器连接有等动力采样头，且粒子计数器将采集到的数据经过集线器后传输至数据库；所述浮游菌控制器经过第二多路处理模块后与浮游菌采样盘相连接，且浮游菌采样盘将采集到的数据经过第二多路处理模块、集线器后传输至数据库。作为一种优选方案，所述采集传感器包括温湿度传感器、压差传感器，该温湿度传感器与压差传感器将信号经过第一多路处理模块、集线器后传输至数据库中。作为一种优选方案，所述采集传感器设置于不锈钢外壳内。作为一种优选方案，所述等动力采样头与浮游菌采样盘设置在距离地面或操作平台的高度为0.8~1.5m之间。作为一种优选方案，还设置有报警灯，所述数据库将报警信号经过集线器、第一多路处理模块传输到报警灯。作为一种优选方案，所述数据库通过网络与计算机相连接，用于远程控制。与现有技术相比，本技术的有益效果：1. 远程控制：可在控制室通过计算机进行远程实时监控及设定报警，数据储存，报告编辑,打印输出；2. 声光报警：多种报警功能，以保证系统长期稳定的运行，可实现采样流量报警，通讯失败报警、数值超标报警、硬件故障报警；3. 外置真空系统，等动力采样，流量28.3升/分钟；4. 二通道同步微粒计数，同时监测0.5, 5.0微米粒径的悬浮粒子；5. 监测每一台等动力采样头的运行流量，并提供流量运行状态的显示，不会干扰层流；6. 在无菌环境中工作的粒子计数器可以24小时进行连续的监测工作，并内置流量监控。附图说明图1是本技术的结构示意图。具体实施方式下面结合具体实施例对本技术作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，而不能以此来限制本技术的保护范围。实施例：如图1所示，一种带有自动监测系统的超净洁净室，包括数据库1、采集传感器、真空系统2、粒子计数器3、浮游菌采样盘4、浮游菌控制器5，所述采集传感器用于采集超净洁净室的数据、并将数据经过第一多路处理模块6、集线器8后传输至数据库1中；所述真空系统2与粒子计数器3、浮游菌采样盘4相连接，用于提供气源；所述粒子计数器3连接有等动力采样头7，且粒子计数器3将采集到的数据经过集线器8后传输至数据库；所述浮游菌控制器5经过第二多路处理模块9后与浮游菌采样盘4相连接，且浮游菌采样盘4将采集到的数据经过第二多路处理模块9、集线器8后传输至数据库1。本技术优选所述采集传感器包括温湿度传感器10、压差传感器11，该温湿度传感器10与压差传感器11将信号经过第一多路处理模块6、集线器8后传输至数据库1中；实施时满足用户在无菌生产区域实现动态悬浮粒子监控的要求的同时将压差、温湿度等采集传感器纳入本监测系统当中，形成对整个无菌生产过程的动态环境监测。本技术优选所述采集传感器设置于不锈钢外壳内，耐腐蚀。本技术优选所述等动力采样头7与浮游菌采样盘4设置在距离地面或操作平台的高度为0.8~1.5m之间；实施时，等动力采样头7与浮游菌采样盘4的取样点应具有代表性，并根据产品工艺关键控制点进行设置，一般为工艺流程上人员活动频繁处，组织气流可能被破坏处；尽量避免在回风口附近取样，而且测试人员应站在取样口的下风侧；任何洁净室和局部洁净区域采样点不得少于2个，总采样次数不得少于5次。本技术优选还设置有报警灯12，所述数据库1将报警信号经过集线器8、第一多路处理模块6传输到报警灯12，用于警报功能。本技术优选所述数据库1通过网络与计算机13相连接，用于远程控制，可以远程实时监控及设定报警，数据储存，报告编辑；所述计算机13还可以与打印机相连接，用于打印输出。以上所述仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变形，这些改进和变形也应视为本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带有自动监测系统的超净洁净室，其特征在于：包括数据库、采集传感器、真空系统、粒子计数器、浮游菌采样盘、浮游菌控制器，所述采集传感器用于采集超净洁净室的数据、并将数据经过第一多路处理模块、集线器后传输至数据库中；所述真空系统与粒子计数器、浮游菌采样盘相连接，用于提供气源；所述粒子计数器连接有等动力采样头，且粒子计数器将采集到的数据经过集线器后传输至数据库；所述浮游菌控制器经过第二多路处理模块后与浮游菌采样盘相连接，且浮游菌采样盘将采集到的数据经过第二多路处理模块、集线器后传输至数据库。

【技术特征摘要】
1.一种带有自动监测系统的超净洁净室，其特征在于：包括数据库、采集传感器、真空系统、粒子计数器、浮游菌采样盘、浮游菌控制器，所述采集传感器用于采集超净洁净室的数据、并将数据经过第一多路处理模块、集线器后传输至数据库中；所述真空系统与粒子计数器、浮游菌采样盘相连接，用于提供气源；所述粒子计数器连接有等动力采样头，且粒子计数器将采集到的数据经过集线器后传输至数据库；所述浮游菌控制器经过第二多路处理模块后与浮游菌采样盘相连接，且浮游菌采样盘将采集到的数据经过第二多路处理模块、集线器后传输至数据库。2.根据权利要求1所述的一种带有自动监测系统的超净洁净室，其特征在于：所述采集传感器包括温湿度传感器、压差传感...

【专利技术属性】
技术研发人员：章洪伟，章红权，姚飞红，
申请(专利权)人：江苏姑苏净化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32