一种用于洁净室的多级过滤系统及其控制方法技术方案

本发明专利技术公开了一种用于洁净室的多级过滤系统及其控制方法，属于洁净室过滤领域，其包括洁净室主体，其上具有一第一洁净门及一第二洁净门，其内具有一洁净腔室

【技术实现步骤摘要】
一种用于洁净室的多级过滤系统及其控制方法


[0001]本专利技术属于洁净室过滤领域，具体涉及一种用于洁净室的多级过滤系统及其控制方法
。

技术介绍

[0002]洁净室是一个工程空间，它保持非常低的空气中颗粒物浓度
。
它被很好地隔离，很好地控制了污染并积极清洁
。
这些房间通常用于科学研究以及所有纳米级工艺的工业生产，例如半导体制造
。
洁净室旨在使从灰尘到空气中的生物或汽化颗粒的所有东西远离它，从而远离它内部正在处理的任何材料
。
[0003]洁净室通过使用采用层流或湍流气流原理的
HEPA
或
ULPA
过滤器来保持无颗粒空气
。
层流或单向气流系统将过滤后的空气向下或沿水平方向恒定地引导至位于洁净室地板附近墙壁上的过滤器，再通过要再循环的高架穿孔地板
。
层流气流系统通常用于洁净室天花板的
80%。
不锈钢或其他非脱落材料用于构建层流气流过滤器和烟罩，以防止多余的颗粒进入空气
。
湍流或非单向气流使用层流罩和非特异性速度过滤器来保持洁净室中的空气运动，并将它们推向地板，在那里它们进入过滤器并离开洁净室环境
。
[0004]受制于再循环的高架穿孔地板的影响及受制于风力流向因素的影响，在洁净室中仅通过送风构件整体及高架穿孔地板的风循环使得洁净室中整体的风循环及过滤效果无法维持恒定的空气处理，其次来讲的是在送风构件整体进行风循环过滤时，若仅通过吸附盘来进行吸附杂质时则会致使少量的杂质通过送风构件整体而流入至洁净室中，致使影响整个风循环过滤系统的结果
。
[0005]本专利技术试图通过提供新的或以其他方式改进的洁净室过滤来减轻或至少缓解这样的问题或缺陷
。

技术实现思路

[0006]针对现有技术的以上缺陷或改进需求中的一种或者多种，本专利技术提供了一种用于洁净室的多级过滤系统及其控制方法，具有风循环及过滤效果高且吸附件的吸附效果较高的优点
。
[0007]为实现上述目的，本专利技术提供一种用于洁净室的多级过滤系统及其控制方法，其包括洁净室主体，其上具有一第一洁净门及一第二洁净门，其内具有一洁净腔室，在其内布设有一隔板，且其通过布设的隔板将该洁净腔室分为一第一子洁净腔室及一第二子洁净腔室，且该第一子洁净腔室与该第二子洁净腔室相互独立，在其顶部还具有一用于将该洁净腔室封闭的顶板，在其底部具有多组依次毗邻布设且可供流体所穿过出气板，且通过多组该出气板将该洁净室主体的底部所封闭；第一回风构件，其布设于该第一子洁净腔室中，且其输出端可从其中一个该出气板中所穿出并再穿入其中另一个出气板中，其用于对该第一子洁净腔室进行循环过滤；第二回风构件，其布设于该第二子洁净腔室中，其输出端可从其中一个该出气板
中所穿出并在穿入其中另一个出气板中，其用于对该第二子洁净腔室进行循环过滤；连通构件，其布设于该隔板上，且其分别与该第一子洁净腔室及该第二子洁净腔室所连通，其位于该第二子洁净腔室的一端布设有一封堵件；以及两组送风构件，均布设于该顶板上，其中一组该送风构件与该第一子洁净腔室所连通，其中另一组该送风构件与该第二子洁净腔室所连通
。
[0008]作为本专利技术的进一步改进，该第一回风构件包括第一过滤器，其可拆卸的布设于该第一子洁净腔室中；第一滤网，其可拆卸的安装于该第一过滤器上；第一连接管，其可拆卸的布设于该第一过滤器的底部且其可从该出气板中所穿出；第二连接管，其一体成型的布设于该第一连接管的一端，且其与该第一连接管相连通；第三连接管，其一体成型的布设于该第二连接管远离第一连接管的一端且其可穿入至该出气板中，其与该第二连接管相连通；以及第一通风网板，其可拆卸的安装于该第三连接管上，且其与该第三连接管相连通
。
[0009]作为本专利技术的进一步改进，该第二回风构件包括第二过滤器，其可拆卸的布设于该第二子洁净腔室中；第二滤网，其可拆卸的安装于该第二过滤器上；第四连接管，其可拆卸的布设于该第二过滤器的底部且其可从该出气板中所穿出；第五连接管，其一体成型的布设于该第四连接管的一端，且其与该第四连接管相连通；第六连接管，其一体成型的布设于该第五连接管远离该第四连接管的一端且其可穿入至该出气板中，其与该第五连接管相连通；以及第二通风网板，其可拆卸的布设于该第六连接管上，且其与该第六连接管相连通
。
[0010]作为本专利技术的进一步改进，该连通构件包括套环，其上可拆卸的布设有一立板，且该立板可拆卸的布设于该隔板上；连通管，其可拆卸的布设于该套环内，其分别与该第一子洁净腔室及该第二子洁净腔室所连通；连接板，其可拆卸的布设于该连通管的一端，其内具有一空腔；以及封堵件，其布设于该连接板上，其用于对该连通管的一端口进行封堵
。
[0011]作为本专利技术的进一步改进，该封堵件包括封板，其可滑动的布设于该连接板所具有的空腔内，其用于对该连通管的一端口进行封堵；驱动电机，其可拆卸的安装于该连接板上；卡箍，其可拆卸的安装于该连接板上，且其将该驱动电机所包围；基板，其可拆卸的布设于该封板上，在其内可拆卸的穿设有一内螺纹套环；以及丝杆，其可拆卸的安装于该驱动电机的输出端，且其可穿入至该内螺纹套环内；其中，当该驱动电机的输出端转动时，用于驱动该丝杆转动，以使得该封板沿着该
连接板所具有的空腔滑动，以开启该连通管的一端
。
[0012]作为本专利技术的进一步改进，在该丝杆远离该驱动电机输出端的一端还可拆卸的安装有一挡块，该挡块用于防止该内螺纹套环从该丝杆上所脱落
。
[0013]作为本专利技术的进一步改进，该送风构件包括第三过滤器，其一端可拆卸的布设有一插管，且该插管与该顶连接板相连通，在该插管上可拆卸的布设有一顶连接板，该顶连接板可拆卸的安装于该顶板上，且该插管可穿入至该洁净腔室中；聚风套环，其插设于该顶连接板所穿入洁净腔室中的一端，且其与该顶连接板相连通；贴合盘，其可拆卸的布设于该第三过滤器上，其内具有一通孔，在其上布设有一垫片；中空立柱，其可拆卸的安装于该第三过滤器上，其与该第三过滤器相连通，且其可从该贴合盘所具有的通孔中所穿过；吸附件，其穿设于该中空立柱上，且其一端与该贴合盘相贴触；以及套筒，其上具有一连接杆，且其可通过该连接杆插入该垫片中，以使得该套筒与该贴合盘相贴合，以对该吸附件进行封闭，在其外圆周面上还开设有多组第一透气孔
。
[0014]作为本专利技术的进一步改进，该吸附件由多组子
M
段所构成，多组子
M
段依次首尾相连接以使得该吸附件呈环状，在每组该子
M
段上所具有的斜面上均可贴设有一第一硅胶吸附贴片，在每组子
M
段上的最低点处贴设有一第二硅胶吸附贴片，且该第二硅胶吸附贴片与该子
M
段最低点处所形成的曲面面积相适配
。
[0015]作为本专利技术的进一步改进，还包括一底通风构本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种用于洁净室的多级过滤系统，其特征在于，其包括洁净室主体（1），其上具有一第一洁净门（
11
）及一第二洁净门（
12
），其内具有一洁净腔室，在其内布设有一隔板（
15
），且其通过布设的隔板（
15
）将该洁净腔室分为一第一子洁净腔室及一第二子洁净腔室，且该第一子洁净腔室与该第二子洁净腔室相互独立，在其顶部还具有一用于将该洁净腔室封闭的顶板（
13
），在其底部具有多组依次毗邻布设且可供流体所穿过出气板（
14
），且通过多组该出气板（
14
）将该洁净室主体（1）的底部所封闭；第一回风构件（2），其布设于该第一子洁净腔室中，且其输出端可从其中一个该出气板（
14
）中所穿出并再穿入其中另一个出气板（
14
）中，其用于对该第一子洁净腔室进行循环过滤；第二回风构件（3），其布设于该第二子洁净腔室中，其输出端可从其中一个该出气板（
14
）中所穿出并在穿入其中另一个出气板（
14
）中，其用于对该第二子洁净腔室进行循环过滤；连通构件（4），其布设于该隔板（
15
）上，且其分别与该第一子洁净腔室及该第二子洁净腔室所连通，其位于该第二子洁净腔室的一端布设有一封堵件；以及两组送风构件（5），均布设于该顶板（
13
）上，其中一组该送风构件（5）与该第一子洁净腔室所连通，其中另一组该送风构件（5）与该第二子洁净腔室所连通
。2.
根据权利要求1所述的用于洁净室的多级过滤系统，其特征在于，该第一回风构件（2）包括第一过滤器（
21
），其可拆卸的布设于该第一子洁净腔室中；第一滤网（
22
），其可拆卸的安装于该第一过滤器（
21
）上；第一连接管（
23
），其可拆卸的布设于该第一过滤器（
21
）的底部且其可从该出气板（
14
）中所穿出；第二连接管（
24
），其一体成型的布设于该第一连接管（
23
）的一端，且其与该第一连接管（
23
）相连通；第三连接管（
25
），其一体成型的布设于该第二连接管（
24
）远离第一连接管（
23
）的一端且其可穿入至该出气板（
14
）中，其与该第二连接管（
24
）相连通；以及第一通风网板（
26
），其可拆卸的安装于该第三连接管（
25
）上，且其与该第三连接管（
25
）相连通
。3.
根据权利要求2所述的用于洁净室的多级过滤系统，其特征在于，该第二回风构件（3）包括第二过滤器（
31
），其可拆卸的布设于该第二子洁净腔室中；第二滤网（
32
），其可拆卸的安装于该第二过滤器（
31
）上；第四连接管（
33
），其可拆卸的布设于该第二过滤器（
31
）的底部且其可从该出气板（
14
）中所穿出；第五连接管（
34
），其一体成型的布设于该第四连接管（
33
）的一端，且其与该第四连接管（
33
）相连通；第六连接管（
35
），其一体成型的布设于该第五连接管（
34
）远离该第四连接管（
33
）的一端且其可穿入至该出气板（
14
）中，其与该第五连接管（
34
）相连通；以及第二通风网板（
36
），其可拆卸的布设于该第六连接管（
35
）上，且其与该第六连接管
（
35
）相连通
。4.
根据权利要求3所述的用于洁净室的多级过滤系统，其特征在于，该连通构件（4）包括套环（
41
），其上可拆卸的布设有一立板（
42
），且该立板（
42
）可拆卸的布设于该隔板（
15
）上；连通管（
43
），其可拆卸的布设于该套环（
41
）内，其分别与该第一子洁净腔室及该第二子洁净腔室所连通；连接板（
44
），其可拆卸的布设于该连通管（
43
）的一端，其内具有一空腔；以及封堵件，其布设于该连接板（
44
）上，其用于对该连通管（
43
）的一端口进行封堵
。5.
根据权利要求4所述的用于洁净室的多级过滤系统，其特征在于，该封堵件包括封板（
441
），其可滑动的布设于该连接板（
44
）所具有的空腔内，其用于对该连通管（
43
）的一端口进行封堵；驱动电机（
45
），其可拆卸的安装于该连接板（
44
）上；卡箍（
46
），其可拆卸的安装于该连接板（
44
）上，且其将该驱动电机（
45
）所包围；基板（
47
），其可拆卸的布设于该封板（
441
）上，在其内可拆卸的穿设有一内螺纹套环（
48
）；以及丝杆（
49
），其可拆卸的安装于该驱动电机（
45
）的输出端，且其可穿入至该内螺纹套环（
48
）内；其中，当该驱动电机（
45
）的输出端转动时，用于驱动该丝杆（
49
）转动，以使得该封板（
441
）沿着该连接板（
44
）所具有的空腔滑动，以开启该连通管（
43
）的一端
。6.
根据权利要求5所述的用于洁净室的多级过滤系统，其特征在于，在该丝杆（
49
）远离该驱动电机（
45
）输出端的一端还可拆卸的安装有一挡块（
491
），该挡块（
491
）用于防止该内螺纹套环（
48
）从该丝杆（
49
）上所脱落
。7.
根据权利要求6所述的用于洁净室的多级过滤系统，其特征在于，该送风...

【专利技术属性】
技术研发人员：章洪伟，姚飞红，朱圣超，
申请(专利权)人：江苏姑苏净化科技有限公司，
类型：发明
国别省市：