一种充气式门密封装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种充气式门密封装置，包括：门框、观察窗、U型密封圈、O型密封圈、密封腔体、门轴、转轴座、上门轴座、下门轴座和门开关传感器等。其特征在于：所述门框、门轴和门轴座组成门的主体结构；观察窗安装于门框内的中空部分，U型密封圈嵌套式安装于观察窗的边缘；观察窗和密封圈组成可充气式的密封单元；门开关传感器用于检测门的开关状态。当门关闭后，通过向U型密封圈内充入气体，使密封圈膨胀。膨胀后的密封圈与腔体内部通过接触实现腔室的密封。通过该装置可以实现腔室良好的密封，避免外界环境对腔室内部造成污染。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体制造领域，具体涉及一种用于充气式门密封装置。
技术介绍
随着半导体工艺设备的发展，对集成电路晶圆的清洗制造工艺要求也越来越高。同样，对于工艺腔室内部对微环境要求也渐高，为了避免外部环境对清洗腔室造成污染，一般需要将工艺腔室和外部环境进行隔离。但是同时，在实际工艺过程中，又难以完全隔绝，比如用于取放晶圆而开设的门窗。门窗与腔体之间必然无法做到固结密封，在取放晶圆操作完成后，可以关闭门窗以隔绝外部环境，若门与腔体之间采用间隙配合，则必然密封不严，若是采用过盈配合则又会使接触面压力过大，造成严重的磨损，这都是不可取的。本专利技术采用充气式门密封装置，当门窗处于关闭状态时，通过向观察窗处嵌套的U型密封圈内充入气体，使密封圈膨胀来完成腔室密封，从而使腔室的内外部的环境相隔绝。
技术实现思路
本专利技术的目是提供一种能使腔室与外部环境相隔绝的充气式门密封装置。本专利技术为达到上述目的，采用如下技术方案：一种充气式门密封装置，包括：门框、观察窗、U型密封圈、O型密封圈、密封腔体、门轴、转轴座、上门轴座、下门轴座和门开关传感器等。其特征在于：所述门框、门轴和门轴座组成门的主体结构；观察窗安装于门框内的中空部分，密封圈安装于观察窗的边缘；门观察窗和密封圈组成可充气式的密封单元；在门主体结构关闭后，门开关传感器检测到门的开关状态，发送指令向密封圈内充入气体，使密封圈膨胀；膨胀后的密封圈与腔室内部相接触，从而完成腔室的密封。通过该密封装置可以实现腔室良好的密封，避免外界环境对腔室内部造成污染。其中，门框为中空结构，中空部分用于实现门观察窗的嵌套安装；所述门框上开有用于向观察窗通气的内部通孔；所述门框上开有异形孔用于与观察窗相连接。其中，下门轴为中空结构，起到支撑门框的作用，同时用于密封用气体的流通。其中，下门轴座开有内部通孔，通孔用于输送密封用气体。通孔一端开有内螺纹孔，用于接入外部气体；通孔另一端开有台阶孔，台阶孔用于安装转轴座。其中，观察窗采用透明材质材料制成，如透明PVC；所述观察窗开有螺纹孔，用于与门框相连接；所述观察窗边缘开有凹槽，用于安装密封圈；所述门框内部开有与凹槽相连通的通孔，用于向密封圈输送气体。其中，U型密封圈由柔性无挥发性物质析出的材质制作而成，如橡胶；所述U型密封圈截面形状为类似U型结构；所述密封圈在充气时可自由膨胀；所述密封圈为环状结构，包覆
安装于观察窗的边缘。其中，门开关传感器可通过检测门的开关状态，以触发对门密封装置进行充气密封的信号。其中，所述的多个O型密封圈主要用于对气体在传输过程中容易发生泄漏的区域进行密封。本专利技术的有益效果是：通过对嵌套在观察窗上的U型密封圈充入气体，使密封圈膨胀，从而在腔室门关闭后对腔室进行密封，隔离了腔室的内、外部环境，提高了腔室的密封效果。附图说明图1是本专利技术所述的一种充气式门密封装置示意图；图2是本专利技术所述的充气式密封装置的局部特征视图；图3是本专利技术所述的密封装置的剖面视图；图4描述本专利技术密封气体经下门轴座到达门框的路径示意图；图5描述本专利技术密封气体经门框到达U型密封圈的路径示意图；图中：1、门框，2、下门轴座，3、上门轴座，4、转轴座，5、门轴，6、O型密封圈，7、快插接头，8、密封螺钉，9、门观察窗，10、U型密封圈，11、密封腔体，12、门开关传感器。具体实施方式下面结合附图对本专利技术作进一步说明。如附图1～附图5所示，一种充气式密封装置。下门轴座2和上门轴座3通过螺钉固定在密封腔体11上，门框1通过门轴5进行固定。下门轴5一端与门框1配合，另一端与转轴座4配合，上门轴5一端与门框1配合，另一端与上门轴座3相配合。下门轴座2开有内部连通的孔，用于输送密封气体，通孔一端开有内螺纹孔201，该内螺纹孔用于安装快插接头7，为密封气体的引入端；通孔的另一端开有与转轴座4相配合的台阶孔，该台阶孔可以和转轴座4的外圆柱面过盈配合连接，以避免气体向外泄露。转轴座4的内部开有通孔和凹槽，通孔用于与门轴5配合，同时为了避免该通孔气体的泄露，转轴座4开有凹槽，在凹槽内装入O型密封圈6，O型密封圈6包覆在门轴5外圆周面，可以很好的避免气体的外泄。为了引入密封气体，门框1和门观察窗9的内部均开有内部连通的孔，这两组连通孔可以在装配时相联通，以进一步向U型密封圈10的内部充入密封气体。门框1和门观察窗9通过内部嵌套和螺钉进行连接。如附图4～附图5所示，描述了密封气体A经快换接头7到达门观察窗9的路径示意图。密封气体A进过快换接头7引入以后，经过下门轴座2的内部通孔区域202到达门轴5的内
部通孔区域501，而后到达门框1的内部区域102、103，最后达到与门观察窗9箱接触的区域104。在加工孔特征103时，需要在门框1的边缘开口，为了防止此部分气体发生泄漏，在特征孔103的端部装入密封螺钉8。为了防止在与门观察窗9相接触的区域发生气体泄漏，门框1开有凹槽105，并在安装时装入O型密封圈6，O型密封圈6通过在安装过程中挤压变形，其两面分别贴在凹槽105和门观察窗9上面，这样便保证气体A在通过该区域时不会发生泄漏。气体在出104区域以后会到达门观察窗9的区域901、902最终到达U型密封圈10的区域1001。在继续充入气体A以后，气体压力会促使U型密封圈10发生膨胀。为了防止U型密封圈10在膨胀时发生气体泄漏，在门观察窗与U型密封圈向配合的区域还开有凹槽903，在U型密封圈膨胀时，其开口端会紧贴在凹槽903区域的内部，从而不会发生气体泄漏。故U型密封圈的膨胀只能严重边缘的1002区域，面1002会在膨胀后与密封腔体11的内侧面1101相接触。这样，便使腔体内部的微环境与外界很好的隔绝。以上是对本专利技术的描述而非限定，基于本专利技术思想的其他实施例，亦均在本专利技术的保护范围之中。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种充气式门密封装置，包括：门框、观察窗、U型密封圈、O型密封圈、密封腔体、门轴、转轴座、上门轴座、下门轴座和门开关传感器等。其特征在于：所述门框、门轴和门轴座组成门的主体结构；观察窗安装于门框内的中空部分，U型密封圈嵌套式安装于观察窗的边缘；门观察窗和U型密封圈组成可充气式的密封单元；在门主体机构关闭后，通过向U型密封圈内充入气体，使密封圈膨胀；门开关传感器用于检测门的开关状态；通过该密封装置可以实现腔室良好的密封，避免外界环境对腔室内部造成污染。

【技术特征摘要】
1.一种充气式门密封装置，包括：门框、观察窗、U型密封圈、O型密封圈、密封腔体、门轴、转轴座、上门轴座、下门轴座和门开关传感器等。其特征在于：所述门框、门轴和门轴座组成门的主体结构；观察窗安装于门框内的中空部分，U型密封圈嵌套式安装于观察窗的边缘；门观察窗和U型密封圈组成可充气式的密封单元；在门主体机构关闭后，通过向U型密封圈内充入气体，使密封圈膨胀；门开关传感器用于检测门的开关状态；通过该密封装置可以实现腔室良好的密封，避免外界环境对腔室内部造成污染。2.如权利要求1所述的一种充气式门密封装置，所述门框为中空结构，中空部分用于实现门观察窗的嵌套安装；所述门框上开有用于向观察窗通气的内部通孔；所述门框上开有异形孔用于与观察窗相连接。3.如权利要求1所述的一种充气式门密封装置，其特征在于：所述门轴为中空结构，起到支撑门框的作用，同时用于密封用气体的流通。4.如权利要求1所述的一种充气式门密封装置，其特征在于：所述的下门轴座开有内部通孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：田英干，王文会，徐俊成，田一，
申请(专利权)人：嘉兴晶装电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33