一种磁控管与加热箱体的连接结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种磁控管与加热箱体的连接结构，包括磁控管，波导、石英玻璃板、云母板和水冷波导，磁控管安装在波导的入口，波导的出口法兰与水冷波导的入口法兰连接，水冷波导的出口法兰与加热箱体的连接法兰连接；石英玻璃板安装在水冷波导的入口法兰与加热箱体的连接法兰之间；云母板夹在波导的出口法兰与水冷波导的入口法兰之间。本实用新型专利技术通过石英玻璃板和云母板两次隔离，极大地增强了对腐蚀性气体阻隔能力，能够阻碍腐蚀性气体通过水冷波导和波导的腔体进入磁控管，腐蚀磁控管的天线，提高了磁控管的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
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]本技术涉及石墨烯膨化设备，尤其涉及一种磁控管与加热箱体的连接结构。[
技术介绍
]石墨烯的膨化时温度非常高，又有非常大的腐蚀性，在高温的酸性气体的环境下，大量的酸性气体会通过加热腔，拟制器渗透进磁控管波导腔。磁控管发射铜质天线在波导腔中形成铜的硫化物而产生腐蚀。如图1所示，传统的与加热箱体的连接结构，包括磁控管1，波导2、石英玻璃板3和水冷波导5，磁控管1安装在波导2的入口，波导2的出口法兰与水冷波导5的入口法兰连接，水冷波导5的出口法兰与加热箱体的连接法兰6连接。石英玻璃板3安装在水冷波导5的入口法兰与加热箱体的连接法兰之间。传统的磁控管1只是用石英玻璃3做了温度的隔离。但是，腐蚀性气体穿过石英玻璃3和不锈钢法兰的空隙，通过水冷波导5和波导2的腔体进入磁控管1，直接腐蚀磁控管1中的天线，降低了磁控管的使用寿命。[
技术实现思路
]本技术要解决的技术问题是提供一种磁控管天线不易腐蚀、使用寿命长的磁控管与加热箱体的连接结构。为了解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是，一种磁控管与加热箱体的连接结构，包括磁控管，波导、石英玻璃板、云母板和水冷波导，磁控管安装在波导的入口，波导的出口法兰与水冷波导的入口法兰连接，水冷波导的出口法兰与加热箱体的连接法兰连接；石英玻璃板安装在水冷波导的入口
法兰与加热箱体的连接法兰之间；云母板夹在波导的出口法兰与水冷波导的入口法兰之间。以上所述的连接结构，包括第一硅胶密封圈，第一硅胶密封圈套在云母板的外面，云母板与波导出口法兰、水冷波导入口法兰之间通过第一硅胶密封圈密封。以上所述的连接结构，波导的出口法兰的端面包括环形槽，云母板安装在环形槽中，环形槽的外沿与云母板的外沿之间留有环形间隙，第一硅胶密封圈安装在云母板与波导出口法兰之间的环形间隙中。以上所述的连接结构，包括第二硅胶密封圈，石英玻璃板与水冷波导出口法兰、加热箱体连接法兰之间通过第二硅胶密封圈密封。以上所述的连接结构，第二硅胶密封圈的截面为L形，包括底面和环边；加热箱体连接法兰包括环形凹槽，石英玻璃板的周边包括法兰，石英玻璃板周边的法兰嵌在加热箱体连接法兰的环形凹槽中，第二硅胶密封圈的底面压在石英玻璃板的法兰与热箱体连接法兰环形凹槽的底面之间；第二硅胶密封圈的环边套在石英玻璃板法兰的外周。以上所述的连接结构，波导的出口法兰与水冷波导的入口法兰之间，水冷波导出口法兰与加热箱体的连接法兰之间分别通过不锈钢螺栓连接。本技术的的连接结构通过石英玻璃板和云母板两次隔离，极大地增强了对腐蚀性气体阻隔能力，能够阻碍腐蚀性气体通过水冷波导和波导的腔体进入磁控管，腐蚀磁控管的天线，提高了磁控管的使用寿命。[附图说明]下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。图1是现有技术磁控管与加热箱体的连接结构的分解图。图2是本技术实施例磁控管与加热箱体的连接结构的分解图。图3是本技术实施例磁控管与加热箱体的连接结构的俯视图。图4是图3中的B向剖视图。[具体实施方式]本技术实施例磁控管与加热箱体的连接结构如图2至图4所示，包括磁控管1，波导2、石英玻璃板3、云母板4、硅胶密封圈7、硅胶密封圈8和水冷波导5，磁控管1安装在波导2的入口，波导2的出口法兰201与水冷波导5的入口法兰501连接，水冷波导5的出口法兰502与加热箱体11的连接法兰6连接。石英玻璃板3安装在水冷波导5的入口法兰与加热箱体的连接法兰6之间。云母板4夹在波导2的出口法兰201与水冷波导5的入口法兰501之间。波导2的出口法兰201与水冷波导5的入口501法兰之间，通过不锈钢螺栓9连接。水冷波导5出口法兰502与加热箱体的连接法兰6之间通过不锈钢螺栓10连接。波导2的出口法兰201的端面有一圈环形槽，云母板4安装在环形槽中，环形槽的外沿与云母板4的外沿之间留有环形间隙，硅胶密封圈7套在云母板4的外面，安装在云母板4与波导2出口法兰之间的环形间隙中。云母板4与波导2出口法兰、水冷波导5入口法兰之间通过硅胶密封圈7密封。硅胶密封圈8的截面为L形，包括底面和环边。加热箱体连接法兰6包括一圈环形凹槽，石英玻璃板3的周边有一圈法兰301，石英玻璃板3周边的法兰01嵌在加热箱体连接法兰6的环形凹槽中，硅胶密封圈8的底面压在石英玻璃板3的法兰301与热箱体连接法兰6的环形凹槽的底面之间。硅胶密封圈8的环边套在石英玻璃板3法兰301的外周。石英玻璃板3与水冷波导5入口法兰、加热箱体连接法兰之间通过硅胶密封圈8密封。硅胶密封圈7和硅胶密封圈8进一步提高了波导内腔的密封性，对酸性气体的气密性防护能力大大提高。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁控管与加热箱体的连接结构，包括磁控管，波导、石英玻璃板和水冷波导，磁控管安装在波导的入口，波导的出口法兰与水冷波导的入口法兰连接，水冷波导的出口法兰与加热箱体的连接法兰连接；石英玻璃板安装在水冷波导的入口法兰与加热箱体的连接法兰之间；其特征在于，包括云母板，云母板夹在波导的出口法兰与水冷波导的入口法兰之间。

【技术特征摘要】
1.一种磁控管与加热箱体的连接结构，包括磁控管，波导、石英玻璃板和水冷波导，磁控管安装在波导的入口，波导的出口法兰与水冷波导的入口法兰连接，水冷波导的出口法兰与加热箱体的连接法兰连接；石英玻璃板安装在水冷波导的入口法兰与加热箱体的连接法兰之间；其特征在于，包括云母板，云母板夹在波导的出口法兰与水冷波导的入口法兰之间。2.根据权利要求1所述的连接结构，其特征在于，包括第一硅胶密封圈，第一硅胶密封圈套在云母板的外面，云母板与波导出口法兰、水冷波导入口法兰之间通过第一硅胶密封圈密封。3.根据权利要求2所述的连接结构，其特征在于，波导的出口法兰的端面包括环形槽，云母板安装在环形槽中，环形槽的外沿与云母板的外沿之间留有环形间隙，第一硅胶密封圈安装在云母板与...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾华鑫，蔚斌斌，
申请(专利权)人：株洲市微朗科技有限公司，
类型：新型
国别省市：湖南;43