【技术实现步骤摘要】
本技术属于电路板等离子清洗
,尤其涉及一种真空等离子清洗机组合柜式电极。
技术介绍
目前,业界常见的真空等离子清洗机采用的电极为水平式,多层,阴极和阳极对称型,这种结构的电极在处理金属引线框架(Metal lead frame)、电路板(PCB/FPC)、IC载板(IC substrate)时,通常采用两种方式:一种是在电极之间加一层托架,然后依靠人工把产品单片放置在托架上进行处理,优点是处理效果和均匀性都好,缺点是取放时间长,员工操作频繁,产能低;另一种是把需要处理的产品装在料盒(治具)里面,料盒放在两层电极之间,料盒与电极绝缘,这种处理的优点是取放时间短,员工操作方便,产能高,缺点是放在料盒中间的产品处理效果不好,尤其是均匀性很差。
技术实现思路
针对现有的水平式电极不适合整批处理料盒,产能低下的不足,本技术提供一种组合柜式电极,该结构的电极不仅能够多批次处理料盒,而且能保证产品处理效果和均匀性,提高产能。本技术的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的:本技术的一种真空等离子清洗机组合柜式电极,包括铝制真空箱体;在真空箱体内部的竖直方向上平行的设置若干铝制电极板,在竖直方向上铝制电极板按照阳极、阴极间隔设置且两端最外侧的铝制电极板均为阳极;在真空箱体内部的水平方向上平行的设置若干层铝制电极板,每一层均为阳极;水平 方向上的铝制电极板和竖直方向上的铝制电极板形成若干治具间;在每个治具间的水平方向上的铝制电极板上设有治具绝缘支架,治具绝缘支架上固定有载板;在真空箱体的顶部设有电极馈入接头,其穿过真空箱体与其内部作为阴极的铝制电极板相连。作为优选,所述 ...
【技术保护点】
一种真空等离子清洗机组合柜式电极,其特征在于:包括铝制真空箱体(1);在真空箱体(1)内部的竖直方向上平行的设置若干铝制电极板(2),在竖直方向上铝制电极板(2)按照阳极、阴极间隔设置且两端最外侧的铝制电极板(2)均为阳极;在真空箱体(1)内部的水平方向上平行的设置若干层铝制电极板(2),每一层均为阳极;水平方向上的铝制电极板(2)和竖直方向上的铝制电极板(2)形成若干治具间(3);在每个治具间(3)的水平方向上的铝制电极板(2)上设有治具绝缘支架(4),治具绝缘支架(4)上固定有载板(5);在真空箱体(1)的顶部设有电极馈入接头(6),其穿过真空箱体(1)与其内部作为阴极的铝制电极板(2)相连。
【技术特征摘要】
1.一种真空等离子清洗机组合柜式电极,其特征在于:包括铝制真空箱体(1);在真空箱体(1)内部的竖直方向上平行的设置若干铝制电极板(2),在竖直方向上铝制电极板(2)按照阳极、阴极间隔设置且两端最外侧的铝制电极板(2)均为阳极;在真空箱体(1)内部的水平方向上平行的设置若干层铝制电极板(2),每一层均为阳极;水平方向上的铝制电极板(2)和竖直方向上的铝制电极板(2)形成若干治具间(3);在每个治具间(3)的水平方向上的铝制电极板(2)上设有治具绝缘支架(4),治具绝缘支架(4)上固定有载板(5);在真空箱体(1)的顶部设有电极馈入接头(6),其穿过真空箱体(1)与其内部作为阴极的铝制电极板(2)相连。2.根...
【专利技术属性】
技术研发人员:郭峰,刘善双,国际瑞,刘善石,
申请(专利权)人:昆山普乐斯电子科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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