一种石墨烯复合膜片上电感制造技术
本发明专利技术公开了一种石墨烯复合膜片上电感，属于微电子器件技术领域。本发明专利技术中，位于衬底上方的片上电感采用石墨烯复合膜作为电感线圈材料，石墨烯复合膜由石墨烯层、绝缘介质层、金属导电层依次叠加组成。其中，石墨烯层和金属导电层共同组成片上电感的导电通道，有利于降低电感电阻值，提高电感品质因数；绝缘介质层位于石墨烯层与金属导电层之间，对石墨烯层和金属导电层主体进行隔离以降低金属导电层对石墨烯中电子输运的干扰,使石墨烯提供大动态电感，大幅增加片上电感电感值。因此，本发明专利技术提供的片上电感具有高品质因数、大电感值的特点，特别适用于射频集成电路。
【技术实现步骤摘要】
201610355178
【技术保护点】
一种石墨烯复合膜片上电感，其特征在于：采用石墨烯复合膜作为电感线圈材料；所述石墨烯复合膜由石墨烯层、绝缘介质层、金属导电层依次叠加组成；其中，所述石墨烯层和金属导电层在边缘处相连，所述绝缘介质层位于石墨烯层和金属导电层中间，宽度为石墨烯层或金属导电层宽度的十分之九，隔离石墨烯层和金属导电层主体部分，所述石墨烯层依附于衬底上。
【技术特征摘要】
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