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本发明公开了一种石墨烯复合膜片上电感，属于微电子器件技术领域。本发明中，位于衬底上方的片上电感采用石墨烯复合膜作为电感线圈材料，石墨烯复合膜由石墨烯层、绝缘介质层、金属导电层依次叠加组成。其中，石墨烯层和金属导电层共同组成片上电感的导电通道...
该专利属于武汉大学所有，仅供学习研究参考，未经过武汉大学授权不得商用。

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