平整薄膜层喷孔结构及喷墨打印机制造技术

本发明专利技术公开了一种平整薄膜层喷孔结构及应用所述平整薄膜层喷孔结构的喷墨打印机，该平整薄膜层喷孔结构包含一基底，基底上设有若干进墨通道，基底的表面平整地覆盖一薄膜层，在薄膜层的内部设有若干压力腔，压力腔与进墨通道一一对应并相互连通，薄膜层的表面还设有若干喷孔，喷孔与压力腔一一对应并相互连通，压力腔之间还可以设有隔层，薄膜层由有机材料制成。由于本发明专利技术的平整喷孔薄膜层结构的薄膜层整体由有机材料形成，易于制造且在表面不会形成凹槽，不会造成油墨和其他污染物的累积；压力腔墙体坚固不易损坏，更利于批量化生产。

【技术实现步骤摘要】


本专利技术涉及一种平整薄膜层喷孔结构，更确切地说，是一种用于喷墨打印技术的平整薄膜层喷孔结构，以及应用所述平整薄膜层喷孔结构的喷墨打印机。

技术介绍

目前业界传统实现压力腔的结构有两种：
如图1所示的一种现有结构，其主要特点为顶部材质与墙体材质不同，其实现工艺较复杂，很难用常规的MEMS方法进行批量制造。此结构首先通过光刻的方式形成压力腔的外形，再将已进行激光打孔形成喷孔的聚酰亚胺(polyimide)薄膜通过对位的方式粘贴到墙体的顶部。此结构的缺点是：
1、聚酰亚胺(polyimide)薄膜在对位粘贴时存在对位误差，喷孔偏离目标位置。
2、聚酰亚胺(polyimide)薄膜贴附于墙体顶部时，聚酰亚胺(polyimide)薄膜的黏附均匀性以及粘着力的大小会存在偏差。
如图2所示的另一种现有结构，其主要特点为顶部材质与墙体材质相同，但是喷孔层的上表面不平整，相邻喷孔之间易造成油墨和其他污染物的累积，并且在喷孔擦洗过程中造成喷孔污染或堵塞。此结构采用MEMS集成的方法，首先用有机牺牲材料形成压力腔的外形，然后通过沉积的方式（本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种平整薄膜层喷孔结构，包含一薄膜层，一基底；所述薄膜层含一上表面和一下表面，所述基底含一上表面和一下表面，所属薄膜层的下表面与所述基底的上表面连接，其特征在于，所述薄膜层中包含至少一个喷孔和一个压力腔，所述喷孔贯穿所述薄膜层的上表面，所述压力腔贯穿所述薄膜层的下表面，所述喷孔与压力腔一一对应并相互连通，所述基底包含至少一个进墨通道，所述进墨通道贯穿所述基底的上下表面，所述进墨通道与所述压力腔一一对应且相互连通，所述喷孔之间的薄膜层上表面平整。

【技术特征摘要】
1.一种平整薄膜层喷孔结构，包含一薄膜层，一基底；所述薄膜层含一上表面和一下表面，所述基底含一上表面和一下表面，所属薄膜层的下表面与所述基底的上表面连接，其特征在于，所述薄膜层中包含至少一个喷孔和一个压力腔，所述喷孔贯穿所述薄膜层的上表面，所述压力腔贯穿所述薄膜层的下表面，所述喷孔与压力腔一一对应并相互连通，所述基底包含至少一个进墨通道，所述进墨通道贯穿所述基底的上下表面，所述进墨通道与所述压力腔一一对应且相互连通，所述喷孔之间的薄膜层上表面平整。
2.根据权利要求1所述的平整薄膜层喷孔结构，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李令英，宋佳丽，谢永林，
申请(专利权)人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，苏州锐发打印技术有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32