【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
【技术保护点】
一种用于制造双沟槽结构的方法,包括:提供晶圆,所述晶圆包括半导体层,所述半导体层包括顶面;提供多个电荷补偿沟槽,所述电荷补偿沟槽向所述顶面开口并且形成于所述半导体层内沟槽,其中所述多个电荷补偿沟槽包括多个电荷补偿沟槽表面;提供终止沟槽,所述终止沟槽向所述顶面开口并且形成于所述半导体层内沟槽,其中所述终止沟槽包括多个终止沟槽表面;在所述多个电荷补偿沟槽表面和所述终止沟槽表面上形成具有第一预定厚度的第一屏蔽氧化层,其中所述第一屏蔽氧化层的所述第一预定厚度足以允许形成通过所述多个电荷补偿沟槽的中心的空隙。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员:马克西姆·法德尔,格里特·舍尔,
申请(专利权)人:维西埃硅化物公司,
类型:发明
国别省市:美国;US
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