激光加工方法以及激光加工装置制造方法及图纸

本发明专利技术得到一种激光加工方法，该激光加工方法能够减小在玻璃(2)发生的翘曲，并减小在将保护件(3)从玻璃(2)剥离时在玻璃(2)发生的应力。具有下述工序：保护件形成工序，在玻璃(2)的双面形成保护件(3)；激光加工工序，在保护件形成工序之后，对玻璃(2)与保护件(3)一起照射激光(101)而对玻璃(2)进行加工；以及保护件剥离工序，在激光加工工序之后，从玻璃(2)将保护件(3)剥离。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】201480059234

【技术保护点】
一种激光加工方法，其特征在于，具有下述工序：保护件形成工序，该工序在玻璃的双面形成保护件；激光加工工序，该工序在所述保护件形成工序之后，对所述玻璃与所述保护件一起照射激光，在所述玻璃形成加工孔；以及保护件剥离工序，该工序在所述激光加工工序之后，从所述玻璃将所述保护件剥离。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.11.14 JP 2013-2359101.一种激光加工方法，其特征在于，具有下述工序：
保护件形成工序，该工序在玻璃的双面形成保护件；
激光加工工序，该工序在所述保护件形成工序之后，对所述玻
璃与所述保护件一起照射激光，在所述玻璃形成加工孔；以及
保护件剥离工序，该工序在所述激光加工工序之后，从所述玻
璃将所述保护件剥离。
2.根据权利要求1所述的激光加工方法，其特征在于，
在所述保护件形成工序中，在所述玻璃的双面中的一个面即第1
面形成具有多个基材的所述保护件，在所述玻璃的双面中的另一个面
即第2面形成具有大于或等于1片基材的所述保护件，
在所述激光加工工序中，向所述玻璃的所述第1面照射激光。
3.根据权利要求1或2所述的激光加工方法，其特征在于，
形成于所述第1面的所述保护件的厚度方向的尺寸，大于或等
于形成于所述第2面的所述保护件的厚度方向的尺寸。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的激光加工方法，其特征
在于，
所述激光是脉冲CO2激光。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的激光加工方法，其特征
在于，
在所述保护件形成工序中，多个所述基材中的彼此相邻的一对
所述基材的粘贴方向彼此不同。

【专利技术属性】
技术研发人员：平山玲王奈，藤川周一，桂智毅，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP