【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及机床控制系统的
，特别是微型机床导轨控制系统的
技术介绍
微机电系统在21世纪具有极强的发展空间，被广泛应用到工业和生活中的各个领域，微机电系统的发展方向是由“微电子-机械”向“微机械-电子”进行转变，微机电系统的突出特点是零部件尺度在毫米以下的量级之内，所以加工装配均较为复杂，传统的加工设备难以胜任这种尺度的零件加工和精度要求，需要特制的微型机床进行加工，由于尺度效应的影响，摩擦力已成为精度影响不可忽略的因素，在超精密加工中已被广泛应用的磁悬浮技术作为一种无摩擦的驱动运输模式在微纳加工中也可以得到理想的应用。传统的磁悬浮导轨一般采用电磁铁进行磁力控制，随之而来的问题是电磁发热引起的变形，这在微型化的机床导轨中是不可被接受的，而永磁悬浮导轨一般不具备磁力调控的功能，对外界干扰的抵抗能力较弱，也严重制约着加工精度。兼顾低功耗、低产热与可调节、高灵敏度的永磁力可调节机床磁悬浮导轨是一种能够有效解决上述问题的技术...
【技术保护点】
一种永磁悬浮微型机床导轨控制系统，其特征在于：包括磁路分配模块和传感检测模块；所述磁路分配模块包括由永磁体、弹簧支架、电机支架和弹簧伸缩铁片组成的第一磁路，和由永磁体、弹簧支架、电机支架和悬浮导轨组成的第二磁路，所述弹簧支架和电机支架平行分布，弹簧支架和电机支架的一端之间设置有所述永磁体，接近另一端处的弹簧支架和电机支架之间设置有所述弹簧伸缩铁片，所述弹簧伸缩铁片的一端与弹簧支架固定连接，另一端被一个安装在电机支架上的步进电机的贯通轴顶住而处于压缩状态；所述传感检测模块包括设置在所述悬浮导轨之间的导轨位移传感器、垂直测距传感器、水平测距传感器和限位开关，还包括设置在步进电机...
【技术特征摘要】
1.一种永磁悬浮微型机床导轨控制系统，其特征在于：包括磁路分配模块和传
感检测模块；所述磁路分配模块包括由永磁体、弹簧支架、电机支架和弹簧
伸缩铁片组成的第一磁路，和由永磁体、弹簧支架、电机支架和悬浮导轨组
成的第二磁路，所述弹簧支架和电机支架平行分布，弹簧支架和电机支架的
一端之间设置有所述永磁体，接近另一端处的弹簧支架和电机支架之间设置
有所述弹簧伸缩铁片，所述弹簧伸缩铁片的一端与弹簧支架固定连接，另一
端被一个安装在电机支架上的步进电机的贯通轴顶住而处于压缩状态；所述
传感检测模块包括设置在所述悬浮导轨之间的导轨位移传感器、垂直测距传
感器、水平测距传感器和...
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