【技术实现步骤摘要】
本技术涉及工件加工
，特别是涉及工件承载装置及其应用的工件研磨设备。
技术介绍
现有的硅锭、晶棒(例如单晶硅、多晶硅)等工件研磨过程中，工件放在承载装置的承载面上随之转动，研磨装置设于承载装置上方，向下研磨工件，由于该类工件对尺寸要求精度非常高，因此承载面和研磨装置之间的间距在精度上亦有很高要求，例如需要达到某一精确高度，但由于需要调节的尺寸过于微小，因此通过现有的纯机械方式并不能达成。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供工件承载装置及其应用的工件研磨设备，通过金属热胀冷缩的原理来实现微调，解决现有技术中的问题。为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种工件承载装置，包括:设于预设位置的圆柱形的承载本体，其具有承载工件的承载面;多个金属固定件，穿设所述承载本体而固定于所述预设位置，以供加热或降温以膨胀或收缩来调节所述承载面高度。于本技术的一实施例中，所述的工件承载装置，还包括:多个升降温装置，一一对应地设于各所述金属固定件处。于本技术的一实施例中，所述各金属固定件是沿所述承载本体圆周方向均匀分布的。于本技术的一实施例中，所...
【技术保护点】
一种工件承载装置，其特征在于，包括：设于预设位置的圆柱形的承载本体，其具有承载工件的承载面；多个金属固定件，穿设所述承载本体而固定于所述预设位置，以供加热或降温以膨胀或收缩来调节所述承载面高度。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：卢建伟，
申请(专利权)人：上海日进机床有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31
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