一种热绝缘微桥结构及其加工方法技术

一种热绝缘微桥结构及其加工方法，属于微机电系统技术领域。包括微桥主体１０、衬底１３以及悬臂梁１１、１２，微桥主体１０通过悬臂梁悬于衬底１３之上，并形成空隙１４，本发明专利技术通过在悬臂梁上制造皱褶结构，可在不影响微桥的填充因子的情况下，增加悬梁臂的有效绝热长度，从而提高微桥结构的热绝缘效果。所述微桥的微细加工方法是通过在衬底表面沉积牺牲层材料；在牺牲材料层制造出凹槽结构；沉积生长微桥结构材料层，并在牺牲材料层包含凹槽结构的地方形成皱褶结构；通过去除牺牲层材料，释放包含皱褶结构悬梁臂的微桥结构。本发明专利技术微桥结构可广泛地应用于非制冷红外探测器，气体探测器，微加热平台，红外线辐射源器件等微机电系统和器件。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种热绝缘微桥结构，包括微桥主体、衬底以及支撑微桥主体悬于衬底表面之上的悬臂梁，微桥与衬底之间含有空隙，其特征在于悬臂梁部分包含至少一个在垂直方向的皱褶结构。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：姜利军，罗雯雯，
申请(专利权)人：浙江大立科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：86[中国|杭州]