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一种热绝缘微桥结构及其加工方法，属于微机电系统技术领域。包括微桥主体１０、衬底１３以及悬臂梁１１、１２，微桥主体１０通过悬臂梁悬于衬底１３之上，并形成空隙１４，本发明通过在悬臂梁上制造皱褶结构，可在不影响微桥的填充因子的情况下，增加悬梁臂的...
该专利属于浙江大立科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大立科技股份有限公司授权不得商用。

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