微机电系统的封装构造及其制造方法技术方案

技术编号:1323123 阅读:208 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种微机电系统封装构造包含一第一及第二层板及一压合材料。该第一层板包含一下金属线路、一金属薄膜及一贯穿开口,该下金属线路位于该第一层板的下表面上,该金属薄膜配置于该下金属线路上。该第二层板包含一上金属线路及一金属电极片,该上金属线路位于该第二层板的上表面上,该金属电极片配置于该上金属线路上,且该金属电极片对应于该金属薄膜。该压合材料配置于该下金属线路与该上金属线路之间,并包含一中空部分,用以容纳该金属薄膜及该金属电极片,该金属薄膜、该中空部分及该金属电极片形成一感应单元,其对应于该贯穿开口。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种微机电系统的封装构造,包含:第一层板,具有上表面及下表面,并包含第一下金属线路、金属薄膜及第一贯穿开口,其中该下表面是相对于该上表面,该第一下金属线路是位于该下表面上,该金属薄膜是配置于该第一下金属线路上,且该第一贯穿开口由该上表面延伸至该下表面;第二层板,具有上表面及下表面,并包含第二上金属线路及一金属电极片,其中该下表面是相对于该上表面,该第二上金属线路是位于该上表面上,该金属电极片是配置于该第二上金属线路上,且该金属电极片是对应于该金属薄膜;以及压合材料,配置于该第一下金属线路与该第二上金属线路之间,并包含一中空部分,用以容纳该金属薄膜及该金属电极片,其中该金属薄膜、该中空部分及该金...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:杨学安王盟仁王维中李明锦黄蔚彬郑凤珍
申请(专利权)人:日月光半导体制造股份有限公司
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]

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