【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于微机电系统(MEMS)加工技术和激光微加工领域，特指强激光冲击微塑性成 形的方法及其装置，采用纳秒脉冲激光辐射金属飞片材料表面，使其表面层气化后形成高温 高压的等离子体，等离子体急剧膨胀爆炸驱动飞片，飞片高速飞行撞击，金属耙材产生冲击 波使其发生微纳尺度的塑性变形。
技术介绍
随着现代科学技术的发展，产品微型化的趋势日趋加快，对微、小型零件的需求量也越 来越大，特别是微机电系统(MEMS)领域的飞速发展，使微成形技术和微型模具制造成为工 业界重点研究的对象。尽管应用微细加工方法可以直接成形用于MEMS的微小构件，但通过 微型模具成形微小制件更易于保证质量，且成形工艺容易控制,便于自动化生产,是大批量成 形微型制件的重要工艺发展方向。由于各种微细加工方法的适用范围不同,用传统的微机械切削加工方法加工三维微小模 具,虽然工艺简便实用，但其能加工的模具型腔尺寸较大、精度较低；电化学等微细特种虽在 难切削材料、复杂型面和低刚度材料的模具型腔加工中,具有不可替代的优势;但加工工艺相 对复杂。LIGA技术可加工出具有高深宽比和高精度的微结构零件,且加工温度较低...
【技术保护点】
强激光冲击微塑性成形的方法，其特征是先将实验所用的靶材双面电解抛光，在压板上压附微米尺度厚的一块透明光学介质作为约束层，金属飞片紧压在光学介质上，通过压板将光学介质，金属飞片，靶材和模板固紧在专用靶材装夹器上，再开启纳秒脉冲激光器，调节好光路，使由纳秒脉冲激光器输出的激光经透镜聚焦到靶材表面，然后对纳秒脉冲激光进行单次发射操作，从而实现靶材的单脉冲激光冲击，其中激光的工作状态参数为波长５３２ｎｍ或１０６４ｎｍ输出单脉冲，飞片的材料与厚度为Ａｌ片１０～２０μｍ厚度，飞片与靶材的间隙距离为１０～１５０μｍ，靶材的物理参数包括金属靶材的性能、有机聚合物薄膜，以及模版的结构参数指尺...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：周明，蔡兰，黄涛，李保家，
申请(专利权)人：江苏大学，
类型：发明
国别省市：32[中国|江苏]
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