三维微结构及其形成方法技术

本发明专利技术提供了三维微结构及其形成方法。该微结构通过一顺序构造工艺形成，并包括相互固定的微结构元件。例如，该微结构在用于电磁能的同轴传输线中获得了应用。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种三维微结构，其通过一顺序构造工艺形成，所述三维微结构包含：　　　　一第一微结构元件，其包含一介电材料并具有一至少部分贯穿而延伸的孔；　　　　一第二微结构元件，其包含一金属材料；　　　　在该孔中的一金属材料，其将该第一微结构元件固定在该第二微结构元件上；以及　　　　一非固体空间，该第一微结构元件和／或该第二微结构元件暴露于该非固体空间。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：WD霍克，DW舍利尔，
申请(专利权)人：罗门哈斯电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]