一种多组元的１－３型复合微结构薄膜及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种多组元的１－３型复合微结构薄膜及其制备方法，该微结构薄膜包括材料Ａ、材料Ｂ和材料Ｃ，其中材料Ａ、Ｂ构成１－３型微结构薄膜的基体，材料Ｃ附着在材料Ｂ表面；材料Ｃ为单层或多层薄膜。其制备方法包括以下步骤：（１）在衬底表面制备相互隔离的柱状或螺旋状的材料Ｂ的微结构；（２）在材料Ｂ表面制备材料Ｃ，形成由材料Ｂ和材料Ｃ组成的微结构单元；（３）在所述微结构单元中填充材料Ａ，即形成多组元的１－３型复合微结构薄膜。本发明专利技术结构新颖，制备简单，可在催化、能源、机械电子等领域获得应用。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种多组元的１－３型复合微结构薄膜，其特征是该微结构薄膜包括材料Ａ、材料Ｂ和材料Ｃ，其中材料Ａ、Ｂ构成１－３型微结构薄膜的基体，材料Ｃ附着在材料Ｂ表面；材料Ｃ为单层或多层薄膜；其中材料Ａ、Ｂ、Ｃ是无机、半导体、有机、金属材料或其任意组合。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：祝名伟，陈延峰，唐月锋，张善涛，顾正彬，卢明辉，
申请(专利权)人：南京大学，
类型：发明
国别省市：84[中国|南京]