功能元件、半导体器件和电子机器制造技术

提供一种通过使成膜时的影响不波及到功能部而能提高元件可靠性的功能元件。基板（１０）的表面上具备可动部（１１）、密封层（１２）和壁部（１３）。密封层（１２）具有在可动部（１１）周围形成内部空间（１４）的拱顶状形状，在密封层（１２）中与可动部（１１）相对区域以外的区域设置开口部（１５）。壁部（１３）形成在可动部（１１）与开口部（１５）之间而不把内部空间（１４）分离，在内部空间（１４）内形成有贯通开口部（１５）且由不贯通密封层（１２）和壁部（１３）的直线不横穿的空间（阴影空间（１９））。可动部（１１）被配置在该阴影空间（１９）内。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种功能元件，其特征在于，包括：　　　　基板、　　　　在所述基板表面上形成的一个或多个功能部、　　　　在所述功能部的周围形成空间且具有通过埋入材料进行密封的一个或多个开口部的密封层、　　　　使所述空间不分离地在所述功能部与所述开口部之间形成的一个或多个壁部。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：御手洗俊，多田正裕，
申请(专利权)人：索尼株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[]