颗粒收集系统及集尘方法技术方案

本发明专利技术提供一种不需要定期性实施颗粒的去除作业而能够几乎完全去除颗粒的颗粒收集系统及集尘方法。本发明专利技术的颗粒收集系统(1-1)具备集尘部(2)、电源部(3)、以及静电容量计测部(4)。集尘部(2)是由第一及第二电极(21、22)、第二电极(22)以及覆盖此等电极的介电质(20)所成。电源部(3)为对第一及第二电极(21、22)供给电源电压的部分。静电容量计测部(4)为计测集尘部(2)的静电容量的部分，计测第一及第二电极(21、22)间的静电容量。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及将在半导体或液晶显示器的制造过程中成为问题的颗粒(异物)进行吸附藉以集尘的颗粒收集系统(particle collector system)及集尘方法。
技术介绍
于半导体或显示器制造过程中，为了尽量降低成为不良模式的原因的颗粒，需要加以细心的注意其集尘及防尘设计。作为集尘及防尘方法，以往采取如下的手法(例如，参考专利文献1及专利文献2等)Ο第一种方法是对驱动部的配置设计下功夫的方法。具体而言，从工件(work)的正上方，排除成为颗粒的产生来源的驱动部或滑动部，尽量抑制落下到工件的颗粒的产生。第二种方法是对材料是的选择方面下功夫的方法。具体而言，是着眼于因为驱动部或滑动部所使用的材料摩耗而造成产生颗粒的情形，因此，在材料方面，选择具有耐摩耗性者或非脆化性者，藉以抑制颗粒的产生。第三种方法是将所产生的颗粒的飞散路径加以遮断或变更的方法。具体而言，是对必然会产生颗粒的部分架设盖子(cover)或门槛，藉以作成所产生的颗粒不会直接附着于工件的构造。或者，在腔室(chamber)内反复实施真空/大气开放，藉以将颗粒频繁地排出外部。第四种方法是将构造作成不致于使颗粒飞扬的方法。具体而言，由于在进行腔室内的抽真空或导入气体等时，因导入空气所引起的颗粒的飞扬将成为问题，所以使用过滤机(filter)使导入空气成为清净的空气，或在空气导入路径中设置捕阱(trap)部，以使空气清净化。专利文献1:日本专利特开2009-023020号公报专利文献2:日本专利特开2010-264341号公报
技术实现思路
(专利技术所欲解决的课题)然而，在上述的以往技术中，则有如下述般的问题。在上述的集尘及防尘方法而言，虽然可降低与工件一起从外部所带进的颗粒、以及在装置内腔室的驱动部所产生的颗粒，但是并不能完全消灭。尤其是，积于装置内腔室的侧墙部或地板部的颗粒，会在来自外部的空气导入时，被所吹进的空气的风压卷起，以致飞散到腔室内的所有地方。虽然采取如所述般的集尘及防尘方法，但是由于如此原因，仍然会发生颗粒积存在腔室内的情况。因此，以往需要定期性进行去除所积存的颗粒的作业，为此的维护(maintenance)需要庞大费用。又，在维护中不得不长时间中断制造作业，因而招致生产效率的低落。本专利技术，乃是为解决上述的课题所开发者，其目的在于提供一种不需要定期性实施颗粒的去除作就能够几乎完全去除颗粒的。(用以解决课题的方法)为了解决上述课题，本专利技术第一态样为一种颗粒收集系统，构成为:具备:为用以利用静电力吸附颗粒的薄片(sheet)状且柔软(flexible)的集尘部、用以对该集尘部供给电源以使其产生静电力的电源部、以及用以计测对应于被吸附在集尘部的颗粒的吸附量而变化的集尘部的静电容量的静电容量计测部，其中，集尘部具有第一电极、配设于第一电极近旁的第二电极、以及至少覆盖第一电极全体的介电质，电源部为对第一及第二电极供给规定的电源电压者，静电容量计测部为计测第一及第二电极之间的静电容量者。通过此种构成，从电源部对第一及第二电极供给规定的电源电压时，会在第一及第二电极产生静电力，使颗粒被吸附于介电质的表面。此时，颗粒的吸附力可通过调整电源电压加以控制。如调整电源电压而维持颗粒的吸附力为期望值时，则颗粒随着时间被吸附在集尘部并逐渐堆积。于是，第一及第二电极之间的静电容量，会对应于被吸附在集尘部的颗粒的堆积量而变化。此时，由于可利用静电容量计测部计测并监控(monitoring)第一及第二电极之间的静电容量，所以当堆积量高于基准值时，则可停止来自电源部的电源电压的供给，并将被吸附在集尘部的颗粒废弃于规定的场所。本专利技术的第二态样构成为:在第一态样所述的颗粒收集系统中，通过使第一及第二电极水平地横向排列配置，并以介电质覆盖此等第一及第二电极全体，而形成集尘部。通过此种构成，使颗粒被吸附在覆盖第一及第二电极全体的介电质的表面。本专利技术的第三态样构成为:在第一态样所述的颗粒收集系统中，以介电质覆盖第一电极全体，并将筛网(mesh)状的第二电极贴附于该介电质的表面，而形成集尘部。通过此种构成，则颗粒通过由第一及第二电极所产生的静电力所吸附，并且被捕捉到筛网状的第二电极的网目内。换言之，本专利技术的颗粒收集系统，由于是按照电性且机械性的方式捕捉颗粒，所以颗粒的捕捉能力甚高。本专利技术的第四态样构成为:在第二态样所述的颗粒收集系统中，通过以介电质覆盖横向排列的长条状的第一及第二电极，使集尘部形成为带状，并将此集尘部折弯形成为蜂巢(honey comb)状。通过此种构成，则集尘部将成为立体性的形状，且颗粒的吸附面积扩大。本专利技术的第五态样构成为:在第一态样到是在第四态样的任一项所述的颗粒收集系统中，将集尘部贴附在具有弯曲成波状的表面的基材的表面全面。通过此种构成，则集尘部的表面弯曲成波浪状，且颗粒的吸附面积扩大。本专利技术的第六态样构成为:在第二态样所述的颗粒收集系统中，通过以上述介电质覆盖横向排列的长条状的上述第一及第二电极，使上述集尘部形成为带状，并将此集尘部加以折弯为蛇行状，竖起设置于基材上。本专利技术第七态样的集尘方法构成为:将第一态样到第六态样的任一项所述的颗粒收集系统中所适用的集尘部，铺满腔室内的地板部、墙壁部以及天花板部的部分中的未安装其他构件的部分的全部，并且将电源部及静电容量计测部配设于腔室外，以进行腔室内的颗粒的集尘。通过此种构成，则积存在腔室内的墙壁部或地板部等的颗粒，会被吸附集尘于此等部分上所铺满的集尘部。因此，可在空气从外部导入腔室内时，防止颗粒被吹进的空气的风压卷起，以致飞散到腔室内所有地方的情况。然后，监视(monitor)静电容量计测部，当判断颗粒超过基准值时，则可关闭(off)电源，并去除在集尘部所附着的颗粒。换言之，由于仅在需要时实施颗粒的去除作业即可，不需要定期性实施维护作业。结果，可谋求维护费用的削减及生产效率的提升。如上述所详细说明，根据本专利技术，可几乎完全吸附集尘部近旁的颗粒。并且，由于在一边利用静电容量计测部监视颗粒的集尘状态之下，仅在需要时从集尘部去除颗粒即可，所以具有:不需要定期性实施颗粒去除作业，而能相应地谋求维护费用的削减及生产效率的提升的优异的效果。【附图说明】图1为涉及本专利技术的第一实施例的颗粒收集系统的构成图。图2为以剖面表示集尘部的颗粒收集系统的构成图。图3为说明颗粒收集系统的功能的剖面图。图4为表示使用颗粒收集系统的腔室的概略图。图5为表示集尘部与电源部及与静电容量计测部之间的连接状态的概略平面图。图6为表示涉及本专利技术的第二实施例的颗粒收集系统的构成图。图7为说明颗粒当前第1页1 2 3 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种颗粒收集系统，其特征在于包括：为用以利用静电力吸附颗粒的薄片状且柔软的集尘部、用以对该集尘部供给电源以使其产生静电力的电源部、以及用以计测对应于被吸附在集尘部的颗粒的吸附量而变化的集尘部的静电容量的静电容量计测部，其中，上述集尘部具有第一电极、配设于第一电极近旁的第二电极、以及至少覆盖第一电极全体的介电质，上述电源部为对上述第一及第二电极供给规定的电源电压者，上述静电容量计测部为计测第一及第二电极之间的静电容量者。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：辰巳良昭，斋藤悠，菅原利文，
申请(专利权)人：株式会社创意科技，
类型：发明
国别省市：日本;JP