一种用于棱镜定心调整机构制造技术

本发明专利技术公开一种用于棱镜定心调整机构，包括：固定该棱镜的棱镜支架；固定该棱镜及棱镜支架的支撑架；连接杆，用于柔性连接该棱镜支架与该支撑架；驱动机构，该驱动机构位于该支撑架的一端；柔性传动机构，该柔性传动机构与该驱动机构和该支撑架连接，用于传递该驱动机构的力以使该棱镜支架带动该棱镜沿一旋转轴旋转。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种集成电路装备制造领域，尤其涉及一种用于棱镜定心调整机构。
技术介绍
先进光刻机曝光设备中的投影光学系统需要越来越小的波相差和畸变，同时在这种投影光学系统的曝光设备中，可以实时并容易地对由各种环境及其它因素导致的相差和畸变的变化进行补偿。为了解决这一类问题，一般采用设置一个或几个镜片位置可调的方式进行补偿。在折反式物镜中，棱镜作为关键的光学元件经常使用，用于光路的反射同时需要棱镜绕中心旋转进行像质的补偿，所以需要设计一种棱镜定位，并可以绕棱镜设计中心旋转机构十分必要。
技术实现思路
为了克服现有技术中存在的缺陷，使棱镜沿中心旋转，本专利技术提供一种用于棱镜定心调整机构。为了实现上述专利技术目的，本专利技术公开一种用于棱镜定心调整机构，包括:固定该棱镜的棱镜支架；固定该棱镜及棱镜支架的支撑架；连接杆，用于柔性连接该棱镜支架与该支撑架；驱动机构，该驱动机构位于该支撑架的一端；柔性传动机构，该柔性传动机构与该驱动机构和该支撑架连接，用于传递该驱动机构的力以使该棱镜支架带动该棱镜沿一旋转轴旋转。更进一步地，该连接杆包括第一本体、第二本体，以及连接第一本体及第二本体的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于棱镜定心调整机构，其特征在于，包括：固定所述棱镜的棱镜支架；固定所述棱镜及棱镜支架的支撑架；连接杆，用于柔性连接所述棱镜支架与所述支撑架；驱动机构，所述驱动机构位于所述支撑架的一端；柔性传动机构，所述柔性传动机构与所述驱动机构和所述支撑架连接，用于传递所述驱动机构的力以使所述棱镜支架带动所述棱镜沿一旋转轴旋转。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘宝会，马很很，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31