一种用于棱镜定心调整机构制造技术

本发明专利技术公开一种用于棱镜定心调整机构，包括：固定该棱镜的棱镜支架；固定该棱镜及棱镜支架的支撑架；连接杆，用于柔性连接该棱镜支架与该支撑架；驱动机构，该驱动机构位于该支撑架的一端；柔性传动机构，该柔性传动机构与该驱动机构和该支撑架连接，用于传递该驱动机构的力以使该棱镜支架带动该棱镜沿一旋转轴旋转。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种集成电路装备制造领域，尤其涉及一种用于棱镜定心调整机构。
技术介绍
先进光刻机曝光设备中的投影光学系统需要越来越小的波相差和畸变，同时在这种投影光学系统的曝光设备中，可以实时并容易地对由各种环境及其它因素导致的相差和畸变的变化进行补偿。为了解决这一类问题，一般采用设置一个或几个镜片位置可调的方式进行补偿。在折反式物镜中，棱镜作为关键的光学元件经常使用，用于光路的反射同时需要棱镜绕中心旋转进行像质的补偿，所以需要设计一种棱镜定位，并可以绕棱镜设计中心旋转机构十分必要。
技术实现思路
为了克服现有技术中存在的缺陷，使棱镜沿中心旋转，本专利技术提供一种用于棱镜定心调整机构。为了实现上述专利技术目的，本专利技术公开一种用于棱镜定心调整机构，包括:固定该棱镜的棱镜支架；固定该棱镜及棱镜支架的支撑架；连接杆，用于柔性连接该棱镜支架与该支撑架；驱动机构，该驱动机构位于该支撑架的一端；柔性传动机构，该柔性传动机构与该驱动机构和该支撑架连接，用于传递该驱动机构的力以使该棱镜支架带动该棱镜沿一旋转轴旋转。更进一步地，该连接杆包括第一本体、第二本体，以及连接第一本体及第二本体的柔性部件，该第一本体、第二本体分别与该棱镜支架及支撑架连接。更进一步地，该棱镜与该棱镜支架胶结。更进一步地，该柔性传动机构包括一驱动柔性连杆、一传动柔性连杆、一旋转柔性连杆，该传动柔性连杆固定于一传动柔性连杆固定座上，该旋转柔性连杆固定于一旋转柔性连杆固定座上。更进一步地，该驱动柔性连杆一端通过一柔性铰链与该棱镜支架连接，另一端通过一柔性铰链与该传动柔性连杆固定座连接。更进一步地,该驱动机构包括一驱动元件和一驱动元件固定架，该驱动元件固定架固定于该驱动柔性连杆上。更进一步地，该传动柔性连杆固定座与该支撑架固定。更进一步地，该驱动机构还包括一回复弹簧，该回复弹簧一端连接该驱动元件固定架，另一端连接该支撑架。与现有技术相比较，本专利技术采用多连杆机构，使机构的旋转中心与光学元件的理论旋转中心重合，消除由于机械旋转中心与光学元件旋转中心不重合带来的系统误差，同时不影响棱镜的工作区域，本专利技术机构简单，旋转过程中不会引入机构间隙带来的系统误差，同时本装置调整可靠，加工简单，装配方便。【附图说明】关于本专利技术的优点与精神可以通过以下的专利技术详述及所附图式得到进一步的了解。图1是本专利技术所涉及的棱镜定心调整机构的分解图； 图2是本专利技术所涉及的棱镜定心调整机构的主视图； 图3是本专利技术所涉及的棱镜定心调整机构的左视图； 图4是本专利技术所涉及的棱镜定心调整机构的右视图； 图5是本专利技术所涉及的棱镜定心调整机构的俯视图； 图6是本专利技术所涉及的棱镜定心调整机构的仰视图； 图7是本专利技术所涉及的棱镜定心调整机构的调整原理示意图； 图8是本专利技术所涉及的棱镜定心调整机构的驱动柔性连杆的结构示意图； 图9是棱镜组件与棱镜组件支撑架连接杆的结构示意图； 图10是本专利技术所涉及的棱镜定心调整机构的传动柔性连杆结构示意图； 图11是本专利技术所涉及的棱镜定心调整机构的调整示意图。【具体实施方式】下面结合附图详细说明本专利技术的具体实施例。在折反式物镜中，棱镜用于光路的反射同时需要棱镜绕中心旋转进行像质的补偿，而棱镜的工作区域范围内不能进行结构布局，本设计采用多连杆机构，使机构的旋转中心与棱镜的理论旋转中心重合，消除由于机械旋转中心与棱镜旋转中心不重合带来的系统误差，同时不影响棱镜的工作区域。图1为棱镜定心调整机构基本结分解视图，图2为调节装置主视图，图3?6分别为相对主视图的左、右、俯视、仰视图。本实施例主要说明一种用于棱镜定位旋转调整装置，该装置用于棱镜的定位和旋转方向的调整，同时采用柔性机构，消除机构间连接间隙引入的系统误差，调高系统的调整精度。如图1本专利技术主要由棱镜支架2、棱镜组件支撑架3、旋转柔性连杆4、旋转柔性连杆固定座10、柔性铰链5、传动柔性连杆6、传动柔性连杆固定座12、驱动柔性连杆7、驱动元件8、驱动元件固定架9、连接棱镜支架2与棱镜主件支撑架3的连接杆11、驱动元件回复弹簧13组成。连接杆11的具体结构如图9所示，该连接杆包括移动端110、固定端111、导向杆112、固定用螺钉孔113、柔性铰链(未图示)组成。连接杆11所起作用为将棱镜1、棱镜支架2定位到棱镜组件支撑架3上。其中连接杆11的固定用螺钉孔113处用螺钉分别由固定端111与棱镜组件支撑架3 (固定不动)连接，移动端110与棱镜支架2 (运动件)连接，导向杆112两端透过所述柔性铰链分别与移动端110、固定端111连接。在本专利技术的一个实事例中，所述导向杆112由第一部分与第二部分组成，所述第一部分透过所述柔性铰链与所述第二部分连接。当棱镜1、棱镜支架2被转动时，连接杆11既能精准保持其姿态(方向性)，又不会产生应力。棱镜1和棱镜支架2所构成的棱镜组件左右两侧各通过一个连接杆11连接到棱镜组件支撑架3，使棱镜1和棱镜支架2悬浮在棱镜组件支撑架3上。驱动柔性连杆7 —端通过柔性铰链5与棱镜支架2连接固定，一端通过柔性铰链5与传动柔性连杆固定座12连接固定。传动柔性连杆固定座12用螺钉固定到棱镜组件支撑架3上。驱动元件8安装到驱动元件固定架9上，驱动元件固定架9通过螺钉固定到驱动柔性连杆7上。驱动元件回复弹簧13 —端通过螺钉固定在驱动元件固定架9上，一端固定在棱镜组件支撑架3上。传动柔性连杆6左端通过一个柔性铰链5，安装到驱动柔性连杆7上。传动柔性连杆6中间通过一个柔性铰链5安装固定在驱动柔性连杆7上，传动柔性连杆6右端通过一个柔性铰链5与旋转柔性连杆4相连，旋转柔性连杆4通过一个柔性铰链5安装固定在棱镜支架2上。本实施例安装过程中，保证棱镜1的理论设计旋转光轴与调整机构旋转轴重合，调整机构的旋转中心通过搭建测试台，对其进行测试，标定出调整机构的旋转中心位置，在测试台坐标系下记录相应的位置，同时通过干涉仪棱镜中心位置，通过调整，使棱镜的中心，与调整机构的中心重合，用胶水固定到棱镜支架2上，保证本装置的调整机构旋转中心与棱镜理论设计旋转光轴重合，并保持棱镜和棱镜支架的相对位置不变。如图7所示，图7为调整原理示意图，02为棱镜理论设计光轴和调整机构旋转中心轴，03、04、a、b四点为驱动柔性连杆7 —端柔性旋转点。如图8所示，图8是驱动柔性连杆7具体结构示意图。图7中e点为驱动柔性连杆7另外一端与连接杆11连接旋转点，c、01、d点为传动柔性连杆6柔性旋转点，01为驱动柔性连杆7和传动柔性连杆6旋转中心点，f为传动柔性连杆6与连接杆11连接旋转点。调整时如图11所示,驱动元件提供动力，带动驱动柔性连杆绕01转动一个角度α,即03、04、a、b组成的平行四边形绕01转动一个角度α。带动e点下行，从而在调整机构左端带动棱镜支架2向下旋转角度α。同时在驱动元件提供动力时，带动c点下行，使驱动柔性连杆7绕01点旋转，带动d，f点上行，从而在调整机构右端带动棱镜支架2向上旋转角度α。在图7中可以看出，调整机构绕02点完成顺时针方向的调整，当需要进行逆时针方向旋转时，驱动元件反向运动，驱动元件回复弹簧13提供反向动力，使调整机构带动棱镜支架2反向运动，可以完成调整机构的逆时针旋转。由于在本实施例中，驱动柔性本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于棱镜定心调整机构，其特征在于，包括：固定所述棱镜的棱镜支架；固定所述棱镜及棱镜支架的支撑架；连接杆，用于柔性连接所述棱镜支架与所述支撑架；驱动机构，所述驱动机构位于所述支撑架的一端；柔性传动机构，所述柔性传动机构与所述驱动机构和所述支撑架连接，用于传递所述驱动机构的力以使所述棱镜支架带动所述棱镜沿一旋转轴旋转。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘宝会，马很很，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31