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本发明公开一种用于棱镜定心调整机构，包括：固定该棱镜的棱镜支架；固定该棱镜及棱镜支架的支撑架；连接杆，用于柔性连接该棱镜支架与该支撑架；驱动机构，该驱动机构位于该支撑架的一端；柔性传动机构，该柔性传动机构与该驱动机构和该支撑架连接，用于传递...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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