本发明专利技术提供一种能够减少静电电容的偏差的物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体。物理量传感器(1)具有：摆动体(4)，其具有支承部(41)以及经由连结部(43、44)而与支承部(41)连接的可动部(42)，可动部(42)具有第一可动部(421)以及第二可动部(422)；第一固定电极(51)，其与第一可动部(421)对置配置；第二固定电极(52)，其与第二可动部(422)对置配置；虚拟电极(53)，其以与第二可动部(422)对置且不与第二固定电极(52)重叠的方式而配置，并且与摆动体(4)成为相同电位，第一固定电极(51)以其一部分在俯视观察时与支承部(41)重叠的方式而配置。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体。
技术介绍
近年来，开发出了一种例如使用娃MEMS(MicroElectro Mechanical Systems)技术来对加速度等物理量进行检测的物理量传感器。作为该物理量传感器，已知有如下的物理量传感器，其具有:具有大板部与小板部且以使两者能够以杠杆状摆动的方式被绝缘层支承的可动电极；与大板部对置地设置在绝缘层上的固定电极；与小板部对置并被设置在绝缘层上的固定电极(例如，参照专利文献I)。在专利文献1所记载的物理量传感器中，在将具备可动电极的结构体(Si结构体)与玻璃基板进行阳极接合时，由于如果与结构体对置的玻璃露出面较大，则所产生的静电力变大，因此存在产生结构体向玻璃基板粘贴(粘附)的问题。为了解决这种问题，而尝试着设置与可动电极同电位的对置电极(虚拟电极)，欲以此来抑制可动体粘贴在基板上的情况(例如，参照专利文献2)。然而，在专利文献2的物理量传感器中，虽然能够通过虚拟电极而降低可动电极的粘附的发生，但却产生了各个固定电极与可动电极之间的静电电容的差(电容偏移)，并因该偏差而导致超出了 1C(集成电路)的调节范围以致成品率恶化。此外，还存在电容偏移给传感器整体带来不良影响的课题(例如，参照专利文献3)。专利文献1:日本特开2007-298405号公报专利文献2:日本特开2013-160554号公报专利文献3:日本特开2002-202320号公报
技术实现思路
本专利技术是为了解决上述的课题的至少一部分而完成的专利技术，并且能够作为以下的方式或者应用例而实现。应用例1本应用例所涉及的物理量传感器的特征在于，具有:可动电极，其具有支承部和可动部，所述可动部经由连结部而与所述支承部连接且能够相对于所述支承部而摆动，所述可动部具有相对于所述连结部而被设置于一方侧的第一可动部以及被设置于另一方侧的第二可动部；第一固定电极，其与所述第一可动部对置配置；第二固定电极，其与所述第二可动部对置配置；对置电极，其以与所述第二可动部对置且不与所述第二固定电极重叠的方式而配置，并且与所述可动电极成为相同电位，所述第一固定电极以其一部分在俯视观察时与所述支承部重叠的方式而配置。由此，能够获得可减少静电电容的偏差的物理量传感器。应用例2在上述应用例所涉及的物理量传感器中，优选为，所述第二固定电极以其一部分在俯视观察时与所述支承部重叠的方式而配置，在将所述第一固定电极的与所述支承部重叠的区域的面积设为S1，将所述第二固定电极的与所述支承部重叠的区域的面积设为S2时，满足SI > S2的关系。由此，能够更有效地减少静电电容的偏差。应用例3在上述应用例所涉及的物理量传感器中，优选为，在将所述第一固定电极与所述支承部之间所产生的静电电容设为C1，将所述第二固定电极与所述支承部之间所产生的静电电容设为C2，将所述第二固定电极与所述对置电极之间所产生的静电电容设为C3时，满足(C2+C3) X0.9 彡 C1 彡(C2+C3) X 1.1 的关系。由此，能够充分地缩小静电电容的偏差。应用例4在上述应用例所涉及的物理量传感器中，优选为，所述对置电极被配置于所述第二固定电极的与所述支承部相反侧。由此，能够不妨碍第二固定电极与支承部的重叠。应用例5在上述应用例所涉及的物理量传感器中，优选为，在俯视观察所述可动部时，所述第二可动部与所述第一可动部相比而面积较大。由此，能够以简单的结构而使第一可动部与第二可动部的转矩不同。应用例6在上述应用例所涉及的物理量传感器中，优选为，所述支承部被配置在开口内，并且在俯视观察时位于所述第一可动部与所述第二可动部之间。由此，能够以简单的结构而使支承部与第一、第二固定电极重叠。应用例7在上述应用例所涉及的物理量传感器中，优选为，所述可动部在所述第一可动部与所述第二可动部之间具有开口部，在所述开口部内配置有所述支承部。由此，使可动电极的结构较为简单。应用例8本应用例所涉及的物理量传感器装置的特征在于，具有与所述物理量传感器电连接的电子部件。由此，能够获得可靠性较高的物理量传感器装置。应用例9本应用例所涉及的电子设备的特征在于，具备上述应用例的物理量传感器。由此，能够获得可靠性较高的电子设备。应用例10本应用例所涉及的移动体的特征在于，具备上述应用例的物理量传感器。由此，能够获得可靠性较高的移动体。应用例11本应用例所涉及的物理量传感器的特征在于，具有:基板；支承部，其被固定在所述基板上；可动部，其经由连结部而与所述支承部连接，且能够相对于所述支承部而摆动；固定电极，其与所述可动部对置地配置在所述基板上；所述可动部具有:第一质量部，其相对于所述连结部而被设置于一方侧；第二质量部，其被设置于另一方侧且与所述第一质量部相比而质量较大；第一可动电极，其被配置在所述第一质量部上；第二可动电极，其被配置在所述第二质量部上，所述固定电极具有:第一固定电极，其与所述第一质量部对置配置；第二固定电极，其与所述第二质量部对置配置；虚拟电极，其以与所述可动部对置且不与所述第一固定电极以及第二固定电极接触的方式而配置，并且与所述可动部成为相同电位，所述虚拟电极具有:第一虚拟电极，其被设置在所述第一固定电极与所述第二固定电极之间；第二虚拟电极，其被设置在所述第一固定电极的与所述第一虚拟电极相反侧；第三虚拟电极，其被设置在所述第二固定电极的与所述第一虚拟电极相反侧，所述固定电极以及所述虚拟电极以与如下情况下的电容偏移相比而电容偏移变小的方式被配置，所述情况为，所述第一固定电极与所述第一虚拟电极以及所述第二虚拟电极的分离距离等于所述第二固定电极与所述第一虚拟电极以及所述第三虚拟电极的分离距离。由此，能够防止粘附的发生，并且能够缩小电容偏移。应用例12在上述应用例所涉及的物理量传感器中，优选为，在将所述第一固定电极与所述第一虚拟电极的分离距离设为wl，将所述第二固定电极与所述第一虚拟电极的分离距离设为w2，将所述第一固定电极与所述第二虚拟电极的分离距离设为《3，将所述第二固定电极与所述第三虚拟电极的分离距离设为w4时，满足wl < w2、w3 = w4的关系。由此，能够更容易地缩小电容偏移。应用例13在上述应用例所涉及的物理量传感器中，优选为，在将所述第一固定电极与所述第一虚拟电极的分离距离设为wl，将所述第二固定电极与所述第一虚拟电极的分离距离设为w2，将所述第一固定电极与所述第二虚拟电极的分离距离设为《3，将所述第二固定电极与所述第三虚拟电极的分离距离设为w4时，满足wl < w2、w3 < w4的关系。由此，能够更容易地缩小电容偏移。应用例14在上述应用例所涉及的物理量传感器中，优选为，在将所述第一固定电极与所述第一虚拟电极的分离距离设为wl，将所述第二固定电极与所述第一虚拟电极的分离距离设为w2，将所述第一固定电极与所述第二虚拟电极的分离距离设为《3，将所述第二固定电极与所述第三虚拟电极的分离距离设为w4时，满足wl < w2、w3 > w4的关系。由此，能够更容易地缩小电容偏移。应用例15在上述应用例所涉及的物理量传感器中，优选为，在将所述第一固定电极与所述第一虚拟电极的分离距离设为wl，将所述第二固定电极与所述第一本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种物理量传感器，其特征在于，具有：可动电极，其具有支承部和可动部，所述可动部经由连结部而与所述支承部连接且能够相对于所述支承部而摆动，所述可动部具有相对于所述连结部而被设置于一方侧的第一可动部以及被设置于另一方侧的第二可动部；第一固定电极，其与所述第一可动部对置配置；第二固定电极，其与所述第二可动部对置配置；对置电极，其以与所述第二可动部对置且不与所述第二固定电极重叠的方式而配置，并且与所述可动电极成为相同电位，所述第一固定电极以其一部分在俯视观察时与所述支承部重叠的方式而配置。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：田中悟，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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