一种石墨烯加速度传感器制造技术
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种石墨烯加速度传感器。
技术介绍
随着电子机械系统研究的深入及电子设备的智能化，各种类型的传感器得到极大发展。加速度传感器广泛应用于运动系统监测和控制，其种类很多，最主要的是电容式加速度传感器。现有公开的专利如ZL2010202554428公开的《电容式加速度传感器》，它包括测量电极组、配重电极以及电容测量接口电路，这种加速度传感器存在的缺陷在于：结构偏复杂，成本高，而且不能测量微小加速度。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种能够测量微小加速度，且制作成本低，结构简单的石墨烯加速度传感器。实现本技术目的的技术方案是一种石墨烯加速度传感器，包括壳体、石墨烯膜、配重块和电极；所述石墨烯膜和配重块悬空设置在壳体内部，配重块放置在石墨烯膜上；所述电极设置在壳体的外部，包括连接石墨烯膜的第一电极、连接壳体的上壳的第二电极和连接壳体的下壳的第三电极。所述石墨烯膜通过石墨烯膜固定边框悬空设置在壳体内部。所述壳体上设置抽气孔；所述抽气孔处设置密封塞。所述壳体的上壳上设置可开闭的配重块更换窗；或者上壳为可开闭式结构。所述配重块粘在石墨烯膜上。一种石墨烯加速度传感器还包括连接电极的引出导线以及与引出导线连接的主控机。所述上壳和下壳为硅片。采用了上述技术方案，本技术具有以下的有益效果：(1)本技术充分利用石墨烯膜的高灵敏度，将配重块放在石墨烯膜上，通过电极测量运动中上壳与石墨烯膜之...
【技术保护点】
一种石墨烯加速度传感器，其特征在于：包括壳体(1)、石墨烯膜(2)、配重块(3)和电极(4)；所述石墨烯膜(2)和配重块(3)悬空设置在壳体(1)内部，配重块(3)放置在石墨烯膜(2)上；所述电极(4)设置在壳体(1)的外部，包括连接石墨烯膜(2)的第一电极(41)、连接壳体(1)的上壳(11)的第二电极(42)和连接壳体(1)的下壳(12)的第三电极(43)。
【技术特征摘要】
1.一种石墨烯加速度传感器，其特征在于：包括壳体(1)、石墨烯膜(2)、配重
块(3)和电极(4)；所述石墨烯膜(2)和配重块(3)悬空设置在壳体(1)内部，配
重块(3)放置在石墨烯膜(2)上；所述电极(4)设置在壳体(1)的外部，包括连接
石墨烯膜(2)的第一电极(41)、连接壳体(1)的上壳(11)的第二电极(42)和连
接壳体(1)的下壳(12)的第三电极(43)。
2.根据权利要求1所述的一种石墨烯加速度传感器，其特征在于：所述石墨烯膜
(2)通过石墨烯膜固定边框(5)悬空设置在壳体(1)内部。
3.根据权利要求1或2所述的一种石墨烯加速度传感...
【专利技术属性】
技术研发人员：金虎，尉长虹，
申请(专利权)人：常州二维光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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