【技术实现步骤摘要】
技术区域本专利技术涉及衬底处理装置、半导体器件的制造方法及记录介质。
技术介绍
通常,在半导体器件的制造工序中,使用对晶片等衬底进行成膜处理等工艺处理的衬底处理装置。作为衬底处理装置,随着衬底的大型化、工艺处理的高精度化等,每次处理一片衬底的单片式装置逐渐普及。在单片式装置中,为了提高气体的使用效率,是例如从衬底处理面的上方供给气体,从衬底的侧方将气体排气的结构。设置有用于在从侧方排气时使排气均匀的缓冲室。在上述的排气缓冲室被供给残留气体等,存在由于该残留气体而在缓冲室的壁附着膜的隐患。这样的膜在处理室中逆向生长,可能会对衬底的膜特性等带来不良影响。
技术实现思路
因此,本专利技术的目的在于提供一种即使在利用排气缓冲室进行气体排气的情况下,也能形成良好特性的膜的技术。根据本专利技术的一方案,提供如下技术:提供一种衬底处理装置,包括:处理空间,对载置于衬底载置台的衬底载置面上的衬底进行处理;气体供给系统,从与所述衬底载置面相对的一侧向所述处理空间内供给气体;排气缓冲室,其构成为至少具有连通孔和气流阻断壁,所述连通孔在所述处理空间的侧方与该处理空间连通,所述气流阻断壁在将通过所述连通孔的气流阻断的方向上延伸;以及第一加热部,设于所述气流阻断壁。根据本专利技术,即使在利用排气缓冲室进行气体排气的情况下,也能形成良好特性的膜。附图说明图1是本专利技术的一实施方式的单片式的衬底处 ...
【技术保护点】
一种衬底处理装置,包括:处理空间,对载置于衬底载置台的衬底载置面上的衬底进行处理;气体供给系统,从与所述衬底载置面相对的一侧向所述处理空间内供给气体;排气缓冲室,其构成为至少具有连通孔和气流阻断壁,所述连通孔在所述处理空间的侧方与该处理空间连通,所述气流阻断壁在将通过所述连通孔的气流阻断的方向上延伸;以及第一加热部,设于所述气流阻断壁。
【技术特征摘要】
2014.08.27 JP 2014-1724511.一种衬底处理装置,包括:
处理空间,对载置于衬底载置台的衬底载置面上的衬底进行处
理;
气体供给系统,从与所述衬底载置面相对的一侧向所述处理空
间内供给气体;
排气缓冲室,其构成为至少具有连通孔和气流阻断壁,所述连
通孔在所述处理空间的侧方与该处理空间连通,所述气流阻断壁在
将通过所述连通孔的气流阻断的方向上延伸;以及
第一加热部,设于所述气流阻断壁。
2.根据权利要求1所述的衬底处理装置,其中,包括:
设于所述衬底载置台的第二加热部;以及
控制部,其被构成为:在向所述处理空间内供给处理气体的期
间,以对所述第一加热部和所述第二加热部进行加热的方式控制所
述气体供给系统、所述第一加热部和所述第二加热部。
3.根据权利要求1所述的衬底处理装置,其中,包括:
设于所述衬底载置台的第二加热部;以及
控制部,其被构成为:以使所述第一加热部被加热为比所述第
二加热部高的温度的方式,控制所述第一加热部和所述第二加热部。
4.根据权利要求2所述的衬底处理装置,其中,
所述控制部以使所述第二加热部的温度成为所述处理气体不会
被分解的温度的方式控制所述第二加热部。
5.根据权利要求2所述的衬底处理装置,其中,
所述控制部以使所述第一加热部的温度成为所述处理气体会分
解的温度的方式控制所述第一加热部。
6.根据权利要求4所述的衬底处理装置,其中,
所述控制部以使所述第一加热部的温度成为所述处理气体会分
解的温度的方式控制所述第一加热部。
7.根据权利要求2所述的衬底处理装置,其中,
所述排气系统包括具有第三加热部的排气配管,
所述控制部在向所述处理空间内供给处理气体的期间,将所述
第一加热部控制为比所述第三加热部高的温度。
8.根据权利要求2所述的衬底处理装置,其中,
所述排气系统包括具有第三加热部的排气配管,
所述控制部在向所述处理空间内供给处理气体的期间,以达到
在所述排气管中流动的气体不会附着于所述排气配管内的温度的方
式控制所述第三加热部。
9.一种半导...
【专利技术属性】
技术研发人员:镰仓司,
申请(专利权)人:株式会社日立国际电气,
类型:发明
国别省市:日本;JP
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