红外显微镜制造技术

本实用新型专利技术提供一种红外显微镜，其使搭载了ATR用棱镜的支架不从聚光物镜突出。使搭载了ATR用棱镜(4)的支架(6)在水平方向上滑动并将ATR用棱镜(4)切换于离开聚光物镜(1)的光路的退避位置和插入于光路上的光路位置。支架(6)的一端部(6a)由有把手的操作柄(6b)形成，并且通过铰链机构(6c)与支架(6)的主体部在垂直方向上可折叠地连结。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种红外显微镜，其包括:搭载ATR用棱镜且对试样的红外光谱进行测定的光学系统；和利用可见光对试样进行观察的光学系统。
技术介绍
在利用红外显微镜的红外分析的方法中，有全反射吸收光谱测定法(以下，简称为“ATR法”。)。所谓ATR法是指让高折射率的ATR用棱镜紧贴在试样表面上，将红外光以大于临界角的角度入射时，就在ATR用棱镜和试样的界面上产生全反射。所谓临界角是指:产生全反射(ATR Attenuated Total Ref lect1n衰减全反射)的入射角，可以由下式(1)来计算。(1) sin Θ (临界角)3 n2 (试样的折射率)/nl (ATR用棱镜的折射率)此时，因为从ATR用棱镜渗透到试样侧的倏逝波在试样固有的波长范围被吸收，因此通过对该反射光进行测定，可以测定出与吸收光谱类似的红外(IR)光谱。ATR法对于较厚的膜的表面分析或纸、皮革、布等涂层的分析效果显著。ATR用棱镜使用折射率较高且透过红外光的锗(Ge)、金刚石、砸化锌(ZnSe)等，因为折射率、强度、价格各不相同，所以根据试样的不同而分别使用。另一方面，虽然ATR用棱镜被安装在对数10 μ m的微小区域进行测定的红外显微镜的聚光物镜(卡塞格林镜)上来使用，但在使用不透过可见光的锗等作为ATR用棱镜的情况下，如下所述地实施测定。(1)使ATR用棱镜离开聚光物镜的光路位置并对测定区域进行视觉辨认。(2)将ATR用棱镜插入到聚光物镜的光路上，在不使试样和ATR用棱镜端面紧贴的状态下实施背景测定。(3)驱动载放有试样的试样载物台，让试样与ATR用棱镜端面紧贴地实施采用ATR法的测定。在将ATR用棱镜安装到红外显微镜的聚光物镜上的情况下，如上所述，有必要将ATR用棱镜切换于离开聚光物镜的光路的退避位置和插入到光路上的光路位置，往常作为这种方法，采用(a)使搭载了 ATR用棱镜的支架旋转并离开聚光物镜的光路，或插入到光路上的方法；或者(b)使搭载了 ATR用棱镜的支架在水平方向上滑动并从聚光物镜的光路上离开，或插入到光路上的方法(例如，参见专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1日本特开2008-134132号公报
技术实现思路
技术要解决的课题对于现有的具备ATR用棱镜的红外显微镜，作为将ATR用棱镜切换于离开聚光物镜的光路的退避位置和插入到光路上的光路位置的方法，使搭载了 ATR用棱镜的支架旋转，或使搭载了 ATR用棱镜的支架滑动来进行，而在使支架旋转的结构中，需要取得聚光物镜与ATR用棱镜的中心轴(光轴)的一致的调整，ATR用棱镜的更换操作繁杂而成为测定者的负担。另外，结构上，ATR用棱镜(支架)必须从聚光物镜的下表面侧安装，其时，ATR用棱镜有可能与其他构件接触而损坏。另外，在使搭载了ATR用棱镜的支架滑动的结构中，需要取得聚光物镜与ATR用棱镜的中心轴(光轴)的一致的调整，但由于可以使支架自聚光物镜的侧面滑动并进行安装，所以ATR用棱镜的损坏风险减小。另一方面，搭载了 ATR用棱镜的支架在退避位置或者光路位置从聚光物镜突出，并且，在此状态下，为了使搭载有聚光物镜的物镜转换器单元旋转，需要较大的空间，这成为红外显微镜的小型化的障碍。本技术的目的在于，为了解决上述现有技术问题，提供一种红外显微镜，即便采用使搭载了 ATR用棱镜的支架在水平方向上滑动的结构，在离开聚光物镜的光路的退避位置和插入到光路上的光路位置中的任一种情况下，都不会让支架从聚光物镜突出。用于解决课题的手段为了解决上述技术问题，权利要求1所述的本技术的红外显微镜是使搭载了ATR用棱镜的支架在水平方向上滑动并将ATR用棱镜切换于离开聚光物镜的光路的退避位置和插入光路上的光路位置的红外显微镜，由在垂直方向上能折叠的构件构成支架的一端部。搭载了 ATR用棱镜的支架的一端部最好相对于支架的主体朝上方折叠成大致90° (垂直方向)。另外，权利要求2所述的本技术的红外显微镜是权利要求1所述的红外显微镜，用有把手的操作柄来形成能折叠的构件，且利用铰链机构将该能折叠的构件与支架的主体连结。作为铰链机构，虽然可以适用公知的，但最好是能够在任意的角度保持静止状态的自由停止规格的铰链机构。技术的效果根据本技术的红外显微镜，因为用在垂直方向上能折叠的构件构成搭载了ATR用棱镜且在水平方向上滑动并将ATR用棱镜切换于离开聚光物镜的光路的退避位置和插入到光路上的光路位置的支架的一端部，所以支架的一部分不会在退避位置或者光路位置从聚光物镜突出，为了使搭载有聚光物镜的物镜转换器单元旋转就不需要较大的空间，搭载了 ATR用棱镜的支架在将红外显微镜小型化上不会成为制约。另外，由于可以使搭载了ATR用棱镜的支架从聚光物镜的侧面滑动地进行安装，因此与从聚光物镜的下表面侧进行安装的情形相比，损坏ATR用棱镜的风险也小。【附图说明】图1是本技术的红外显微镜的聚光物镜的截面概要图。图2是本技术的红外显微镜的聚光物镜的外观侧视图。图3是在本技术的红外显微镜的聚光物镜的光路上插入有ATR用棱镜时的聚光物镜底面的俯视图。图4是ATR用棱镜从本技术的红外显微镜的聚光物镜的光路上退避时的的聚光物镜底面的俯视图。【具体实施方式】以下，参照附图对本技术的红外显微镜的实施方式的一个例子进行说明。在图1中，1是聚光物镜，聚光物镜1由中央开孔的凹面主镜2、与凹面主镜2同轴的凸面副镜3、圆锥状的ATR用棱镜4构成。凹面主镜2、凸面副镜3及ATR用棱镜4被配置在从分光器或者干涉仪(图示省略)出射的测定光5的光路(聚光物镜1的光路)上，ATR用棱镜4被配置成其焦点位于凹面主镜2的聚光点P上。此外，在ATR用棱镜4的下方，配置有载放试样的试样载物台(图示省略)。ATR用棱镜4被保持在能够相对于聚光物镜1从侧面滑动的支架6上。又，支架6上形成有在ATR用棱镜4位于偏离聚光物镜1的光路的退避位置时(参见图4)，允许测定光5通过的孔7。为了减少测定光5的光量损失，孔7优选为在支架6的强度允许的范围内尽可能地大，另外，孔7也可以由透明玻璃等光透过性构件形成。如图3、图4所示，支架6的一端部6a由能折叠的构件、例如具有把手的操作柄6b形成，并且通过铰链机构6c与支架6的主体连结。作为铰链机构6c，市场上销售的有能够在任意的角度保持静止状态的自由停止规格的产品。另外，如图2所示，在将支架6的一端部6a折叠的状态下，因为可以避免支架6从聚光物镜1的、长度L的突出，所以就能够采用ATR用棱镜4的损坏风险小的滑动方式，以更小的空间使搭载了 ATR用棱镜4的支架6在水平方向上滑动并从聚光物镜1的光路上离开，或者插入到光路上。利用本技术的红外显微镜进行基于ATR法的测定时，实施如下:(1)在支架6的一端部6a为折叠着的情况下(图2、图3的状态)，将一端部6a回到水平位置，对操作柄6b进行操作使其朝箭头方向滑动(塞入)，使ATR用棱镜4离开聚光物镜1的光路位置并对试样(图示省略)的测定区域进行视觉辨认(图4的状态)。(2)接着，从图4的状态对操作柄6b进行操作以使支架6朝箭头方向滑动(从聚光物镜1拉)，将ATR用棱镜4插入到聚光物镜1的光路上并将支架的一端部6a朝上方折叠大本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种红外显微镜，其是使搭载了ATR用棱镜的支架在水平方向上滑动并将ATR用棱镜切换于离开聚光物镜的光路的退避位置和插入光路上的光路位置的红外显微镜，所述红外显微镜的特征在于，所述支架的一端部由在垂直方向上能折叠的构件构成。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：奥山修平，马路健，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：新型
国别省市：日本;JP