【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种电容MEMS麦克风,包括具有空腔的基底和设置在所述基底上的传声部,其特征在于,所述电容MEMS麦克风还包括置于所述空腔中并与所述基底连接的隔层件,所述隔层件包括隔板和开设在所述隔板上的至少一个通气孔,所述隔板将所述空腔分隔成上腔体和下腔体,所述通气孔用于供所述上腔体和下腔体相连通。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:许从良,
申请(专利权)人:瑞声声学科技深圳有限公司,
类型:新型
国别省市:广东;44
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