电容MEMS麦克风制造技术

技术编号:12941917 阅读:60 留言:0更新日期:2016-03-01 14:08
本实用新型专利技术提供了一种电容MEMS麦克风,包括具有空腔的基底和设置在所述基底上的传声部,所述电容MEMS麦克风还包括置于所述空腔中并与所述基底连接的隔层件,所述隔层件包括隔板和开设在所述隔板上的通气孔,所述隔板将所述空腔分隔成上腔体和下腔体,所述通气孔用于供所述上腔体和下腔体相连通。本实用新型专利技术的电容MEMS麦克风,通过基底空腔的谐振,提高了高频时振膜处的声压,从而提高其在高频段时的灵敏度。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种电容MEMS麦克风,包括具有空腔的基底和设置在所述基底上的传声部,其特征在于,所述电容MEMS麦克风还包括置于所述空腔中并与所述基底连接的隔层件,所述隔层件包括隔板和开设在所述隔板上的至少一个通气孔,所述隔板将所述空腔分隔成上腔体和下腔体,所述通气孔用于供所述上腔体和下腔体相连通。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:许从良
申请(专利权)人:瑞声声学科技深圳有限公司
类型:新型
国别省市:广东;44

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