磁盘用玻璃基板和玻璃雏形的制造方法以及磁盘用玻璃基板和玻璃雏形技术

本发明专利技术涉及磁盘用玻璃基板和玻璃雏形的制造方法以及磁盘用玻璃基板和玻璃雏形。本发明专利技术提供一种能够高效地制造抑制了主表面的表面凹凸的磁盘用玻璃基板和玻璃雏形的制造方法以及磁盘用玻璃基板和玻璃雏形。当制造具有一对主表面的磁盘用玻璃基板时，通过用夹具的平面状的加压成形面从两侧夹持熔融玻璃或被软化的玻璃，由此成形玻璃雏形，之后，对所述玻璃雏形进行研磨，在玻璃雏形的加压中，使玻璃雏形的一对主表面周围的温度条件达到一致。

【技术实现步骤摘要】
【专利说明】磁盘用玻璃基板和玻璃誰形的制造方法以及磁盘用玻璃基板和玻璃誰形本申请是申请日为2011年3月31日、申请号为201180002677.3、专利技术名称为“磁盘用玻璃基板和玻璃雏形的制造方法以及磁盘用玻璃基板和玻璃雏形”的专利技术专利申请的分案申请。
本专利技术涉及具有一对主表面的磁盘用玻璃基板和玻璃雏形的制造方法以及磁盘用玻璃基板和玻璃雏形。
技术介绍
如今，在个人计算机、笔记本电脑或者DVD(DigitalVersatileDisc，数字多功能光盘)记录装置等上内置有用于记录数据的硬盘。特别是，在笔记本电脑等以携带性为前提的设备所使用的硬盘装置中，使用在玻璃基板上设置磁性层的磁盘，用微微上浮于磁盘面的磁头(DFH，DynamicFlyingHeight)在磁性层上记录或读取磁记录信息。该磁盘的基板由于与金属基板等相比具有不易产生塑性变形的性质、且表面光滑性优良，所以适用圆板状玻璃基板。另外，为满足硬盘装置的存储容量增大的要求，人们正在谋求磁记录的高密度化。例如，使用磁性层的磁化方向相对于基板面呈垂直方向的垂直磁记录方式，进行磁记录信息区域进行微细化。因此，能够使一张盘面基板的存储容量增大。并且，为了进一步增大存储容量，还尽量缩短磁头从磁记录面上浮的距离，由此进行磁记录信息区域的微细化。在这样的磁盘的基板中，磁性层按照磁性层的磁化方向相对于基板面大致呈垂直方向的方式平坦地形成。为此，圆板状磁盘用玻璃基板的凹凸被制造成尽可能小。另外，磁头的上浮距离短会容易引起磁头猛撞故障或热粗糙故障。由于这些故障是因磁盘面上的微小凹凸或粒子产生，因此除圆板状玻璃基板的主表面以外，玻璃基板的端面的表面凹凸也被制造成尽可能小。另外，磁盘所使用的圆板状的板状玻璃原料，即玻璃雏形是例如用以下方法制造。具体来说，在作为承接型料滴形成模具的下模具上供给由熔融玻璃构成的玻璃料滴，并使用下模具和作为对置型料滴形成模具的上模具，对该玻璃料滴进行加压成形，由此制造玻璃雏形，然后实施多种加工得到磁盘用玻璃基板(专利文献1)。在该方法中，将由熔融玻璃构成的玻璃料滴供给到下模具后，使上模具用筒形模具的下面和下模具用筒形模具的上面抵接，并超过上模具与上模具用筒形模具的滑动面和下模具与下模具用筒形模具的滑动面而在其外侧上形成薄板状玻璃成形空间，进一步使上模具下降而进行加压成形，加压成形后立刻使上模具上升，由此成形为磁盘用玻璃基板的母材的板状玻璃雏形。然后，经过研削工序和研磨工序等得到磁盘用玻璃基板。在研削工序中，进行例如使用了氧化铝类游离磨粒的研削。在该工序中，使用粒子尺寸不同的游离磨粒来进行第一研削工序和第二研削工序。在第二研削工序中使用的游离磨粒的粒子尺寸设定为比在第一研削工序中使用的游离磨粒的粒子尺寸小。由此，依次进行粗的研削和细的研削。另外，作为第二研削工序，还进行使用将钻石磨粒粘结在树脂垫的固定磨粒的研削。研磨工序包括:例如使用了氧化铈等的游离磨粒和硬性树脂材料抛光机等的第一研磨工序和例如使用了硅胶和柔性树脂材料抛光机等的第二研磨工序。在第一研磨工序中使用的磨粒的粒子尺寸比在研削工序中的第二研削工序中使用的磨粒的粒子尺寸小。进一步，在第二研磨工序中使用的磨粒的粒子尺寸比在第一研磨工序中使用的磨粒的粒子尺寸小。如上，玻璃基板的表面加工按照第一研削工序、第二研削工序、第一研磨工序、第二研磨工序的顺序进行，通过这些加工使玻璃基板的表面粗糙度等的表面品质逐步地提尚ο另外，公开了如下的夹具，为了制造对外周端面和内周端面进行倒角加工的信息记录介质用玻璃雏形，在夹具的两侧的加压成形面上设置与玻璃雏形的上述倒角形状相对应的截面为楔子形状的突条。另外，还公开了利用该夹具对滴下的熔融玻璃在滴下过程中从水平方向的两侧夹持而加压成形的制造方法(专利文献2)。专利文献专利文献1:专利第3709033号公报专利文献2:专利第4380379号公报
技术实现思路
但是，用上述的磁盘用玻璃雏形的制造方法成形的玻璃雏形的表面精度达不到上述的磁记录的高密度化和磁记录信息区域的微细化所要求的主表面的表面精度。例如，成形板状玻璃雏形时，为了防止玻璃融着在上模具和下模具的模具表面而在其模具的表面上涂布有脱模剂，但是因为使用脱模剂，所以玻璃雏形的主表面的表面粗糙度较大。另外，上模具和下模具的表面温度差较大，玻璃料滴(熔融玻璃块)被供给的下模具处于高温状态。该表面温度差在成形的玻璃雏形的厚度方向和该板的面内造成温度分布，因此板状的玻璃雏形的收缩量也在玻璃雏形厚度方向和该板的面内具有分布。因此，玻璃雏形容易弯曲，其结果是成形后的玻璃雏形的平坦度差。这样的玻璃雏形的平坦度可以通过研削(第一研削工序)来提高。例如，为了提高平坦度研削工序的加工余量(削量)变大。但是，如果研削工序的加工余量变大，则在玻璃雏形表面上会形成深的裂缝，因此为了不留下深的裂缝，在作为后续工序的研磨工序中加工余量(研磨量)必然要大。但是如果在利用游离磨粒和树脂抛光机的研磨工序中加工余量变大，则玻璃雏形的主表面的外周边缘部附近被削成圆滑，因此发生边缘部的“下垂问题”。即，由于玻璃雏形的外周边缘部附近被削成圆滑，因此制造将该玻璃雏形作为玻璃基板使用的磁盘时，外周边缘部附近的磁性层和磁头之间的距离比玻璃基板的其它部分的磁头的上浮距离大。另外，由于外周边缘部附近呈圆滑的形状，因此发生表面凹凸。其结果是，外周边缘部附近的磁性层的磁头的记录和读取动作变得不正确，这就是“下垂问题”。另外，由于研磨工序的加工余量变大，因此存在研磨工序花费时间长等问题，因此实用性差。另一方面，在上述的信息记录介质用玻璃雏形的制造方法中，由于突条设置在夹具的加压成形面上，因此用夹具对玻璃进行加压时的加压成形面的温度在玻璃雏形的周围不均匀。因此，在所成形的玻璃基板的倒角形状以外的部分其平坦度下降。为了提高下降的平坦度，对加压成形后的玻璃雏形进行研削，由此玻璃雏形需要研削所需的加工余量，因此成形的玻璃雏形的厚度比最终所要制造的信息记录介质用玻璃基板厚度厚。因此，无法使加压成形后的玻璃雏形的板厚度接近于信息记录介质用玻璃基板的板厚度。另外，利用在加压成形面上具有上述突条的夹具进行加压成形时，会发生上述突条成为加压成形过程的冷却过程中产生的玻璃雏形的收缩的障碍物而使玻璃雏形受损伤的情况。另外，通过加压成形面的上述突条部分和平面状部分之间的玻璃雏形的冷却存在差异，在玻璃雏形上产生温度差，因此存在通过由该温度差产生的热变形而玻璃雏形受损伤的忧虑。另外，还存在以下情况，利用设置有突条的上述夹具，用滴下的熔融玻璃块成形玻璃雏形时，在熔融玻璃的高的温度条件下滴下的熔融玻璃块的玻璃料滴无法形成为球形状，因此无法成形为圆形状的玻璃雏形。另外，在熔融玻璃的高温度条件下，夹具的加压成形面上需要脱模剂，其结果是使玻璃雏形的主表面的表面粗糙度变大。这样，利用加压成形面上设置有突条的夹具进行加压成形过程中，无法高效地制造主表面具有很高的表面精度的圆形状的玻璃雏形。因此，本专利技术的目的在于提供一种能够高效地制造抑制了主表面的表面凹凸的磁盘用玻璃基板和玻璃雏形的制造方法以及磁盘用玻璃基板和玻璃雏形。本专利技术的一个方式是具有一对主表面的磁盘用玻璃基板的制造方法。该方法包括如下工序本文档来自技高网...

【技术保护点】
磁盘用玻璃雏形，其是用于制造磁盘用玻璃基板的磁盘用玻璃雏形，其特征在于，截面形状是随着从外周侧朝向中心侧其板厚度逐渐减少的凹形状，最大厚度和最小厚度之差为8μm以下，雾度为20％以上。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：江田伸二，矶野英树，
申请(专利权)人：HOYA株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP