感光性树脂组合物、保护膜及具有保护膜的元件制造技术

本发明专利技术是有关一种感光性树脂组合物、保护膜及具有该保护膜的元件。上述感光性树脂组合物包含碱可溶性树脂(A)、邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)及溶剂(C)，其中该碱可溶性树脂(A)是由不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(a1)、具有双键基团的芴衍生物(a2)及具有酸分解性基的不饱和化合物(a3)所共聚合而得。本发明专利技术的感光性树脂组合物可提升保护膜的耐显影性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是有关一种感光性树脂组合物、使用该组合物所形成的保护膜及具有该保 护膜的液晶显示元件，特别是提供一种耐显影性佳的感光性树脂组合物、使用该组合物所 形成的保护膜及具有该保护膜的液晶显示元件。
技术介绍
薄膜晶体管（Thin Film Transtor ;TFT)型液晶显示元件、磁头元件、积体电路元 件及固体成像元件等的电子元件中，一般是设置保护膜（亦称为层间绝缘膜）于配线之间， 而可达到绝缘保护的功效。 制作保护膜的材料一般较佳是选用可藉由较少的步骤获得所要求的图案形状，且 具有良好的平坦性。该制作保护膜的材料可为感光性树脂组合物。 日本特许公开第2009-075329号公报揭示一种保护膜用感光性树脂组合物。此保 护膜用感光性树脂组合物是藉由包含如下式（VII-I)或式（VII-2)所示的过渡金属化合 物，以提升保护膜的密着性： 于式（VII-I)中，A代表VIA族元素至VIIA族元素中原子价数为m的元素，其中m 代表1或2 ;R代表碳数为6至30的芳香基、碳数为4至30的杂环基、碳数为1至30的烷 基、碳数为2至30的烯基或碳数为2至30的炔基；D代表如下式（本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种感光性树脂组合物，包含：碱可溶性树脂(A)；邻萘醌二叠氮磺酸酯(B)；以及溶剂(C)，且其中，所述碱可溶性树脂(A)由不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(a1)、具有双键基团的芴衍生物(a2)及具有酸分解性基的不饱和化合物(a3)所共聚合而得。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：吴明儒，施俊安，
申请(专利权)人：奇美实业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71