正型感光性树脂组合物及其图案形成方法技术

本发明专利技术涉及一种正型感光性树脂组合物，包含：酚醛清漆树脂(A)、邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B)、还原防止剂(C)以及溶剂(D)。其中，所述邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B)是将邻萘醌二叠氮磺酸化合物与羟基化合物溶于有机溶剂中，并以胺类化合物作为缩合剂，经缩合反应而得，且于正型感光性树脂组合物中，该胺类化合物的残留量为1ppm至50ppm。本发明专利技术还涉及使用该组合物图案形成方法。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是有关一种正型感光性树脂组合物及使用该组合物形成图案的方法。特别是提供一种使用在半导体集积回路元件及薄膜晶体管的液晶显示元件制造中，感度与经时稳定性佳的正型感光性树脂组合物及使用该组合物形成图案的方法。
技术介绍
随着生活中各种电子产品的轻薄微小化，现今生活中充斥着各种轻薄的智能型手机、薄型电视及高效能的微处理器。为了满足电子产品的发展趋势，光刻制程亦越来越精密，使得光刻制程所使用的光阻具有不同特性的需求。 针对光阻不同特性的需求，日本公开特许第2010-20291号揭示一种正型感光性树脂组合物，该正型感光性树脂组合物包含碱溶性树脂、二叠氮醌化合物、固化剂及有机溶齐?。碱溶性树脂可包含丙烯酰基共聚物及酚醛清漆树脂，其中丙烯酰基共聚物是不饱和烯烃化合物及不饱和羧酸的单体在溶剂及聚合引发剂存在下，经自由基聚合反应来制备，而酚醛清漆树脂是藉由酚化合物与醛化合物或酮化合物在酸性催化剂存在下来制备。该碱溶性树脂可提升正型感光性树脂组合物的耐热性。 其次，日本公开特许第2010-176012号揭示一种正型感光性树脂组合物，该正型感光性树脂组合物包含碱可溶性本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种正型感光性树脂组合物，包含：酚醛清漆树脂(A)；邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B)；还原防止剂(C)；以及一溶剂(D)；其中，所述邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B)是将邻萘醌二叠氮磺酸化合物与羟基化合物溶于另一溶剂中，并以胺类化合物作为缩合剂，经缩合反应而得，且于该正型感光性树脂组合物中，该胺类化合物的残留量为1ppm至50ppm。

【技术特征摘要】
2013.03.26 TW 1021106781.一种正型感光性树脂组合物，包含: 酚醛清漆树脂(A)； 邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B)； 还原防止剂(C);以及 一溶剂⑶； 其中，所述邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B)是将邻萘醌二叠氮磺酸化合物与羟基化合物溶于另一溶剂中，并以胺类化合物作为缩合剂，经缩合反应而得，且于该正型感光性树脂组合物中，该胺类化合物的残留量为Ippm至50ppm。2.如权利要求1所述的正型感光性树脂组合物，其中所述胺类化合物的残留量为3ppm至 40ppm。3.如权利要求1所述的正型感光性树脂组合物，其中所述胺类化合物的残留量为5ppm至 30ppm。4.如权利要求1所述的正型感光性树脂组...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘骐铭，施俊安，
申请(专利权)人：奇美实业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71