电动型致动器和激振装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种电动型致动器，该电动型致动器包括：筒状的固定部；收纳于固定部的筒内，在筒轴上可移动的可动部；和设置在固定部与可动部之间的弹性机构。还提供一种激振装置，其包括：振动台；在水平方向上驱动振动台的水平致动器；和在铅垂方向上驱动振动台的铅垂致动器，水平致动器为将筒轴配置成朝向水平方向的所述电动型致动器。根据本实用新型专利技术的一实施方式，能够降低电动型致动器的载荷，使可动部轻量化，提高驱动性能。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及电动型致动器和激振装置。
技术介绍
已知有在试验装置等中使用的电动型致动器。电动型致动器为称作音圈马达(VCM：VoiceCoilMotor)的直线电动机中的一种。在专利文献1中记载了振动试验用的电动型致动器。专利文献1中记载的现有的电动型致动器构成为，通过音圈马达机构产生的驱动力来负担施加于致动器的全部载荷。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开平6-323950号公报
技术实现思路
技术要解决的技术问题在由专利文献1的电动型致动器在铅垂方向上对重的对象物进行激振的情况下，电动型致动器不仅在产生用于使对象物等(包括对象物和电动型致动器的可动部、振动台)移动的动载荷中，而且在产生用于支承对象物的重量的静载荷中也消费较多的电力。因此需要使用大容量的线圈。其结果，存在增大可动部的重量而降低激振性能的问题。本技术是鉴于上述问题而完成的，其目的在于通过降低电动型致动器的载荷而使可动部轻量化，提高驱动性能。用于解决问题的技术方案根据本技术一实施方式，提供一种电动型致动器，其包括：筒状的固定部；收纳于固定部的筒内，在筒轴上可移动的可动部；和设置在固定部与可动部之间的弹性机构。在上述电动型致动器中，可以为以下结构，弹性机构将可动部相对于固定部弹性地保持在筒轴方向上的中立位置。在上述电动型致动器中，可以为以下结构，弹性机构包括：固定于固定部的固定构造部；固定于可动部的可动构造部；和设置在固定构造部与可动构造部之间的弹性元件，弹性元件被施加了预载荷。在上述电动型致动器中，可以为以下结构，弹性元件包括空气弹簧或线圈弹簧。在上述电动型致动器中，可以为以下结构，固定构造部具有：朝向筒轴方向的第一固定面；和与第一固定面反向的第二固定面，可动构造部具有：与第一固定面相对的第一可动面；和与第二固定面相对的第二可动面，弹性元件包括：夹在第一固定面与第一可动面之间的第一弹性元件；和夹在第二固定面与第二可动面之间的第二弹性元件。在上述电动型致动器中，可以为以下结构，固定构造部包括固定于固定部的隔板，可动构造部包括：与隔板相对的第一压板；和在第一压板的相反侧与隔板相对的第二压板，第一弹性元件设置于隔板与第一压板之间，第二弹性元件设置于隔板与第二压板之间，固定构造部包括固定于可动部的杆，在隔板设置有供杆穿过的贯通孔，第一压板为形成于杆的第一凸缘部。在上述电动型致动器中，可以为以下结构，杆具有外螺纹部，第二压板为形成于与外螺纹部卡合的螺母的第二凸缘部。在上述电动型致动器中，可以为以下结构，第一弹性元件和第二弹性元件为螺旋弹簧。根据本技术一实施方式，提供一种激振装置，其包括：振动台；在水平方向上驱动振动台的水平致动器；和在铅垂方向上驱动振动台的铅垂致动器，水平致动器为将筒轴配置成朝向水平方向的所述电动型致动器。在上述激振装置中，可以为以下结构，铅垂致动器包括：筒状的固定部；可动部，其一部分收纳于固定部的中空部内，在固定部的轴线方向上被往复驱动；和从下方支承可动部的空气弹簧。技术的效果根据本技术的一实施方式，能够降低电动型致动器的载荷，使可动部轻量化，提高驱动性能。附图说明图1是本技术实施方式的激振装置的俯视图。图2是本技术实施方式的激振装置的侧视图。图3是本技术实施方式的激振装置的侧视图。图4是本技术实施方式的Z轴激振单元的俯视图。图5是本技术实施方式的Z轴激振单元的侧视图。图6是本技术实施方式的Z轴激振单元的侧视图。图7是本技术实施方式的X轴激振单元的俯视图。图8是本技术实施方式的X轴激振单元的侧视图。图9是本技术实施方式的X轴激振单元的正视图。图10是本技术实施方式的垂直驱动用电动型致动器的侧视图。图11是本技术实施方式的垂直驱动用电动型致动器的正视图。图12是本技术实施方式的垂直驱动用电动型致动器的纵截面图。图13是放大本技术实施方式的水平驱动用电动型致动器的中立弹簧机构附近的纵截面图。图14是本技术实施方式的交叉导向器的外观图。图15是本技术实施方式的A型直线导向器的俯视图。图16是本技术实施方式的A型直线导向器的侧视图。图17是本技术实施方式的A型直线导向器的正视图。图18是本技术实施方式的B型直线导向器的俯视图。图19是本技术实施方式的B型直线导向器的侧视图。图20是本技术实施方式的B型直线导向器的正视图。图21是说明安装于中继框架的顶板的轨道配置图。图22是滚柱轴承式直线导向器的横截面图。图23是图22的I－I截面图。图24是表示直线导向器的滚柱与保持件的配置关系图。图25是放大振动台附近的俯视图。图26是放大X轴激振单元的支承单元的弹簧机构附近的图。图27是本技术实施方式的激振装置的驱动控制系统的方块图。图28是球轴承式直线导向器的横截面图。图29是放大本技术第二实施方式的激振装置的振动台附近的俯视图。图30是放大本技术第二实施方式的激振装置的振动台附近的侧视图。图31是本技术第二实施方式的Z轴激振单元的可动部外观图。图32是本技术第二实施方式的中继框架外观图。图33是本技术第二实施方式的XY滑块的Y轴轨道的立体图。图34是放大本技术第三实施方式的激振装置的振动台附近的俯视图。图35是放大本技术第四实施方式的激振装置的振动台附近的俯视图。图36是放大本技术第四实施方式的激振装置的振动台附近的侧视图。图37是本技术第五实施方式的激振装置的侧视图。图38是本技术第五实施方式的激振装置的侧视图。图39是本技术第六实施方式的激振装置的俯视图。图40是本技术第六实施方式的激振装置的侧视图。具体实施方式以下，参照附图说明本技术的实施方式。另外，各图中就同一或对应的要素注记同一或对应的符号，并省略重复的说明。＜第一实施方式＞图1是本技术第一实施方式的电动型3轴激振装置1(以下简称为“激振装置1”)的机构部10的俯视图。在以下的说明中，将图1中的左右方向设为X轴方向(将右方向设为X轴正方向)，将上下方向设为Y轴本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电动型致动器，其特征在于，包括：筒状的固定部；收纳于所述固定部的筒内，在筒轴上可移动的可动部；和设置在所述固定部与所述可动部之间的弹性机构。

【技术特征摘要】
1.一种电动型致动器，其特征在于，包括：
筒状的固定部；
收纳于所述固定部的筒内，在筒轴上可移动的可动部；和
设置在所述固定部与所述可动部之间的弹性机构。
2.如权利要求1所述的电动型致动器，其特征在于：
所述弹性机构将所述可动部相对于所述固定部弹性地保持在所述
筒轴方向上的中立位置。
3.如权利要求1所述的电动型致动器，其特征在于：
所述弹性机构包括：
固定于所述固定部的固定构造部；
固定于所述可动部的可动构造部；和
设置在所述固定构造部与所述可动构造部之间的弹性元件，
所述弹性元件被施加了预载荷。
4.如权利要求3所述的电动型致动器，其特征在于：
所述弹性元件包括空气弹簧或线圈弹簧。
5.如权利要求3或4所述的电动型致动器，其特征在于：
所述固定构造部具有：朝向所述筒轴方向的第一固定面；和与所
述第一固定面反向的第二固定面，
所述可动构造部具有：与所述第一固定面相对的第一可动面；和
与所述第二固定面相对的第二可动面，
所述弹性元件包括：夹在所述第一固定面与所述第一可动面之间
的第一弹性元件；和夹在所述第二固定面与所述第二可动面之间的第
二弹性元件。
6.如权利要求5所述的电动型致动器，其特征在于：
所述固定构造...

【专利技术属性】
技术研发人员：松本繁，宫下博至，村内一宏，远藤稔，
申请(专利权)人：国际计测器株式会社，
类型：新型
国别省市：日本;JP