激振装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种激振装置，该激振装置包括：固定部；相对于固定部可移动的振动台；在第一方向上驱动振动台的驱动部；和通过滚动接触而在与第一方向垂直的第二方向上可滑动地连结驱动部与振动台的连结部。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及激振装置。
技术介绍
已知有在正交3轴方向上对振动台进行激振的3轴激振装置。为了在正交3轴方向上进行激振，例如需要将振动台与在Z轴方向上对该振动台进行激振的Z轴致动器利用2轴滑块以在X轴和Y轴方向上可滑动的方式连结。在专利文献1中记载了通过使用由液压轴承构成的2轴滑块来实现3轴激振的激振装置。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特公昭49-7171号公报
技术实现思路
技术要解决的技术问题但是，液压轴承当例如以超过1kHz那样的高的频率进行动作时，存在摩擦热蓄积而使润滑油起火的情况。因此，不能够实现可在高频下进行多轴(2轴或3轴)激振的激振装置。本技术是鉴于上述问题而完成的，其目的在于实现高频下的多轴激振。用于解决问题的技术方案根据本技术一实施方式，提供一种激振装置，其包括：固定部；相对于固定部可移动的振动台；在第一方向上驱动振动台的驱动部；和通过滚动接触而在与第一方向垂直的第二方向上可滑动地连结驱动部与振动台的连结部。在上述激振装置中，可以为以下结构，连结部包括：直线导向器，其在与第一方向垂直的方向上通过滚动接触来引导振动台相对于驱动部的移动；和连结驱动部与直线导向器的框架，直线导向器包括：在与第一方向垂直的方向上延伸的轨道；和在该轨道上移动的滑架，框架包括：固定于驱动部的底板；和设立在该底板上的连结板，连结板的规定方向上的前端形成有与该规定方向垂直的前端面，轨道安装于该前端面。在上述激振装置中，可以为以下结构，连结板的第二方向上的宽度在前端面中与轨道的长度相当，在与底板接合的基端面中与该底板的宽度相当，底板的第二方向上的宽度与安装该底板的驱动部的振动台的顶板的宽度相当，连结板的第二方向上的宽度随着从前端面接近基端面而逐渐变窄，轨道的长度大于底板的第二方向上的宽度。在上述激振装置中，可以为以下结构，直线导向器包括：第一直线导向器；和引导方向与该第一直线导向器正交的第二直线导向器，第二直线导向器的第二滑架固定于第一直线导向器的第一滑架，第一直线导向器的第一轨道固定于框架，第二直线导向器的第二轨道固定于振动台，直线导向器包括n个第二直线导向器，其中，n为自然数，第一直线导向器包括：1条第一轨道；和在该第一轨道上移动的n个第一滑架，第二直线导向器包括：1条第二轨道；和在第二轨道上移动的1个第二滑架，第二滑架各自固定于对应的第一滑架，n个第二直线导向器的第二轨道固定于振动台，n个第二直线导向器的第二轨道等间隔地配置在第一轨道的延长方向上。在上述激振装置中，可以为以下结构，滑架包括：滑架主体；和夹在轨道与滑架主体之间，伴随滑架的移动而在轨道的轨道面上滚动的多个滚动体，滑架主体具有：滚动面，其与轨道的轨道面相对，夹在滚动面与该轨道面之间的滚动体在滚动面上滚动；和连通路径，在其两端，与形成在轨道的轨道面与滚动面之间的间隙连通，形成滚动体循环路径，滑架包括：比滚动体柔软的多个间隔件，该间隔件设置在滚动体间，与多个滚动体一同在滚动体循环路径循环；和连结多个间隔件的柔软的带状物，间隔件和带状物由树脂形成为一体，滚动体为圆柱状或球状，轨道的至少一个固定于振动台，固定于振动台的轨道的延伸方向为铅垂方向，在轨道形成有用于安装该轨道的多个轨道安装孔，轨道的延伸方向上的轨道安装孔的间隔s在以下(a)～(e)的任一范围内，(a)轨道的宽度W的2倍以下，(b)轨道的宽度W的3/2倍以下，(c)轨道的宽度W以下，(d)轨道的宽度W的50％至80％，(e)轨道的宽度W的60％至70％。在上述激振装置中，可以为以下结构，驱动部包括：在X轴方向上驱动振动台的X轴驱动部；和在与X轴方向正交的Y轴方向上驱动振动台的Y轴驱动部，连结部包括：在Y轴方向上可滑动地连结X轴驱动部与振动台的X轴连结部；和在X轴方向上可滑动地连结Y轴驱动部与振动台的Y轴连结部，X轴连结部包括作为直线导向器的Y轴直线导向器，该Y轴直线导向器在Y轴方向上通过滚动接触来引导振动台相对于X轴驱动部的移动，Y轴连结部包括作为直线导向器的X轴直线导向器，该X轴直线导向器在X轴方向上通过滚动接触来引导振动台相对于Y轴驱动部的移动。在上述激振装置中，可以为以下结构，驱动部包括：在X轴方向上驱动振动台的X轴驱动部；在与X轴方向正交的Y轴方向上驱动振动台的Y轴驱动部；和在与X轴方向和Y轴方向两个方向正交的Z轴方向上驱动振动台的Z轴驱动部，连结部包括：在Y轴方向和Z轴方向两个方向上可滑动地连结X轴驱动部与振动台的X轴连结部；在Z轴方向和X轴方向两个方向上可滑动地连结Y轴驱动部与振动台的Y轴连结部；和在X轴方向和Y轴方向两个方向上可滑动地连结Z轴驱动部与振动台的Z轴连结部，X轴连结部包括：作为直线导向器的Y轴直线导向器，其在Y轴方向上通过滚动接触来引导振动台相对于X轴驱动部的移动；和作为直线导向器的Z轴直线导向器，其为直线导向器，在Z轴方向上通过滚动接触来引导振动台相对于X轴驱动部的移动，Y轴连结部包括：作为直线导向器的Z轴直线导向器，其在Z轴方向上通过滚动接触来引导振动台相对于Y轴驱动部的移动；和作为直线导向器的X轴直线导向器，其在X轴方向上通过滚动接触来引导振动台相对于Y轴驱动部的移动，Z轴连结部包括：作为直线导向器的X轴直线导向器，其在X轴方向上通过滚动接触来引导振动台相对于Z轴驱动部的移动；和作为直线导向器的Y轴直线导向器，其在Y轴方向上通过滚动接触来引导振动台相对于Z轴驱动部的移动。在上述激振装置中，可以为以下结构，Z轴连结部包括多个交叉导向器，该交叉导向器相对于Z轴驱动部在X轴方向和Y轴方向两个方向上引导振动台，交叉导向器包括：X轴直线导向器；和X轴直线导向器和滑架彼此所相互连结的Y轴直线导向器，多个交叉导向器包括多个第一交叉导向器和多个第二交叉导向器，第一交叉导向器的第一X轴轨道固定于驱动部，第一交叉导向器的第一Y轴轨道固定于振动台，第二交叉导向器的第二X轴轨道固定于振动台，第二交叉导向器的第二Y轴轨道固定于驱动部。在上述激振装置中，可以为以下结构，第一交叉导向器与第二交叉导向器的个数差为1以下，多个交叉导向器的配置具有4次旋转对称性(360°/4旋转对称)，第二交叉导向器与第一交叉导向器相邻配置。在上述激振装置中，可以为以下结构，包括：2个第本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激振装置，其特征在于，包括：固定部；相对于所述固定部可移动的振动台；在第一方向上驱动所述振动台的驱动部；和通过滚动接触而在与所述第一方向垂直的第二方向上可滑动地连结所述驱动部与所述振动台的连结部。

【技术特征摘要】
1.一种激振装置，其特征在于，包括：
固定部；
相对于所述固定部可移动的振动台；
在第一方向上驱动所述振动台的驱动部；和
通过滚动接触而在与所述第一方向垂直的第二方向上可滑动地连
结所述驱动部与所述振动台的连结部。
2.如权利要求1所述的激振装置，其特征在于：
所述连结部包括：
直线导向器，其在与所述第一方向垂直的方向上通过滚动接触来
引导所述振动台相对于所述驱动部的移动；和
连结所述驱动部与所述直线导向器的框架，
所述直线导向器包括：在与所述第一方向垂直的方向上延伸的轨
道；和在该轨道上移动的滑架，
所述框架包括：固定于所述驱动部的底板；和设立在该底板上的
连结板，
所述连结板的规定方向上的前端形成有与该规定方向垂直的前端
面，
所述轨道安装于该前端面。
3.如权利要求2所述的激振装置，其特征在于：
所述连结板的所述第二方向上的宽度在所述前端面中与所述轨道
的长度相当，在与所述底板接合的基端面中与该底板的宽度相当，
所述底板的所述第二方向上的宽度与安装该底板的所述驱动部的
振动台的顶板的宽度相当，
所述连结板的所述第二方向上的宽度随着从所述前端面接近所述
基端面而逐渐变窄，
所述轨道的长度大于所述底板的所述第二方向上的宽度。
4.如权利要求2所述的激振装置，其特征在于：
所述直线导向器包括：第一直线导向器；和引导方向与该第一直
线导向器正交的第二直线导向器，
所述第二直线导向器的第二滑架固定于所述第一直线导向器的第
一滑架，
所述第一直线导向器的第一轨道固定于所述框架，
所述第二直线导向器的第二轨道固定于所述振动台，
所述直线导向器包括n个所述第二直线导向器，其中，n为自然数，
所述第一直线导向器包括：1条所述第一轨道；和在该第一轨道上
移动的n个所述第一滑架，
所述第二直线导向器包括：1条所述第二轨道；和在所述第二轨道
上移动的1个所述第二滑架，
所述第二滑架各自固定于对应的所述第一滑架，
n个所述第二直线导向器的第二轨道固定于所述振动台，
所述n个第二直线导向器的第二轨道等间隔地配置在所述第一轨
道的延长方向上。
5.如权利要求2所述的激振装置，其特征在于：
所述滑架包括：
滑架主体；和
夹在所述轨道与所述滑架主体之间，伴随所述滑架的移动而在所
述轨道的轨道面上滚动的多个滚动体，
所述滑架主体具有：
滚动面，其与所述轨道的轨道面相对，夹在所述滚动面与该轨道
面之间的所述滚动体在所述滚动面上滚动；和
连通路径，在其两端，与形成在所述轨道的轨道面与所述滚动面
之间的间隙连通，形成滚动体循环路径，
所述滑架包括：
比所述滚动体柔软的多个间隔件，该间隔件设置在所述滚动体间，
与所述多个滚动体一同在所述滚动体循环路径循环；和
连结所述多个间隔件的柔软的带状物，
所述间隔件和所述带状物由树脂形成为一体，
所述滚动体为圆柱状或球状，
所述轨道的至少一个固定于所述振动台，
固定于所述振动台的轨道的延伸方向为铅垂方向，
在所述轨道形成有用于安装该轨道的多个轨道安装孔，
所述轨道的延伸方向上的所述轨道安装孔的间隔s在以下(a)～
(e)的任一范围内，
(a)所述轨道的宽度W的2倍以下，
(b)所述轨道的宽度W的3/2倍以下，
(c)所述轨道的宽度W以下，
(d)所述轨道的宽度W的50％至80％，
(e)所述轨道的宽度W的60％至70％。
6.如权利要求1所述的激振装置，其特征在于：
所述驱动部包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：松本繁，宫下博至，村内一宏，远藤稔，
申请(专利权)人：国际计测器株式会社，
类型：新型
国别省市：日本;JP