【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利说明】关于方位角的表面特征 交叉引用 本申请要求2013年5月30日提交的美国临时专利申请No. 61/829, 157的权益。 背景 在生产线上制造的物品可被检查某些特征,包括可使物品或包括该物品的系统的 性能变差的缺陷。例如,硬盘驱动器的硬盘可在生产线上被制造并且可被检查某些表面特 征,包括可使硬盘或硬盘驱动器的性能变差的表面和次表面缺陷。因此,一些设备和方法可 被用于检查物品的特征(诸如缺陷)。
技术实现思路
本文提供了一种设备,包括:光子发射装置,配置为将光子以数个方位角发射到物 品的表面上;以及处理装置,配置为处理对应于从该物品的表面特征散射的光子的光子检 测器阵列信号并从该光子检测器阵列信号中产生该物品的一个或多个表面特征映射,该光 子检测器阵列信号对应于从该物品的表面特征散射的光子。 参考以下附图、描述以及所附权利要求书将更佳地理解本文提供的概念的这些和 其它特征和方面。【附图说明】 图1提供了根据各实施例的一个方面示出物品的表面特征的检测的示意图。 图2提供了根据各实施例的一个方面示出从物品的表面特征散射的光子的示意 图。 图3提供了根据各实 ...
【技术保护点】
一种设备,包括:光子发射装置,配置成以多个方位角将光子发射到物品的表面上;光子检测器阵列,配置成接收从所述物品的表面特征散射的光子;以及处理装置,配置成处理对应于从所述物品的表面特征散射的光子的光子检测器阵列信号以及形态学上表征所述物品的表面特征。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员:J·艾和,D·董,
申请(专利权)人:希捷科技有限公司,
类型:发明
国别省市:美国;US
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