增强型III-氮化物器件制造技术

技术编号:12693399 阅读:112 留言:0更新日期:2016-01-13 11:29
一种III-N增强型晶体管包括具有导电沟道的III-N结构、源极接触和漏极接触,以及在源极接触和漏极接触之间的栅电极。绝缘体层在III-N结构的上方,在晶体管的栅极区中形成穿过绝缘体层的凹部,栅电极至少部分地在该凹部中。该晶体管进一步包括场板,该场板具有在栅电极和漏极接触之间的部分,该场板电连接到源极接触。该栅电极包括延伸部分,该延伸部分在凹部外侧并向漏极接触延伸。导电沟道和栅电极的延伸部分之间的间隔大于导电沟道和场板在栅电极和漏极接触之间的部分之间的间隔。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及半导体电子器件,具体地,涉及具有连接到场板的电极的器件。
技术介绍
大多数功率半导体器件,诸如高压P-1-N 二极管,以及功率晶体管,诸如功率MOSFET和绝缘栅双极晶体管(IGBT),通常用硅(Si)半导体材料制造。近来,由于其优异的性能,已经使用了碳化硅(SiC)功率器件。II1-氮化物(II1-N)半导体器件现在正在成为一种有吸引力的候选物,以载送大电流和支持高电压,并提供非常低的导通电阻、高电压器件操作和快速的开关时间。如本文所使用的,术语II1-N或II1-氮化物材料、层、器件等,指的是根据化学计量公式BwAlxInyGazN,其中w+x+y+z约为1,由化合物半导体材料构成的材料或器件。在图1和图2中示出了现有技术的II1-N高电子迀移率晶体管(HEMT)的实例。图1的II1-N HEMT包括衬底10、在衬底顶部上的II1-N沟道层11诸如GaN层,和在沟道层顶部上的II1-N阻挡层12诸如AlxGa1 XN层。在沟道层11和阻挡层12之间的界面附近的沟道层11中引起二维电子气(2DEG)沟道19。源极接触14和漏极接触15分别与2DEG沟道形成欧本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种III‑N器件,包括:III‑N增强型晶体管,所述III‑N增强型晶体管包括源极接触和第一栅极,所述第一栅极在栅极绝缘体上,III‑N耗尽型晶体管,所述III‑N耗尽型晶体管包括漏极接触;III‑N结构,所述III‑N结构包括导电沟道,其中,所述导电沟道的第一部分充当所述III‑N增强型晶体管的器件沟道,所述导电沟道的第二部分充当所述III‑N耗尽型晶体管的器件沟道;绝缘体层,所述绝缘体层在所述III‑N结构上,其中,第一凹部在所述III‑N增强型晶体管的栅极区中形成为穿过所述绝缘体层,并且所述栅极绝缘体和所述第一栅极至少部分地在所述凹部中;电极限定层,所述电极限定层具有厚度,所述电极限定...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:拉柯许·K·拉尔
申请(专利权)人:创世舫电子有限公司
类型:发明
国别省市:美国;US

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