【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及半导体电子器件,具体地,涉及具有连接到场板的电极的器件。
技术介绍
大多数功率半导体器件,诸如高压P-1-N 二极管,以及功率晶体管,诸如功率MOSFET和绝缘栅双极晶体管(IGBT),通常用硅(Si)半导体材料制造。近来,由于其优异的性能,已经使用了碳化硅(SiC)功率器件。II1-氮化物(II1-N)半导体器件现在正在成为一种有吸引力的候选物,以载送大电流和支持高电压,并提供非常低的导通电阻、高电压器件操作和快速的开关时间。如本文所使用的,术语II1-N或II1-氮化物材料、层、器件等,指的是根据化学计量公式BwAlxInyGazN,其中w+x+y+z约为1,由化合物半导体材料构成的材料或器件。在图1和图2中示出了现有技术的II1-N高电子迀移率晶体管(HEMT)的实例。图1的II1-N HEMT包括衬底10、在衬底顶部上的II1-N沟道层11诸如GaN层,和在沟道层顶部上的II1-N阻挡层12诸如AlxGa1 XN层。在沟道层11和阻挡层12之间的界面附近的沟道层11中引起二维电子气(2DEG)沟道19。源极接触14和漏极接触15分别 ...
【技术保护点】
一种III‑N器件,包括:III‑N增强型晶体管,所述III‑N增强型晶体管包括源极接触和第一栅极,所述第一栅极在栅极绝缘体上,III‑N耗尽型晶体管,所述III‑N耗尽型晶体管包括漏极接触;III‑N结构,所述III‑N结构包括导电沟道,其中,所述导电沟道的第一部分充当所述III‑N增强型晶体管的器件沟道,所述导电沟道的第二部分充当所述III‑N耗尽型晶体管的器件沟道;绝缘体层,所述绝缘体层在所述III‑N结构上,其中,第一凹部在所述III‑N增强型晶体管的栅极区中形成为穿过所述绝缘体层,并且所述栅极绝缘体和所述第一栅极至少部分地在所述凹部中;电极限定层,所述电极限定层具 ...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员:拉柯许·K·拉尔,
申请(专利权)人:创世舫电子有限公司,
类型:发明
国别省市:美国;US
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。