一种大直径石英坩埚熔制电极装置制造方法及图纸

技术编号:12610040 阅读:68 留言:0更新日期:2015-12-26 13:16
本实用新型专利技术公开一种大直径石英坩埚熔制电极装置,包括石墨模具和石墨电极组件,所述石墨电极组件包括插入石墨模具中的六根石墨电极,六根石墨电极的顶端竖直连接于电极上方的铜棒,所述各个铜棒的顶端分别通过夹爪夹紧,六个夹爪的一端均均匀地连接于底盘,夹爪的另一端与丝杆螺母连接,丝杆转动带动丝杆螺母上升下降,丝杆螺母拉动六个夹爪带动铜棒打开闭合。本实用新型专利技术能够提高坩埚熔制温度及提供大面积的热源,保证大尺寸石英坩埚外形尺寸的形成,提高坩埚内表面玻璃化结构,大大提高了石英坩埚的质量。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及石英坩祸的电极产生装置,具体涉及一种大直径石英坩祸熔制电极装置。
技术介绍
目前国内石英坩祸生产还停留在22寸-24寸生产,大尺寸28寸-32寸石英坩祸还依赖进口,国内生产大尺寸石英坩祸的工艺还不成熟,在生产过程中遇到各种各样的问题,包含熔制时石英坩祸外形不达标、石英坩祸内表面玻璃化程度低导致拉晶变形等,主要原因还是制造大尺寸石英坩祸时熔制的关键因素温度不能达到合理要求,石英坩祸是利用高纯石英砂熔制而成,石英砂的熔点在1750°C左右,充分熔化可能温度要更高,大尺寸石英坩祸与小尺寸石英坩祸的明显区别在于坩祸的外径大、壁厚厚,正常工艺熔制时,利用三根电极通电放弧即可满足22寸-24寸坩祸的生产温度要求,但在生产大尺寸石英坩祸时三根电极产生的温度在大尺寸模具内不能充分将模具内表面的原料融化,温度流也失大,延长熔制时间能源消耗大效果不明显,导致石英坩祸外形尺寸很难形成,内表面的玻璃化程度也会相应的降低,导致坩祸品质下降,在拉制单晶过程中石英坩祸容易出现很多问题,变形、析晶、易断线等。
技术实现思路
专利技术目的:本技术的目的在于解决现有技术存在的不足,提供一种大直径石英坩祸本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大直径石英坩埚熔制电极装置,其特征在于:包括石墨模具和石墨电极组件,所述石墨电极组件包括插入石墨模具中的六根石墨电极,六根石墨电极的顶端竖直连接于电极上方的铜棒,所述各个铜棒的顶端分别通过夹爪夹紧,六个夹爪的一端均均匀地连接于底盘,夹爪的另一端通过连杆与丝杆螺母连接,丝杆螺母顶端的移动丝杆的转动实现带动丝杆螺母上升下降,丝杆螺母拉动六个夹爪带动铜棒打开闭合。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:刘福鸿冯涛
申请(专利权)人:江苏华尔石英材料股份有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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