一种体感滤光片制造技术

技术编号:12473589 阅读:78 留言:0更新日期:2015-12-09 22:22
本实用新型专利技术公开了一种体感滤光片,包括基板,以交替的二氧化钛和二氧化硅为镀膜材料的第一镀膜层与第二镀膜层,基板位于第一镀膜层和第二镀膜层之间;第一镀膜层由内而外依次由二氧化钛层与二氧化硅层交替沉积共66层,包括33层二氧化钛层与33层二氧化硅层,最内层为二氧化钛层直接沉积在基板的一侧表面,最外层为二氧化硅层;第二镀膜层由内而外依次由二氧化钛层与二氧化硅层交替沉积共80层,包括40层二氧化钛层与40层二氧化硅层,最内层为二氧化钛层并直接沉积在基板的另一侧表面,最外层为二氧化硅层。该实用新型专利技术的中心波长为866nm、截止区域在300nm-1100nm之间、平均透过率小于0.1%、峰值半宽度在13nm±3nm并透过率大于95%,可广泛应用于Xbox游戏机、人机互动游戏等。

【技术实现步骤摘要】

本技术设及光学薄膜技术,特别设及一种体感滤光片
技术介绍
随着光学摄影技术和各种智能终端设备的大量应用,人机互动成为人们工作和学 习的一种新的形式,就是采用一个摄像机对人体或者人体的某一特殊器官进行立体探测, 运种立体探测则需要一个截止区域在300nm-1100nm、平均透过率小于0. 1%、中屯、波长在 866nm、峰值半宽度在13nm±3nm、透过率大于95%的体感滤光片,要求十分严格。
技术实现思路
为解决上述技术问题,本技术提供了一种50%宽度大于13皿,90%的宽度大 于10皿,10 %的宽度小于15皿的截止区域透过率小于0. 1 %的滤光片,W满足人机互动立 体探测要求。 为达到上述目的,本技术的技术方案如下: 阳〇化]一种体感滤光片,包括: 白板玻璃材质的基板,W交替的二氧化铁和二氧化娃为锻膜材料的第一锻膜层、 及W交替的二氧化铁和二氧化娃为锻膜材料的第二锻膜层,所述基板位于所述第一锻膜层 和第二锻膜层之间; 所述第一锻膜层由内而外依次由二氧化铁层与二氧化娃层交替沉积共66层,其 中包括33层二氧化铁层与33层二氧化娃层,即最内层为二氧化铁层直接沉积在所述基板 的一侧表面,最外层为二氧化娃层;所述第二锻膜层由内而外依次由二氧化铁层与二氧化 娃层交替沉积共80层,其中包括40层二氧化铁层与40层二氧化娃层,即最内层为二氧化 铁层并直接沉积在所述基板的另一侧表面,最外层为二氧化娃层。 其中,所述基板的材质为白板玻璃,大小为(64. 1mm,厚度小于2mm,面形精度小于 2A,平行度小于3',光洁度优于60/40。 其中,所述第一锻膜层由内而外交替的二氧化铁层与二氧化娃层厚度依次为:二 氧化铁层90. 69nm,二氧化娃层141. 06nm,二氧化铁层90. 69nm,二氧化娃层282. 12nm,二氧 化铁层90. 69皿,二氧化娃层141. 06皿,二氧化铁层90. 69皿,二氧化娃层141. 06皿,二氧 化铁层90. 69皿,二氧化娃层141. 06皿,二氧化铁层90. 69皿,二氧化娃层141. 06皿,二氧 化铁层90. 69皿,二氧化娃层141. 06皿,二氧化铁层90. 69皿,二氧化娃层141. 06皿,二氧 化铁层181. 38皿,二氧化娃层141. 06皿,二氧化铁层90. 69皿,二氧化娃层141. 06皿,二氧 化铁层90. 69皿,二氧化娃层141. 06皿,二氧化铁层90. 69皿,二氧化娃层141. 06皿,二氧 化铁层90. 69皿,二氧化娃层141. 06皿,二氧化铁层90. 69皿,二氧化娃层141. 06皿,二氧 化铁层90. 69皿,二氧化娃层141. 06皿,二氧化铁层362. 75皿,二氧化娃层141. 06皿,二氧 化铁层90. 69皿,二氧化娃层141. 06皿,二氧化铁层90. 69皿,二氧化娃层141. 06皿,二氧 化铁层90. 69皿,二氧化娃层141. 06皿,二氧化铁层90. 69皿,二氧化娃层141. 06皿,二氧 化镜层90. 69nm,二氧化娃层141. 06nm,二氧化钥:层90. 69nm,二氧化娃层141. 06nm,二氧 化镜层181. 38nm,二氧化娃层141. 06nm,二氧化钥:层90. 69nm,二氧化娃层141. 06nm,二氧 化镜层90. 69nm,二氧化娃层141. 06nm,二氧化钥:层90. 69nm,二氧化娃层141. 06nm,二氧化 钥:层90. 69nm,二氧化娃层141. 06nm,二氧化钥:层90. 69nm,二氧化娃层141. 06nm,二氧化钥; 层90. 69nm,二氧化娃层282. 12nm,二氧化钥:层90. 69nm,二氧化娃层141. 06nm,二氧化钥:层 90. 69nm,二氧化娃层141. 06nm,二氧化钥:层90. 69nm,二氧化娃层141. 06nm,共66层D 其中,所述第二饌膜层由内而外交替的二氧化钥;层与二氧化娃层厚度依次为:二 氧化镜层29. 18nm,二氧化娃层85. 5nm,二氧化钥:层48. 45nm,二氧化娃层73. 04nm,二氧 化钥;层42. 9nm,二氧化娃层70. 19nm,二氧化钥:层44. 72nm,二氧化娃层72. 29nm,二氧化 钥:层41. 26nm,二氧化娃层65. 97nm,二氧化钥:层43. 54nm,二氧化娃层71. 74nm,二氧化 钥:层37. 75nm,二氧化娃层65. 95nm,二氧化钥:层46. 87nm,二氧化娃层75. 27nm,二氧化 钥:层42. 87nm,二氧化娃层85. 31nm,二氧化钥:层44. 33nm,二氧化娃层80. 68nm,二氧化钥; 层48. 63nm,二氧化娃层90. 21nm,二氧化钥:层59. 08nm,二氧化娃层92. 25nm,二氧化钥; 层53. 67nm,二氧化娃层88. 72nm,二氧化钥:层54. 26nm,二氧化娃层91. 93nm,二氧化钥; 层59. 67nm,二氧化娃层91. 88nm,二氧化钥:层55. 88nm,二氧化娃层94. 87nm,二氧化钥; 层63. 18nm,二氧化娃层88. 63nm,二氧化钥:层43. 97nm,二氧化娃层87. 08nm,二氧化钥; 层60. 3nm,二氧化娃层112. 62nm,二氧化钥:层68. 75nm,二氧化娃层68. 75nm,二氧化钥; 层63. 41nm,二氧化娃层115. 45nm,二氧化钥:层70. 32nm,二氧化娃层115. 63nm,二氧化 钥:层71nm,二氧化娃层116. 5nm,二氧化钥:层77. 97nm,二氧化娃层118. 22nm,二氧化钥; 层74. 57nm,二氧化娃层113. 18nm,二氧化钥:层71. 48nm,二氧化娃层113. 47nm,二氧化钥; 层70. 86nm,二氧化娃层114. 49nm,二氧化钥:层67. 85nm,二氧化娃层113. 36nm,二氧化钥; 层76. 2nm,二氧化娃层104. 83nm,二氧化钥:层86. 48nm,二氧化娃层182. 24nm,二氧化钥; 层151. 4nm,二氧化娃层171. 84nm,二氧化钥:层100. 51nm,二氧化娃层169. 55nm,二氧化钥; 层104. 29nm,二氧化娃层173. 82nm,二氧化钥:层113. 37nm,二氧化娃层180nm,二氧化钥:层 109. 43nm,二氧化娃层172. 98nm,二氧化钥:层106. 91nm,二氧化娃层177. 37nm,二氧化钥:层 108. 34nm,二氧化娃层174. 28nm,二氧化钥:层124. 08nm,二氧化娃层162. 7nm,二氧化钥:层 98. 8nm,二氧化娃层205. 8nm,二氧化钥:层126. 09nm,二氧化娃层54. 41nm,共80层D 通过上述技术方案,本技术提供的一种体感滤光片,其制备方法为:二氧化 钥:和Si02采用电子束蒸发和加^离子辅助的形式,温度为小于35(TC^下,其真空度为 IO3PaW下,蒸发度知OA/SW内,因此获得的滤光片的中屯、波长为866本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种体感滤光片,其特征在于,包括:白板玻璃材质的基板(1),以交替的二氧化钛和二氧化硅为镀膜材料的第一镀膜层(2)、及以交替的二氧化钛和二氧化硅为镀膜材料的第二镀膜层(3),所述基板(1)位于所述第一镀膜层(2)和第二镀膜层(3)之间;所述第一镀膜层(2)由内而外依次由二氧化钛层与二氧化硅层交替沉积共66层,其中包括33层二氧化钛层与33层二氧化硅层,即最内层为二氧化钛层直接沉积在所述基板(1)的一侧表面,最外层为二氧化硅层;所述第二镀膜层(3)由内而外依次由二氧化钛层与二氧化硅层交替沉积共80层,其中包括40层二氧化钛层与40层二氧化硅层,即最内层为二氧化钛层并直接沉积在所述基板(1)的另一侧表面,最外层为二氧化硅层。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:王明利
申请(专利权)人:苏州奥科辉光电科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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