简化校准的陀螺仪以及陀螺仪的简化校准方法技术

一种陀螺仪，该陀螺仪包括在激励下运动的质量块和在检测中运动的质量块、用于在第一方向上向激励质量块施加激励信号的装置、用于对检测质量块在与第一方向垂直的第二方向上的运动进行检测的装置和用于对激励质量块在第二方向上的运动进行检测的装置以及用于处理由对检测质量块的运动进行检测的装置和对激励质量块在第二方向上的运动进行检测的装置所发出的检测信号的处理装置(I、II、II')，从而获得相位偏置(Bi)、正交偏置(Bq)和放大因数(A)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种具有简化校准的MEMS和/或NEMS型陀螺仪以及陀螺仪的简化校 准方法。
技术介绍
MEMS(MicroElectroMechanicalSystem,微机电系统）和 / 或 NEMS(NanoElectroMechanicalSystem，纳机电系统）型的陀螺仪通常包含使用弹簧共同悬 挂并连接到衬底上的一个质量块或一组质量块组成。一个或多个质量块具有数个自由度， 并且被设定为根据多个模式之一来谐振受控振动，该模式被称为按照第一自由度的激励模 式。当存在旋转时，科里奥利力（Coriolisforce)出现并且将质量块或全部质量块中的一 部分设定为按照与第一自由度垂直的第二自由度振动，并且对应的模式被称作检测模式。 多数陀螺仪使用机械解耦将激励部分和检测部分隔离。在激励存在机械缺陷的情 况下，将会生成按照检测方向的运动并且这将影响检测质量块。 陀螺仪中存在偏置。该偏置具有与科里奥利信号Q同相的分量Bi，称为相位偏 置，以及正交分量Bq，称为正交偏置。通过测量检测质量块，则获得以下信号S: S= (Bi+^ )cos(?〇t)+Bqsin(co〇t) (I本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种陀螺仪，包括：至少一个激励振荡器，包括悬挂在衬底(2)上的至少一个激励质量块(ME)，所述激励质量块具有单个激励运动方向；至少一个检测振荡器，包括悬挂在所述激励质量块上的至少一个检测质量块(MD)，所述检测质量块能够沿所述激励方向并且沿与所述激励方向垂直的检测方向运动；激励装置，用于在所述激励运动方向上激励所述激励质量块(ME)；第一检测装置(10)，用于对所述检测质量块(MD)沿所述检测方向的运动进行检测并提供第一检测信号，所述陀螺仪进一步包括：第二检测装置(14)，用于对所述激励质量块(ME)沿所述检测方向的运动进行检测并提供第二检测信号；以及处理装置，用于处理所述第一检测信号和所述第...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：阿诺·瓦尔特，
申请(专利权)人：原子能和替代能源委员会，
类型：发明
国别省市：法国;FR