一种废气处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种废气处理装置，包括：燃烧室，其为中空的圆柱形筒体，外壁为隔热层，内壁为耐火导热层，内壁与外壁之间形成具有一定空间的夹层，外壁的上部和下部分别设有第一出水口和第一入水口；第一喷淋管，其一端连接所述第一排气口，其呈中空的圆柱形筒体，第一喷淋管的中部设有一个呈井字型的喷淋支管，其包括两根平行设置的横管，以及与所述横管相互垂直且连通的纵管，喷淋支管的横管与纵管的下部间隔分布有多个贯通孔，第一喷淋管的外壁上设有一连接控制阀的第二入水口，其与喷淋支管连通；第一沉降池，其位于所述第一喷淋管的下方，且与所述第一喷淋管的另一端连通。本发明专利技术的废气处理装置，能减少不必要的能量损失，废气处理能力高。

【技术实现步骤摘要】
一种废气处理装置
本专利技术涉及一种废气处理装置。更具体地说，本专利技术涉及一种用于处理半导体制造工艺中产生的废气的废气处理装置。
技术介绍
在半导体制作工艺中需要使用多种特殊气体以及大量的酸或碱，在半导体制造的不同工艺中使用并产生大量的废气，这些废气通过排风系统收集并处理，以防止直接排放对环境以及人们的身体健康造成的严重后果。半导体制作工艺中产生的废气一般采取水洗、燃烧、吸附、解离等方法，然而燃烧水洗式去除废气的方法能有效处理废气中的主要废弃物PFCs，能处理大流量的废气，同时去除各种可燃性的污染物，对环境污染较少，但废气经燃烧后会产生一氧化碳和氮氧化物，其中一氧化碳为有害气体，直接排放会对附近居民的身体状况造成不良影响，此外，燃烧室燃烧废气需要耗费大量的能量，一般通过排风系统收集的废气还有不少的水分，不利于燃烧室内燃烧，从而会增加能源的耗费，燃烧室内排出的气体携带的粉尘或灰烬会吸附于连接管道内，造成堵塞，从而降低废气装置的处理能力。
技术实现思路
本专利技术的一个目的是解决至少上述问题和/或缺陷，并提供至少后面将说明的优点。本专利技术还有一个目的是提供一种废气处理装置，通过在燃烧室设置隔层，以使燃烧产生的热量充分利用，作为第二喷淋管的水源，同时在第二喷淋管中部设置催化剂板，使废气在通过第二喷淋管时，在热水与催化剂板中催化剂的作用下，充分反应，将废气经燃烧后产生的一氧化碳和氮氧化合物充分除去，大大降低了排放气体对环境的污染。本专利技术还有一个目的是通过在第一进气管内部设有防火吸水层，可以减少废气中的水分，以减少燃烧室所需要提供的能源，减少不必要的能量损失。本专利技术还有一个目的是通过在第一沉降池的第二排气口设置过滤装置，以使气体进入第二沉降池时减少气体从燃烧室携带的粉尘，以提高第二喷淋管对气体的处理能力，同时减少第二沉降池的负担，以免经常更换第一沉降池和第二沉降池中的液体，以此减少了劳动量，同时减少第一沉降池与第二沉降池之间的连接管道结垢，甚至堵塞，从而提高废气处理装置的处理能力。为了实现根据本专利技术的这些目的和其它优点，提供了一种废气处理装置，包括：燃烧室，其为中空的圆柱形筒体，所述燃烧室的上部设有第一进气口，其与第一进气管连通，其下部设有第一排气口，其中，所述燃烧室包括外壁和内壁，所述外壁为隔热层，其内壁为耐火导热层，所述内壁与外壁之间形成具有一定空间的夹层，所述外壁的上部和下部分别设有第一出水口和第一入水口；第一喷淋管，其设置在所述燃烧室的下方，所述第一喷淋管的一端连接所述第一排气口，所述第一喷淋管呈中空的圆柱形筒体，所述第一喷淋管的中部设有一个呈井字型的喷淋支管，其包括两根平行设置的横管，以及与所述横管相互垂直且连通的纵管，所述喷淋支管的横管与纵管的下部间隔分布有多个贯通孔，所述第一喷淋管的外壁上设有一连接控制阀的第二入水口，其与所述喷淋支管连通；第一沉降池，其位于所述第一喷淋管的下方，且与所述第一喷淋管的另一端连通，所述第一沉降池呈中空的圆柱形筒体，其侧壁的上部设有第二排气口，其侧壁靠近所述第一沉降池底部的部位设有带控制阀的第二出水口。优选的是，所述的废气处理装置，所述第一进气管内部距离所述第一进气口一定距离的部位设有防火吸水层，其为纤维网状结构，所述防火吸水层沿进气方向依次为吸水层和防火层。优选的是，所述的废气处理装置，还包括：第二沉降池，其侧壁的上部设有第二进气口，所述第二进气口通过一导管与所述第二排气口连通，所述第二沉降池的上部设有第三排气口，所述第二沉降池的侧壁靠近所述第二沉降池底部的部位设有带控制阀的第三出水口，其中，所述第二排气口处设有可拆卸的过滤装置；第二喷淋管，其一端与所述第三排气口连通，另一端与大气连通。优选的是，所述的废气处理装置，其中，所述第二喷淋管呈中空的圆柱形筒体，其包括上下两个可拆卸的上部分与下部分，所述上部分与所述下部分内部分别设有两个呈井字型的所述喷淋支管，所述上部分与所述下部分的外壁上对应连通两个所述喷淋支管的部位分别设有带控制阀的第三入水口和第四入水口，所述第三入水口和所述第四入水口均通过导管与所述燃烧室的所述第一出水口连通。优选的是，所述的废气处理装置，在所述第二喷淋管内的两个呈井字型的所述喷淋支管之间还可拆卸地设有承载催化剂的净化板，所述净化板倾斜设置在所述第二喷淋管内部，与所述第二喷淋管内壁呈45-60°。优选的是，所述的废气处理装置，所述净化板自上至下依次由氧化铝涂层、氧化铈涂层、支撑层和氧化铝涂层组成，所述支撑层为蜂窝状结构的载体，其内部负载有铜粉、铁粉和钯粉。优选的是，所述的废气处理装置，所述第一喷淋管的内径为所述燃烧室的内径的3/5-4/5，所述第一沉降池的内径为所述第一喷淋管的内径的1.2-1.5倍。本专利技术至少包括以下有益效果：1)在燃烧室设置隔层，以使燃烧产生的热量充分利用，减少能源浪费，此处加热的液体可以用于其他的设备，也可以用于本专利技术所述的废气处理装置，如将加热后的液体作为第二喷淋管的水源，同时在第二喷淋管中部设置催化剂板，使废气在通过第二喷淋管时，在热水与催化剂板中催化剂的作用下，充分反应，将废气经燃烧后产生的一氧化碳和氮氧化物充分除去，大大降低了排放气体对环境的污染；2)通过在第一进气管内部设有防火吸水层，可以减少废气中的水分，以减少燃烧室所需要提供的能源，减少不必要的能量损失；3)通过在第一沉降池的第二排气口设置过滤装置，以使气体进入第二沉降池时减少气体从燃烧室携带的粉尘，以提高第二喷淋管对气体的处理能力，同时减少第二沉降池的负担，以免经常更换第一沉降池和第二沉降池中的液体，以此减少了劳动量；4)本专利技术的喷淋支管设计成井字型，充分利用了第一喷淋管和第二喷淋管的内部空间，增加了喷淋的液体与气体的接触面，提高了液体去除气体中杂质或有害成分的能力，同时井字型不影响燃烧室内的灰烬掉落到第一沉降池中；5)废气经过燃烧室后，会产生一氧化碳和氮氧化物，通过催化剂板携带能氧化气体中一氧化碳和氮氧化物的催化剂，以减小排放气体对环境的污染，同时，催化剂板倾斜设置，可以增加其与气体的接触面，使反应更充分，另外，第二喷淋管可以拆卸，便于更换催化剂板；6)所述第一喷淋管的内径为所述燃烧室的内径的3/5-4/5，以充分使从燃烧室出来的气体与第一喷淋管中的液体接触，所述第一沉降池的内径为所述第一喷淋管的内径的1.2-1.5倍，以减少气体携带杂质或灰烬粘附在所述第一沉降池的表面，通过增加气体与第一喷淋管中的液体接触，以提高气体的净化率。本专利技术的其它优点、目标和特征将部分通过下面的说明体现，部分还将通过对本专利技术的研究和实践而为本领域的技术人员所理解。附图说明图1为本专利技术的废气处理装置的结构示意图；图2为本专利技术所述的喷淋支管的结构示意图。具体实施方式下面结合附图对本专利技术做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。应当理解，本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不配出一个或多个其它元件或其组合的存在或添加。图1示出了根据本专利技术的一种实现形式，一种废气处理装置，包括：燃烧室1，其为中空的圆柱形筒体，所述燃烧室1的上部设有第一进气口，其与第一进气管连通，其下部设有第一排气口，其中，所述燃烧室1包括外壁和内壁，所述外壁为隔热层，其内壁为耐火导热层，所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种废气处理装置，其特征在于，包括：燃烧室，其为中空的圆柱形筒体，所述燃烧室的上部设有第一进气口，其与第一进气管连通，其下部设有第一排气口，其中，所述燃烧室包括外壁和内壁，所述外壁为隔热层，其内壁为耐火导热层，所述内壁与外壁之间形成具有一定空间的夹层，所述外壁的上部和下部分别设有第一出水口和第一入水口；第一喷淋管，其设置在所述燃烧室的下方，所述第一喷淋管的一端连接所述第一排气口，所述第一喷淋管呈中空的圆柱形筒体，所述第一喷淋管的中部设有一个呈井字型的喷淋支管，其包括两根平行设置的横管，以及与所述横管相互垂直且连通的纵管，所述喷淋支管的横管与纵管的下部间隔分布有多个贯通孔，所述第一喷淋管的外壁上设有一连接控制阀的第二入水口，其与所述喷淋支管连通；第一沉降池，其位于所述第一喷淋管的下方，且与所述第一喷淋管的另一端连通，所述第一沉降池呈中空的圆柱形筒体，其侧壁的上部设有第二排气口，其侧壁靠近所述第一沉降池底部的部位设有带控制阀的第二出水口。

【技术特征摘要】
1.一种废气处理装置，其特征在于，包括：燃烧室，其为中空的圆柱形筒体，所述燃烧室的上部设有第一进气口，其与第一进气管连通，其下部设有第一排气口，其中，所述燃烧室包括外壁和内壁，所述外壁为隔热层，其内壁为耐火导热层，所述内壁与外壁之间形成具有一定空间的夹层，所述外壁的上部和下部分别设有第一出水口和第一入水口；第一喷淋管，其设置在所述燃烧室的下方，所述第一喷淋管的一端连接所述第一排气口，所述第一喷淋管呈中空的圆柱形筒体，所述第一喷淋管的中部设有一个呈井字型的喷淋支管，其包括两根平行设置的横管，以及与所述横管相互垂直且连通的纵管，喷淋支管的横管与纵管的下部间隔分布有多个贯通孔，所述第一喷淋管的外壁上设有一连接控制阀的第二入水口，其与喷淋支管连通；第一沉降池，其位于所述第一喷淋管的下方，且与所述第一喷淋管的另一端连通，所述第一沉降池呈中空的圆柱形筒体，其侧壁的上部设有第二排气口，其侧壁靠近所述第一沉降池底部的部位设有带控制阀的第二出水口；所述第一进气管内部距离所述第一进气口一定距离的部位设有防火吸水层，其为纤维网状结构，所述防火吸水层沿进气方向依次为吸水层和防火层；还包括：第二沉降池，其侧壁的上部设有第二进气口，所述第二进气口通过一导管...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄志强，
申请(专利权)人：黄志强，
类型：发明
国别省市：广西;45