电润湿显示装置基板的制备方法、电润湿显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种电润湿显示装置基板的制备方法、电润湿显示装置，本发明专利技术的制备方法通过采用模板法在像素墙材料层上布置图案化的保护材料层，进而形成像素墙图案，制备方法工艺简单，精度可控，而且通过选择柔性模板，可以实现在弯曲基板表面制备得到像素墙图案，克服了传统光刻工艺的不足。

【技术实现步骤摘要】
电润湿显示装置基板的制备方法、电润湿显示装置
本专利技术涉及一种电润湿显示装置基板的制备方法，及包括该基板的电润湿显示装置。
技术介绍
电润湿（EFD，ElectrofluidicDisplay），又名电湿润，通过控制电压来调控基板表面材料的润湿性从而控制油墨运动的显示技术。油墨是通过像素墙来限制在一个个腔体内的，形成像素墙的材料通常为光刻胶类物质，又称光致刻蚀剂。一般通过传统的光刻工艺在疏水绝缘层表面实现图案化，得到像素墙图案，即：利用光致抗蚀剂的光化学反应特点，在紫外线照射下，通过光致刻蚀剂的光化学反应将掩模版上的图形精确地印制在涂有光致抗蚀剂的工件表面，进而对光致刻蚀剂进行显影处理，从而获得复杂的精细图形，一般要经过涂布、烘烤、曝光、显影等步骤，工艺流程比较复杂，精度控制不够精细；而且难以在弯曲基板上得到像素墙图案。也有通过设置保护层（牺牲层）的方法来设置像素墙图案，如专利文件CN104409414A，通过在亲水的像素墙材料上设置图案化的保护材料层，然后通过光刻等工艺得到像素墙图案，简化了工艺，但是并没有给出具体的操作方法。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种电润湿显示装置基板的制备方法，具体地是在像素墙材料层上设置图案化保护层，进而得到像素墙图案的步骤。本专利技术所采取的技术方案是：一种电润湿显示装置基板的制备方法，包括在像素墙材料层上布置图案化的保护材料层；进而形成的像素墙图案的步骤，该步骤包括：制备一模板，在其底面形成与所述像素墙图案对应的凸起结构；在凸起结构上涂布或沾浸保护材料溶液；将具有保护材料溶液的凸起结构的底面与所述像素墙材料层表面接触，并保持一定时间，使保护材料溶液由凸起结构底面转移至所述像素墙材料层表面；固化，在所述像素墙材料层表面形成图案化的保护材料层。优选地，所述模板材料为无机材料、金属材料或聚合物材料。进一步优选地，所述无机材料为玻璃或者单晶硅；所述聚合物材料为PDMS、PMMA、PI、PET、PEN、PC、PCO、PES和PAR中的任一种；所述金属材料为铝、铜或钢。优选地，所述模板为柔性模板，即所述模板具有一定的弹性，可以弯曲。进一步地，在“固化，在所述像素墙材料层表面形成图案化的保护材料层”后，还包括“去除未被保护材料层覆盖的所述像素墙材料层”步骤，优选地，是采用显影方法去除未被保护材料层覆盖的所述像素墙材料层。进一步地，优选地，所述保护材料为黑色材料。通常，像素墙材料如光刻胶材料，例如选用正性光刻胶，若保护材料层为黑色物质，不透光，布置完成图案化的保护材料层后，对整个下基板进行曝光处理，因保护层为黑色物质，紫外光不可以透过，因此只有未被保护层覆盖的像素墙材料发生光照下的解聚反应。进一步，对下基板进行显影，溶解掉未被保护层覆盖而发生解聚的像素墙材料，也就是去除了未被保护材料层覆盖的像素墙。所述黑色材料可以是含有碳纳米颗粒、碳纳米管或石墨等材料的保护材料。作为上述方案的进一步改进，所述保护材料为亲水性的无机纳米颗粒溶液、亲水性聚合物材料和亲水性的有机/无机杂合体中的任一种。进一步优选地，所述保护材料为亲水性SOG材料、亲水性光刻胶、亲水性TiO2纳米颗粒溶液、PI、PET、PEN、PC、PCO、PAR和PES中的任一种。本专利技术的另一方面，还提供了一种电润湿显示装置，包括本专利技术所述制备方法得到的电润湿显示装置基板。本专利技术的有益效果是：本专利技术通过采用模板压印的方法在像素墙材料层表面得到图案化的保护层，制备方法工艺简单，精度可控，而且通过选择柔性模板，可以实现在弯曲基板表面制备得到像素墙图案，克服了传统光刻工艺的不足。附图说明图1为本专利技术的电润湿显示基板的制备工艺流程图；图2为本专利技术的模板制作流程图；图3为本专利技术的电润湿显示装置结构示意图；图4为本专利技术一具体实施例的模板及基模板显微结构和高度分布示意图。具体实施方式以下将结合实施例和附图对本专利技术的构思、具体结构及产生的技术效果进行清楚、完整地描述，以充分地理解本专利技术的目的、特征和效果。显然，所描述的实施例只是本专利技术的一部分实施例，而不是全部实施例，基于本专利技术的实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例，均属于本专利技术保护的范围。本专利技术创造中的各个技术特征，在不互相矛盾冲突的前提下可以交互组合。参照图1，本专利技术的电润湿显示基板制备方法，包括以下步骤：设置具有疏水绝缘层5的导电基板3。导电基板3可以是TFT基板、ITO基板、金属电极基板、高分子导电薄膜等。疏水绝缘层5通常是由低表面能的含氟聚合物形成的，例如杜邦公司的AF1600、AF1600X，AGC公司的Cytop，SolvayPlastics的Hyflon，或者任何其他低表面能聚合物材料等。疏水绝缘层5膜厚为200-800nm。涂布方式可以但不限于丝网印刷（screen-printing）、旋涂（spin-coating）、滚涂（roller-coating）、狭缝涂布（slit-coating）、浸涂（dip-coating）、喷涂（spray-coating）、刮涂（blade-coating）等。在疏水绝缘层5上布置像素墙6材料层。像素墙材料通常为亲水材料，可以为正性光刻胶、负性光刻胶、SOG材料、聚合物材料（如PI、PET、PEN、PC、PCO、PAR、PES等），可以通过旋涂、滚涂、狭缝涂布、浸涂、喷涂、刮涂、凹印、凸印、丝网印、喷墨打印等方式涂布。接着，是在像素墙6材料层上布置图案化的保护材料12层的步骤。可以通过丝网印刷等方式实现图案化保护材料12层的涂布，但这种方法精度不高，优选地，采用如下步骤进行：制备一模板11，在其底面形成与像素墙6图案对应的凸起结构。模板11可以为无机材料、金属材料或聚合物材料。优选地，所述无机材料为玻璃或者单晶硅；所述聚合物材料为聚二甲基硅氧烷（PDMS）、聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）、PI、PET、PEN、PC、PCO、PES和PAR中的任一种；所述金属材料为铝、铜或钢。模板11可以是刚性模板，也可以是柔性模板，柔性模板便于在弯曲基板上操作。对于刚性的模板11，如玻璃、硅片等刚性模板，可以采用光刻工艺或蚀刻工艺进行图案化，制得具有与像素墙图案对应的凸起结构。而对于聚合物材料的模板11，则可以参考图2所示的工艺步骤，先采用光刻或者刻蚀工艺得到刚性的基模板10，基模板10具有与像素墙6结构相反的图案，在其表面浇铸可塑的高分子材料，然后进行固化，即得到与像素墙6对应的高分子材料的凹陷；所述的可塑高分子材料可以是，但不限于聚二甲基硅氧烷（PDMS）、聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）、聚酰亚胺（PI）、聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）、聚萘二甲酸乙二醇酯（PEN）、聚碳酸酯（PC）、多环烯烃（PCO）、聚芳醚砜（PES）、聚芳基酸酯（PAR）等。如，以PDMS为例，可以将PDMS预聚体与固化剂以8-12:1的质量比进行混合，抽真空排气后浇铸于刚性的基模板10表面，70-150℃加热固化0.5-3h，冷却后，脱模便可以得到PDMS制备的模板11。而且通过调节预聚物与固化剂的比例可以使PDMS模板有一定的柔性，在可以弯曲的同时具有一定的刚性，通过改变烘烤温度和时间也可以调整PDMS模板的软硬度。如图4所示，为本专利技术一具体实本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电润湿显示装置基板的制备方法，包括在像素墙材料层上布置图案化的保护材料层；进而形成像素墙图案的步骤，其特征在于，该步骤包括：制备一模板，在其底面形成与所述像素墙图案对应的凸起结构；在凸起结构上涂布或沾浸保护材料溶液；将具有保护材料溶液的凸起结构的底面与所述像素墙材料层表面接触，并保持一定时间，使保护材料溶液由凸起结构底面转移至所述像素墙材料层表面；固化，在所述像素墙材料层表面形成图案化的保护材料层。

【技术特征摘要】
1.一种电润湿显示装置基板的制备方法，包括在像素墙材料层上布置图案化的保护材料层；进而形成像素墙图案的步骤，其特征在于，该步骤包括：制备一模板，在其底面形成与所述像素墙图案对应的凸起结构，所述模板为柔性模板；在凸起结构上涂布或沾浸保护材料溶液；将具有保护材料溶液的凸起结构的底面与所述像素墙材料层表面接触，并保持一定时间，使保护材料溶液由凸起结构底面转移至所述像素墙材料层表面；固化，在所述像素墙材料层表面形成图案化的保护材料层。2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述模板材料为无机材料、金属材料或聚合物材料。3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于：所述无机材料为玻璃或者单晶硅；所述聚合物材料为PDMS、PMMA、PI、PET、PEN、PC、PCO、PES和PAR中的任一种；所述金属材料为铝、铜或钢。4.根据权利要求1所述的制备方法，在“固化，在所...

【专利技术属性】
技术研发人员：水玲玲，窦盈莹，金名亮，周国富，
申请(专利权)人：华南师范大学，深圳市国华光电科技有限公司，深圳市国华光电研究院，
类型：发明
国别省市：广东;44