显示基板及其制作方法和显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种显示基板及其制作方法和显示装置，上述制作方法包括：形成基底；在基底上形成薄膜晶体管，在栅极和有源层之间形成有第二绝缘层，在基底上形成有第一绝缘层，有源层形成在第一绝缘层中；在薄膜晶体管之上形成第三绝缘层；在第三绝缘层之上形成像素电极；在像素电极之上形成第四绝缘层，其中，基底、第一绝缘层、第二绝缘层、第三绝缘层和第四绝缘层中的至少一层的材料为有机材料，至少一层的材料为无机材料。通过有机材料和无机材料分别形成薄膜晶体管中的各绝缘层和基底，可以使得薄膜晶体管既具备有机材料的优点，既简化了制作工艺，又提高了薄膜晶体管的电学性能，以及薄膜晶体管所在显示基板的物理性能。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显示
，具体而言，涉及显示基板制作方法、显示基板和显示装置。
技术介绍
现有技术的柔性基板的TFT (Thin Film Transistor，薄膜场效应晶体管)中，各导电结构之间的绝缘层一般只采用有机材料制作，或只采用无机材料制作。在只采用有机材料制作绝缘层的结构中，由于所采用的有机物一般为聚合物，而聚合物的介电常数相对较低，单独使用作TFT器件的绝缘层，会使得制备出的薄膜晶体管的阈值电压相对较高，并且漏电流较大，影响薄膜晶体管的电学性能。在只采用无机材料制作绝缘层的结构中，虽然无机材料的介电常数相对较高，但是在形成绝缘层时，无法一次性制作较厚的无机材料层，需要逐层涂布无机材料才能够得到所需厚度的绝缘层，工艺次数繁多。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是，兼顾有机材料和无机材料作为绝缘层的优点。为此目的，本专利技术提出了一种显示基板制作方法，包括:形成基底；在所述基底上形成薄膜晶体管，其中，所述薄膜晶体管包括栅极、源极、漏极和有源层，在所述栅极和有源层之间形成有第二绝缘层，在所述基底上形成有第一绝缘层，所述有源层形成在第一绝缘层中；在所述薄膜本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显示基板制作方法，其特征在于，包括：形成基底；在所述基底上形成薄膜晶体管，其中，所述薄膜晶体管包括栅极、源极、漏极和有源层，在所述栅极和有源层之间形成有第二绝缘层，在所述基底上形成有第一绝缘层，所述有源层形成在第一绝缘层中；在所述薄膜晶体管之上形成第三绝缘层；在所述第三绝缘层之上形成像素电极；在所述像素电极之上形成第四绝缘层，其中，所述基底、第一绝缘层、第二绝缘层、第三绝缘层和第四绝缘层中的至少一层的材料为有机材料，至少一层的材料为无机材料。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：程磊磊，彭锐，王东方，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11