一种超声振动辅助的光纤阵列端面抛光装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种超声振动辅助的光纤阵列端面抛光装置，包括可转动的抛光垫以及置于抛光垫上的抛光夹具，工件(光纤阵列组件)装夹在抛光夹具上，工件待抛光的端面在重力作用下与抛光垫接触，所述抛光垫上通入抛光液；所述抛光夹具通过一竖直方向弹性设置的支撑平台置于抛光垫上，所述抛光夹具竖直端通过变幅杆与超声波换能器连接，所述超声波换能器与超声波发生器通过导线连接。本发明专利技术通过超声振动辅助光纤阵列端面的化学机械抛光，可提高抛光液的抛光磨削效率，降低抛光液的使用量，节省生产成本，并且减轻了对抛光液对环境的影响，同时还可有效提升抛光的效果，可在实际生产中广泛引用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光纤阵列精密加工
，具体是一种超声振动辅助的光纤阵列端 面抛光装置。
技术介绍
光纤阵列组件是集成光电子器件的关键组成部分，采用直接对接偶合法与光电子 芯片的光路相连接，担负着光信号传输的重任。光纤阵列组件端面是由多种不同材料组成 的异质结构表面，涉及的材料包括V型槽（单晶Si)、光纤（SiO2)、上盖板（硼硅酸盐耐热 玻璃）、UV固化胶等。其中，单晶硅、玻璃均属于难加工的硬脆材料，而且它们的加工性质存 在差异，给精密加工带来较大的困难。目前常采用亚微米级固着磨粒对光纤阵列组件端面 进行抛光，存在亚微米级甚至微米级光纤端面凹陷、光纤端面变质层、光纤端面疵点等加工 缺陷，造成光纤阵列与芯片光路的耦合连接界面的光反射强度较高（即向后反射光隔离度 偏低），从而造成激光器抖动和干扰光纤传输系统的稳定，不能满足下一代全光通信网络的 要求，迫切需要为光纤阵列组件探索创新的精密加工方法。 目前，对光纤阵列组件端面加工广泛采用化学机械抛光技术，如附图1所示的抛 光装置，抛光夹具12放置在抛光垫15上方，靠自身重力使得抛光垫15与抛光夹具上的工 件18相互紧贴，当电机本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超声振动辅助的光纤阵列端面抛光装置，包括可转动的抛光垫(15)以及置于抛光垫(15)上的抛光夹具(12)，工件(18)装夹在抛光夹具上，工件待抛光的端面在重力作用下与抛光垫(15)接触，所述抛光垫(15)上通入抛光液；其特征在于：所述抛光夹具(12)竖直端与超声波换能器(8)连接，所述超声波换能器(8)与超声波发生器(14)通过导线连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘德福，佘亦曦，严日明，
申请(专利权)人：中南大学，
类型：发明
国别省市：湖南;43