下载一种超声振动辅助的光纤阵列端面抛光装置的技术资料

文档序号:12148861

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本发明公开了一种超声振动辅助的光纤阵列端面抛光装置,包括可转动的抛光垫以及置于抛光垫上的抛光夹具,工件(光纤阵列组件)装夹在抛光夹具上,工件待抛光的端面在重力作用下与抛光垫接触,所述抛光垫上通入抛光液;所述抛光夹具通过一竖直方向弹性设置的支...
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