固定单元、固定工具、分选装置及测试装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种固定单元、固定工具、分选装置及测试装置，其中的固定单元是包括在具有相对的第一壁面及第二壁面的间隙部的被固定单元中与间隙部相嵌合的嵌合针脚的固定单元；嵌合针脚包括：固定针脚，插入间隙部并与第一壁面相接触；移动针脚，插入间隙部并抵压于第二壁面上；以及基体，固定固定针脚；移动针脚具有以移动的中心轴为中心的圆弧状的底部，该底部相对于基体上设置的凹部被可滑动地嵌合。使被测器件与测试用插座准确电连接。固定单元在包括具有相对的第一壁面及第二壁面的间隙部的被固定单元上切实地嵌合。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及固定单元、固定工具、分选装置及测试装置。
技术介绍
以前，与测试被测器件的测试装置相连接的分选装置将保持被测器件的器件保持器嵌合于测试装置的插座上，从而将被测器件与该测试装置电连接(例如参照专利文献I ?5)。 专利文献I特开2000-147055号公报专利文献2特开2000-46902号公报专利文献3特开2009-2860号公报专利文献4特开2011-39059号公报专利文献5特开2011-40758号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题:然而，当被测器件的电极与测试用插座的电极的相对位置错位时，即使将器件保持器嵌合于测试用插座，被测器件与测试用插座也有可能无法电连接。而且要求被测器件与测试用插座切实地嵌合。 解决问题的方案:本专利技术第一方式中提供一种固定单元，是包括在具有相对的第一壁面及第二壁面的间隙部的被固定单元中与间隙部相嵌合的嵌合针脚的固定单元；嵌合针脚包括:固定针脚，插入间隙部并与第一壁面相接触；移动针脚，插入间隙部并抵压于第二壁面上；以及基体，固定固定针脚；移动针脚具有以移动的中心轴为中心的圆弧状的底部，该底部相对于基体上设置的凹部被可滑动地嵌合。本专利技术第二方式中提供一种分选装置，是将被测器件运送到测试用插座的分选装置，包括:执行器，在将保持被测器件的器件保持器嵌合于测试用插座之前与器件保持器嵌合，调整器件保持器上的被测器件的位置；以及送部，运送被测器件的位置被调整后的器件保持器，使该器件保持器嵌合于测试用插座上；器件保持器包括具有相对的第一壁面及第二壁面的间隙部；执行器具有第一方式的固定单元的嵌合针脚，与器件保持器的间隙部相嵌合。在本专利技术第三方式中提供一种测试装置，是具备将被测器件运送到测试用插座的第二方式的分选装置对被测器件进行测试的测试装置，其中进一步包括:测试头，通过测试用插座与被测器件电连接；以及测试模块，通过测试头测试被测器件。测试用插座具有第一方式的固定单元的嵌合针脚，并嵌合于器件保持器的间隙部。另外，上述
技术实现思路
并未列举出本专利技术的全部可能特征，特征组的子组合也有可能构成专利技术。【附图说明】图1将本实施形态所述分选装置100的结构例与测试头110、测试模块130、器件托盘10、及调整用托盘20共同显示。 图2表示本实施形态所述分选装置100将被测器件12运送到测试用插座122的结构例。 图3将本实施形态所述执行器单元320与器件托盘10共同显示。 图4将本实施形态所述执行器单元320与调整用托盘20共同显示。 图5将图4所示执行器单元320及调整用托盘20的X方向截面图与控制部340共同显不O 图6表示图4所示执行器单元320及调整用托盘20的Y方向截面图。 图7表示本实施形态所述分选装置100的动作流程。 图8表不本实施形态所述插座嵌合单兀420嵌合于测试用插座122的第一结构例。 图9表示本实施形态所述测试用插座摄像部310对嵌合的测试用插座122及插座嵌合单元420进行拍摄的结构例。 图10表不本实施形态所述插座嵌合单兀420嵌合于测试用插座122的第二结构例。 图11表不本实施形态所述插座嵌合单兀420嵌合于测试用插座122的第三结构例。 图12表不本实施形态所述插座嵌合单兀420嵌合于调整用插座430的结构例。 图13表示本实施形态所述调整用插座摄像部322对嵌合的调整用插座430及插座嵌合单元420进行拍摄的结构例。 图14表示本实施形态所述调整用插座430嵌合于执行器嵌合单元410的结构例。 图15表示本实施形态所述调整用插座摄像部322对嵌合的调整用插座430及执行器嵌合单元410进行拍摄的结构例。 图16表不本实施形态所述执行器嵌合单兀410嵌合于执行器330的结构例。 图17表示本实施形态所述执行器摄像部326对嵌合的执行器嵌合单元410及执行器330进行拍摄的结构例。 图18表示本实施形态所述调整用插座摄像部322对嵌合的调整用插座430及器件保持器30进行拍摄的结构例。 图19表示本实施形态所述执行器330嵌合于器件保持器30的结构例。 图20将本实施形态所述嵌合针脚600的结构例与嵌合针脚600相嵌合的间隙部510共同表不。 图21将本实施形态所述移动针脚620的一例与基体630共同表不。 图22表示本实施形态所述嵌合针脚600嵌合于间隙部510的结构例。【具体实施方式】以下通过专利技术实施方式对本专利技术进行说明，但以下实施方式并非对权利要求书所涉及的专利技术进行限定。并且，实施方式中说明的特征组合也并非全部为本专利技术的必要特征。图1将本实施形态所述分选装置100的结构例与测试头110、测试模块130、器件托盘10、及调整用托盘20共同显示。此处，测试头110及测试模块130为测试被测器件12的测试装置的一部。分选装置100与测试头110连接。分选装置100将多个被测器件12运送到测试头I1上设置的测试用插座122并进行电连接。测试头110具有插座板120。插座板120具有多个测试用插座122。测试头110通过该多个测试用插座122与多个被测器件12的每一个电连接。测试头110将多个测试用插座122上连接的多个被测器件12与测试模块130电连接。测试模块130通过测试头110测试被测器件12。测试模块130将基于用于测试多个被测器件12的测试图案的测试信号输入到多个被测器件12的每一个中。测试模块130对应于测试信号基于各个被测器件12输出的输出信号判断多个被测器件12的好坏。测试装置测试模拟电路、数字电路、模拟/数字混载电路、存储器、及片上系统(SOC)等多个被测器件12。多个被测器件12中的每一个可以具有BGA(Ball Grid Array)或 LGA(Lnd Grid Array)等电极。可选地，被测器件12 可以具有 SOJ(Small Outline J-leaded) > PLCC(PlasticLeaded Chip Carrier) > QFP (Quad Flat Package)、或 SOP (Small Outline Package)等端子。插座板120具有能够与待测试的被测器件12所具有的电极或端子等电连接的测试用插座122。分选装置100将器件托盘10及调整用托盘20分别送入到内部。分选装置100 —边对送入的器件托盘10上搭载的被测器件12的位置进行调整一边进行运送，从而将该被测器件12连接到相应的测试用插座122。另外，分选装置100在测试装置对运送的被测器件12进行了测试之后，将该被测器件12送出到分选装置100的外部。此处，器件托盘10承载保持被测器件12的器件保持器30。一个器件保持器30作为一例与一个被测器件12对应设置，在器件托盘10上承载多个。分选装置100通过各个器件保持器30将该被测器件12运送到测试用插座122。作为一例，器件托盘10及器件保持器30由即便置于测试装置执行高温或低温测试的温度条件下也不会因为开裂、剥落、或变形等产生对被测器件12的压力的材质形成。另外，调整用托盘20容纳有用于被测器件12的位置调整的插座嵌合单元420等。关于器件托盘10及调整用托盘20将在以后进行说明。分选装置100包括:施热部21本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种固定单元，是包括在具有相对的第一壁面及第二壁面的间隙部的被固定单元中与所述间隙部相嵌合的嵌合针脚的固定单元；所述嵌合针脚包括：固定针脚，插入所述间隙部并与所述第一壁面相接触；移动针脚，插入所述间隙部并抵压于所述第二壁面上；以及基体，固定所述固定针脚；所述移动针脚具有以移动的中心轴为中心的圆弧状的底部，该底部相对于所述基体上设置的凹部被可滑动地嵌合。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：山田祐也，相泽光范，
申请(专利权)人：爱德万测试株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP